技术特征：
1.一种体声波滤波器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底中形成有腔体；谐振结构，包括依次设置在所述衬底上的下电极、压电材料层和上电极，所述上电极具有延伸出所述腔体的上电极延伸部，所述下电极具有延伸出所述腔体的下电极延伸部，所述下电极延伸部和所述上电极延伸部在腔体之外相互错开，并且所述下电极未延伸出腔体的端部悬空设置在所述腔体的上方；以及，支撑柱，设置在所述腔体内，并位于所述下电极悬空的端部的下方，用于支撑所述下电极。2.如权利要求1所述的体声波滤波器，其特征在于，所述下电极包括下电极本体部和连接下电极本体部并延伸出腔体的下电极引出端，所述上电极包括上电极本体部和连接上电极本体部并延伸出腔体的上电极引出端；其中，所述上电极延伸部包括所述上电极引出端，所述下电极延伸部包括所述下电极引出端。3.如权利要求2所述的体声波滤波器，其特征在于，所述上电极延伸部仅包括所述上电极引出端，所述下电极延伸部包括所述下电极引出端和所述下电极本体部延伸出腔体的部分。4.如权利要求2所述的体声波滤波器，其特征在于，所述下电极本体部和所述上电极本体部均完全设置在所述腔体的正上方。5.如权利要求2所述的体声波滤波器，其特征在于，所述下电极本体部为多边形结构，所述支撑柱设置在所述多边形结构的顶角位置的下方。6.如权利要求2所述的体声波滤波器，其特征在于，所述支撑柱设置在所述上电极本体部的投影区域之外。7.如权利要求1-6任一项所述的体声波滤波器，其特征在于，所述下电极悬空的端部上设置有朝向腔体外周的方向凸出的支撑部，所述支撑柱设置在所述支撑部的下方。8.如权利要求7所述的体声波滤波器，其特征在于，所述下电极、所述压电材料层、所述上电极和所述腔体相互重叠的区域构成有效谐振区域，所述支撑部凸出至所述有效谐振区域之外。9.一种体声波滤波器的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底中形成有腔体，并在所述腔体中填充牺牲材料层；在所述牺牲材料层中形成支撑柱；在所述衬底上依次形成下电极、压电材料层和上电极，其中所述上电极具有延伸出所述腔体的上电极延伸部，所述下电极具有延伸出所述腔体的下电极延伸部，所述下电极延伸部和所述上电极延伸部在腔体之外相互错开，并且所述下电极未延伸出腔体的端部覆盖所述支撑柱；以及，去除所述牺牲材料层。10.如权利要求9所述的体声波滤波器的制备方法，其特征在于，所述支撑柱的形成方法包括：刻蚀所述牺牲材料层以形成通孔，并在所述通孔中填充支撑材料以形成所述支撑柱。
技术总结
本发明提供了一种体声波滤波器及其制备方法。通过在腔体内设置支撑柱以支撑下电极及其上方的膜层，从而可允许下电极的端部悬空设置在腔体的区域内而不需要通过腔体的侧壁进行支撑，并且可以更为灵活的实现下电极延伸部和上电极延伸部在腔体之外相互错开，进而能够在实现上下电极的电性引出的基础上，有效规避上电极和下电极在腔体之外相互重叠，降低了在非有效谐振区域内因上下电极重叠而产生的机械能损失，提高器件的Q值。提高器件的Q值。提高器件的Q值。
技术研发人员：项少华 王冲
受保护的技术使用者：中芯越州集成电路制造（绍兴）有限公司
技术研发日：2022.07.01
技术公布日：2022/9/16