一种控制箱及分子泵机组的制作方法

1.本实用新型涉及控制设备技术领域，具体涉及一种控制箱及分子泵机组。


背景技术：

2.分子泵是基于动量传递原理，在变频电源驱动电机的带动下高速旋转，在分子流区域内，气体分子与高速转动的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。分子泵属于动量真空泵，是通过使分子定向流动而被排出泵外。分子泵主要在前级泵实现启动压强后才进行抽气，与低真空泵配合进行使用，应用于表面物理和质谱类科研仪器，离子注入和刻蚀等半导体前道工艺装备，ito、ar、af和low-e等工业过程，空间环境模拟、高能物理、低温超导等领域。
3.现有技术中，分子泵机组中分子泵与电控组件电连接在一起，电控组件根据电控信号对分子泵工作状态进行调节。分子泵机组在低温环境下工作时，电控组件容易在输入与输出时发生温度漂移，导致电子器件产生电路参数的误差，工作精度下降，降低分子泵机组工作的可靠性。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术分子泵机组在低温环境状态下工作时，分子泵机组工作精度下降，可靠性低的缺陷。
5.本实用新型提供了一种控制箱，包括：
6.箱本体，所述箱本体具有适于容纳控制件的容纳空腔；
7.至少一个加热件，设置在所述容纳空腔内，所述加热件适于与外接电源相连以对所述容纳空腔加热；
8.温控件，设置在所述容纳空腔内，适于检测所述容纳空腔内环境温度；所述温控件与所述加热件电连接，所述温控件具有根据检测的温度低于预设温度时控制所述加热件与外接电源电连接的第一状态，以及根据检测的温度高于预设温度时控制所述加热件与外接电源断开电连接的第二状态。
9.可选地，所述箱本体包括底板、顶板以及设置在所述底板和顶板之间的第一连接板、第二连接板、第三连接板以及盖板：所述底板、顶板、第一连接板、第二连接板、第三连接板以及盖板共同围合形成所述容纳空腔。
10.可选地，所述盖板与所述第一连接板和第三连接板可拆卸连接；所述底板、顶板、第一连接板、第二连接板以及第三连接板固定连接。
11.可选地，所述箱本体还包括：
12.安装板面，所述安装板面与所述第一连接板相连接且与所述第一连接板呈倾斜设置，所述安装板面连接设置在所述第一连接板与所述第三连接板之间，所述安装板面远离所述第二连接板的一侧与所述顶板连接。
13.可选地，所述安装板面上设有安装部；控制箱还包括显示件，所述显示件安装在所
述安装部上。
14.可选地，所述安装部为凹槽结构或孔体结构。
15.本实用新型提供了一种分子泵机组，包括：
16.控制件，固定连接在所述容纳空腔内，所述控制件为分子泵机组控制回路；
17.以及上述的控制箱。
18.可选地，分子泵机组还包括：
19.过滤器安装孔，所述箱本体的气体通路安装在所述过滤器安装孔内。
20.可选地，所述箱本体还包括至少一个电源安装口，适于安装外接电源。
21.可选地，所述箱本体还包括若干电连接器接口，所述电连接器接口设置在所述箱本体壁面上。
22.本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：
23.1.本实用新型提供的控制箱，包括箱本体、温控件、至少一个加热件以及控制件，所述箱本体具有适于容纳控制件的容纳空腔；加热件设置在所述容纳空腔内，所述加热件适于与外接电源相连以对所述容纳空腔加热；温控件设置在所述容纳空腔内，适于检测所述容纳空腔内环境温度；所述加热件与所述温控件电连接，所述温控件具有根据检测的温度低于预设温度时控制所述加热件与外接电源电连接的第一状态，以及根据检测的温度高于预设温度时控制所述加热件与外接电源断开电连接的第二状态。
24.此结构的控制箱，通过温控件检测箱本体中容纳空腔内环境温度，当温控件检测的温度低于预设温度时，温控件具有调节加热件与外接电源电连接的第一状态，使加热件通电产生热量，对用于容纳控制件的容纳空腔进行升温，通过温控件调节加热件的工作加热，使箱本体中容纳空腔预热至分子泵机组内控制件工作环境的可靠温度，从而避免在低温环境下，控制件可靠性的降低，导致分子泵机组的工作失效；当温控件检测的温度高于预设温度时，温控件具有调节加热件与外接电源断开电连接的第二状态；通过温控件检测的温度参数，进行主动控制调节加热件与外接电源连接与断开，使分子泵机组内控制件的使用温度处于预设的温度范围区间内，从而有效确保满足控制箱内控制件的使用温度条件，促进分子泵机组设备的可靠运行。
25.2.本实用新型提供的控制箱，所述箱本体包括底板、顶板以及设置在所述底板和顶板之间的第一连接板、第二连接板、第三连接板以及盖板：所述底板、顶板、第一连接板、第二连接板、第三连接板以及盖板共同围合形成所述容纳空腔。
26.此结构的控制箱，通过底板、顶板、第一连接板、第二连接板、第三连接板以及盖板共同围合形成所述容纳空腔，从而形成提供用于控制件的安装空间。
27.3.本实用新型提供的控制箱，所述盖板与所述第一连接板和第三连接板可拆卸连接；所述底板、顶板、第一连接板、第二连接板以及第三连接板固定连接。
28.此结构的控制箱，通过将盖板与第一连接板和第三连接板可拆卸连接设置，便于将控制件安装在控制箱内的容纳空腔中，促进装配便利；底板、顶板、第一连接板、第二连接板以及第三连接板固定连接，从而构成控制箱，控制箱整体的连接强度好，有利于提高控制箱应对外部作用力的能力。
29.4.本实用新型提供的控制箱，所述箱本体还包括安装板面，所述安装板面与所述第一连接板相连接且与所述第一连接板呈倾斜设置，所述安装板面连接设置在所述第一连
接板与所述第三连接板之间，所述安装板面远离所述第二连接板的一侧与所述顶板连接。所述安装板面上设有安装部；控制箱还包括显示件，所述显示件安装在所述安装部上。
30.此结构的控制箱，通过安装板面上的安装部来装配显示件，安装板面整体倾斜设置，可使安装板面整体朝向操作者的视觉方向垂直，从而使操作者更方便观察识别显示件的显示内容，促进使用方便。
31.5.本实用新型提供的分子泵机组，包括控制件与控制箱，所述控制件为分子泵机组控制回路，控制件固定连接在所述容纳空腔内。
32.此结构的分子泵机组，通过控制箱内的温控件实时检测容纳空腔的环境温度参数，并主动控制调节加热件与外接电源连接与断开，从而使控制件处于预设的温度范围区间内工作，从而分子泵机组在低温工作状态下时，通过加热件对控制件进行升温，从而使分子泵机组可适配于在低温环境下的有效工作，提高分子泵机组对温度的兼容性，促进分子泵机组设备的可靠性。
附图说明
33.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
34.图1为本实用新型的实施例中提出的控制箱的轴测示意图；
35.图2为本实用新型的实施例中提出的控制箱的后视图；
36.图3为本实用新型的实施例中提出的控制箱中加热件的连接示意图；
37.图4为本实用新型的实施例中提出的控制箱的结构示意图；
38.附图标记说明：
39.1-箱本体；11-底板；12-顶板；13-第一连接板；14-第二连接板；15-第三连接板；16-安装板面；161-安装部；17-过滤器安装孔；18-电源安装口；19-电连接器接口；
40.2-加热件；3-温控件；4-控制件。
具体实施方式
41.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
42.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
43.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
44.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
45.实施例1
46.本实施例提供了一种控制箱，如图1至图4所示，控制箱包括箱本体1、加热件2以及温控件3，所述箱本体1具有适于容纳控制件4的容纳空腔；温控件3设置在所述容纳空腔内，适于检测所述容纳空腔内环境温度；加热件2设置在所述容纳空腔内，所述加热件2适于与外接电源相连以对所述容纳空腔加热；控制件4固定连接在所述箱本体1上，所述温控件3与所述加热件2电连接，所述温控件3具有根据检测的温度低于预设温度时控制所述加热件2与外接电源电连接的第一状态，以及根据检测的温度高于预设温度时控制所述加热件2与外接电源断开电连接的第二状态。
47.本实施例提供的控制箱，通过温控件3检测箱本体1中容纳空腔内环境温度，当温控件3检测的温度低于预设温度时，温控件3具有调节加热件2与外接电源电连接的第一状态，使加热件2通电产生热量，对用于容纳控制件4的容纳空腔进行升温，通过温控件3调节加热件2的工作加热，使箱本体1中容纳空腔预热至控制件4工作环境的可靠温度，使箱本体1中容纳空腔预热至分子泵机组内控制件4工作环境的可靠温度，从而避免在低温环境下，控制件4可靠性的降低，导致分子泵机组的工作失效；当温控件3检测的温度高于预设温度时，温控件3具有调节加热件2与外接电源断开电连接的第二状态；通过温控件3感应的温度参数，温控件3进行主动控制调节加热件2与外接电源连接与断开，分子泵机组内控制件4的使用温度处于预设的温度范围区间内，从而有效确保满足控制箱内控制件4的使用温度条件，促进分子泵机组设备的可靠运行。
48.本实施例提供的控制箱，加热件2配置有两个，对称分布设置于箱本体1内壁面上，从而促进箱本体1内容纳空腔的升温，使容纳空腔内环境温度快速处于控制件4工作的预设温度范围中，有利于提高控制件4的响应能力。
49.本实施例提供的控制箱，所述箱本体1包括底板11、顶板12以及设置在所述底板11和顶板12之间的第一连接板13、第二连接板14、第三连接板15以及盖板：所述底板11、顶板12、第一连接板13、第二连接板14、第三连接板15以及盖板共同围合形成所述容纳空腔。
50.本实施例提供的控制箱，通过底板11、顶板12、第一连接板13、第二连接板14、第三连接板15以及盖板共同围合形成所述容纳空腔，从而形成对控制件4的安装空间。
51.本实施例提供的控制箱，所述盖板与所述第一连接板13和第三连接板15可拆卸连接；所述底板11、顶板12、第一连接板13、第二连接板14以及第三连接板15固定连接。
52.本实施例提供的控制箱，通过将盖板与第一连接板13和第三连接板15可拆卸连接设置，便于将分子泵机组的控制件4在控制箱内的容纳空腔中，促进装配便利；底板11、顶板12、第一连接板13、第二连接板14以及第三连接板15固定连接，从而构成整体的控制箱，控制箱的连接强度好，有利于提高控制箱应对外部冲击、接触作用力的能力。
53.本实施例提供的控制箱，所述箱本体1还包括安装板面16，所述安装板面16与所述第一连接板13相连接且与所述第一连接板13呈倾斜设置，所述安装板面16连接设置在所述
第一连接板13与所述第三连接板15之间，所述安装板面16远离所述第二连接板14的一侧与所述顶板12连接。所述安装板面16上设有安装部161；控制箱还包括显示件，所述显示件安装在所述安装部161上。
54.本实施例提供的控制箱，通过安装板面16上的安装部161来装配显示件，安装板面16整体倾斜设置，可使安装板面16整体朝向操作者的视觉方向垂直，从而使操作者更方便观察识别显示件的显示内容，促进使用方便。
55.本实施例提供的控制箱，所述安装部161为凹槽结构，通过凹槽结构对显示件进行限位安装，显示件外沿与凹槽结构连接接触，显示件外壁面的显示端朝向操作者设置，便于操作者读取显示件上的信息内容。
56.作为本实施例一种替换的实施方式，安装部161为孔体结构，显示件安装在孔体结构上，显示件外壁面的显示端朝向操作者设置，促进操作者读取显示件上的屏显内容。
57.实施例2
58.本实施例提供了一种分子泵机组，如图1至图4所示，包括控制件4与控制箱，控制件4固定连接在所述容纳空腔内，所述控制件4为分子泵机组控制回路。
59.本实施例提供的分子泵机组，通过控制箱内的温控件3实时监测容纳空腔的环境温度参数，并进行主动控制调节加热件2与外接电源连接与断开，从而使控制件4处于预设的温度范围区间内工作，从而分子泵机组在低温工作状态下时，通过加热件2对分子泵机组进行升温，从而使控制件4处于良好工作环境温度，提高分子泵机组对温度的兼容性，促进分子泵机组设备的可靠性。
60.本实施例提供的分子泵机组，控制件4工作预设的温度范围为0℃-60℃，通过温控件3调节加热件2的工作，使容纳空间内温度处于预设的温度范围内，从而使分子泵机组内控制件4的工作温度在预设温度范围内波动，促进分子泵机组的可靠使用。
61.本实用新型提供的分子泵机组，如图3所示，分子泵机组还包括过滤器安装孔17，所述箱本体1的气体通路安装在过滤器安装孔17内，通过在过滤器安装孔17处安装设置过滤器，过滤器安装孔17可用于对容纳空腔内进行散热通风，设置过滤器有利于避免外界杂质进入箱本体1的容纳空腔中，避免对控制件4造成影响。
62.本实用新型提供的分子泵机组，如图4所示，所述箱本体1还包括至少一个电源安装口18，电源安装口18用于安装外接电源，使外接电源固定连接在箱本体1上，外接电源安装完成后，在电源安装口18上可连接设置遮挡件，从而促进箱本体1整体的封闭性，遮挡外界灰尘等杂质。
63.本实用新型提供的分子泵机组，如图1所示，所述箱本体1还包括若干电连接器接口19，所述电连接器接口19设置在所述箱本体1壁面上，电连接器接口19包括网络通信接口、分子泵接口、高规接口以及低规接口等。
64.本实用新型提供的分子泵机组，其使用方法如下：
65.首先，将控制件4、电源安装在箱本体1的容纳空腔中，将温控件3、加热件2固定在箱本体1的内壁上；其后，将显示件安装在安装板面16的安装部161内；然后，将分子泵机组的控制件4与电源相连接；最后，调试完成后，将盖板连接在箱本体1上，以封闭容纳空腔。至此，分子泵机组装配完成。
66.分子泵机组通过温控件3实时监测容纳空腔内的环境温度，并主动调节加热件2与
电源的连通与断开状态，使加热件2通电产热；当温控件3监测容纳空腔内的环境温度低于预设温度时；首先，温控件3控制加热件2与电源连通，使得加热件2产生热量，对容纳空腔进行升温，使容纳空腔环境的温度预热至控制件4工作环境的可靠温度；其后，当温控件3检测的温度高于预设温度时，温控件3进行主动控制调节加热件2与外接电源连接与断开，使加热件2停止加热；最后，通过控制件4对加热件2与电源连通与断开状态的调整，使得控制件4的使用温度保持在预设的温度范围区间内。至此，完成分子泵机组调节温度的过程。
67.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。