技术特征：
1.一种膜压装置，包括载板和压辊，所述压辊与所述载板可活动地配合，其特征在于，所述压辊包括第一部分及第二部分，所述第二部分与所述第一部分连接，所述第二部分设于所述第一部分的端部，所述第二部分开设有散热腔，所述第二部分还包括散热组件，所述散热组件设于所述散热腔内。2.如权利要求1所述的膜压装置，其特征在于，所述第二部分还包括第二主体，所述第二主体开设有散热开口，所述散热开口与所述散热腔连通，所述散热组件与所述第二主体连接。3.如权利要求2所述的膜压装置，其特征在于，所述散热组件包括多个散热单元，所述多个散热单元间隔设置于所述散热腔内并与所述第二主体连接。4.如权利要求3所述的膜压装置，其特征在于，所述散热单元为间隔设置的散热片。5.如权利要求4所述的膜压装置，其特征在于，所述散热片由靠近所述第一部分一侧向所述散热开口延伸。6.如权利要求3所述的膜压装置，其特征在于，所述散热单元为呈矩阵分布的散热柱。7.如权利要求6所述的膜压装置，其特征在于，所述散热柱开设有多个贯穿的散热孔，所述散热孔至少开设于所述散热柱远离所述第二主体的端部。8.如权利要求1所述的膜压装置，其特征在于，所述第二部分的数量为两个，两个所述第二部分分别设于所述第一部分相背的两端。9.如权利要求1所述的膜压装置，其特征在于，所述第一部分的横截面直径与所述第二部分的横截面直径相同。10.如权利要求1所述的膜压装置，其特征在于，所述第一部分为实心结构。
技术总结
本申请实施例提供一种膜压装置，包括载板和压辊，压辊包括第一部分及第二部分，第二部分与第一部分连接，第二部分设于第一部分的端部，第二部分开设有散热腔，第二部分还包括散热组件，散热组件设于散热腔内。其中，在热压过程中，可使第一部分仍保持在较高的温度，进而使覆盖于电路板的板内有效区处的干膜具有较好的压合质量，同时，可使第二部分相较于第一部分具有相对较低的温度，使覆盖于电路板的周边区的干膜软化程度降低，降低胶类渗入定位靶点的现象发生的概率，进而提升定位靶点识别的精度及准度，提升光蚀刻的曝光质量。提升光蚀刻的曝光质量。提升光蚀刻的曝光质量。
技术研发人员：庄孟榕
受保护的技术使用者：礼鼎半导体科技秦皇岛有限公司
技术研发日：2022.03.16
技术公布日：2022/11/28