半导体陶瓷基板的紫外线固化设备的制作方法

文档序号:33509147发布日期:2023-03-21 20:03阅读:100来源:国知局
半导体陶瓷基板的紫外线固化设备的制作方法

1.本实用新型涉及紫外线固化设备技术领域,具体为半导体陶瓷基板的紫外线固化设备。


背景技术:

2.陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝(al2o3)或氮化铝(aln)陶瓷基片表面(单面或双面)上的特殊工艺板。所制成的超薄复合基板具有优良电绝缘性能,高导热特性,优异的软钎焊性和高的附着强度,并可像pcb板一样能刻蚀出各种图形,具有很大的载流能力。因此,陶瓷基板已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料,如大功率电力半导体模块、半导体致冷器、电子加热器、功率控制电路,功率混合电路。紫外线固化工艺是一种以紫外线光源照射化学物,使该化学物当中所含垢“光启始剂”受到紫外线光源的刺激,于极短时间内(短于1秒)让该化学物中所包含的“聚合单体”产生胶合硬化的“辐射硬化技术”,广泛应用于车灯、手机和电视机壳等塑胶件的表面处理,半导体模块是以一定的半导体材料做工作物质而产生受激发射作用的器件,是半导体激光器里面的一部分。
3.专利cn202021362082.1公开了一种紫外线uvled光固化设备,包括主体、支撑腿、地脚、保护卡板、灯体、紫外线发射接收器、固化头、出气口、吸风机、过滤网、侧板、进气口、百叶窗、传输接口、usb接口、电源,所述保护卡板布置在主体的一侧,所述灯体安装在保护卡板上,所述紫外线发射接收器布置在灯体的下部,所述固化头安装在主体上,所述出气口开设在主体的顶部,所述吸风机安装在出气口的内部,所述侧板布置在主体的两侧,所述进气口开设在侧板上,该实用新型焊接有支撑腿,便于摆放,顶部开设有出气口,侧板开设有进气口,便于将主体内部的空气有吸风机排出,便于散热,但该装置通过直接气冷的对设备内部进行冷却会导致设备内部出现积尘现象,影响紫外线的产生和照射,具有进一步的改进空间。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的半导体陶瓷基板的紫外线固化设备。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:半导体陶瓷基板的紫外线固化设备,包括工作箱体和控制台,所述工作箱体的顶部固定连接有控制台,所述工作箱体一侧上方设置有抽拉式工作台,所述工作箱体的内部远离抽拉式工作台的一侧设置有隔板,所述工作箱体的内部与抽拉式工作台的位置处固定连接有滑动腔室,所述滑动腔室的内侧两侧下方均转动连接有多个支撑滑轮,所述滑动腔室两侧上方远离隔板的一端均转动连接有两个限位滑轮,所述工作箱体的内部上方固定连接有uv半导体激光器,所述uv半导体激光器的上方固定连接有陶瓷基板主体;
6.所述工作箱体内部在uv半导体激光器的下方靠近隔板的一端固定连接有容纳仓,
所述容纳仓的两侧上方均固定连接有滑轨,所述容纳仓通过两个滑轨滑动连接有多个滑轮轴,多个所述的下方固定连接有遮光布,所述抽拉式工作台靠近隔板的一端中部固定连接有连接杆;
7.所述uv半导体激光器与陶瓷基板主体之间设置有液冷板,所述液冷板靠近隔板的一端两侧均固定连通有循环管道,所述工作箱体远离抽拉式工作台的一侧上方固定连接有多个换热板,所述工作箱体远离抽拉式工作台的一侧在换热板下方固定连接有离心风机,所述工作箱体的内部在多个换热板下方固定连接有循环泵,所述多个换热板的底部固定连通有连通器。
8.所述离心风机包括外壳、外转子电机、电机轴和离心叶片,所述外壳内部两侧均与电机轴固定连接,所述外转子电机通过电机轴与外壳转动连接,所述外转子电机的外侧固定连接有多个离心叶片。
9.所述控制台包括外部的触控屏、启动开关、计时器、电源开关和内部的控制器。
10.所述连接杆远离抽拉式工作台的一端与最外侧的滑轮轴固定连接。
11.所述遮光布的两端分别与容纳仓和连接杆固定连接。
12.所述外壳的两端均开设有进气口。
13.所述抽拉式工作台的外侧中部固定连接有把手。
14.所述抽拉式工作台的两侧均设置有限位板,且多个所述限位滑轮的高度与限位板的高度相对应。
15.与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果是:
16.1、本实用新型设置有换热板和离心风机,配合液冷板和循环泵,可通过液冷板进行液冷散热,再通过离心风机进行外部气冷散热,大大减少灰尘进入机体内部的速度,且陶瓷基板的设置也适用于液冷板的堆叠散热,提高了装置的实用性。
17.2、本实用新型设置有滑轮轴和遮光布,配合抽拉式工作台和连接杆,可在抽出工作台时,通过遮光布对紫外线进行遮挡,减少紫外线的照射,加强了装置的实用性。
附图说明
18.图1是本实用新型的半导体陶瓷基板的紫外线固化设备的左侧立体结构示意图;
19.图2是本实用新型的半导体陶瓷基板的紫外线固化设备的右侧立体结构示意图;
20.图3是本实用新型的半导体陶瓷基板的紫外线固化设备的离心风机的内部结构示意图;
21.图4是本实用新型的半导体陶瓷基板的紫外线固化设备的工作箱体的内部上方结构示意图;
22.图例说明:
23.1、工作箱体;2、控制台;3、抽拉式工作台;4、隔板;5、滑动腔室;6、支撑滑轮;7、限位滑轮;8、uv半导体激光器;9、离心风机;10、陶瓷基板主体;11、循环管道;12、容纳仓;13、滑轨;14、滑轮轴;15、遮光布;16、连接杆;17、换热板;18、液冷板;19、循环泵;20、连通器;901、外壳;902、外转子电机;903、电机轴;904、离心叶片。
具体实施方式
24.参照图1-4,半导体陶瓷基板的紫外线固化设备,包括工作箱体1和控制台2,工作箱体1的顶部固定连接有控制台2,控制台2包括外部的触控屏、启动开关、计时器、电源开关和内部的控制器,工作箱体1一侧上方设置有抽拉式工作台3,抽拉式工作台3的外侧中部固定连接有把手,工作箱体1的内部远离抽拉式工作台3的一侧设置有隔板4,工作箱体1的内部与抽拉式工作台3的位置处固定连接有滑动腔室5,滑动腔室5的内侧两侧下方均转动连接有多个支撑滑轮6,滑动腔室5两侧上方远离隔板4的一端均转动连接有两个限位滑轮7,抽拉式工作台3的两侧均设置有限位板,且多个限位滑轮7的高度与限位板的高度相对应,防止抽拉式工作台3向外移动时产生角度偏转,工作箱体1的内部上方固定连接有uv半导体激光器8,uv半导体激光器8的上方固定连接有陶瓷基板主体10,便于液冷板18的堆叠散热;
25.工作箱体1内部在uv半导体激光器8的下方靠近隔板4的一端固定连接有容纳仓12,容纳仓12的两侧上方均固定连接有滑轨13,容纳仓12通过两个滑轨13滑动连接有多个滑轮轴14,多个的下方固定连接有遮光布15,抽拉式工作台3靠近隔板4的一端中部固定连接有连接杆16,连接杆16远离抽拉式工作台3的一端与最外侧的滑轮轴14固定连接,遮光布15的两端分别与容纳仓12和连接杆16固定连接,可在抽出工作台时,通过遮光布15对紫外线进行遮挡,减少紫外线的照射,加强了装置的实用性;
26.uv半导体激光器8与陶瓷基板主体10之间设置有液冷板18,液冷板18靠近隔板4的一端两侧均固定连通有循环管道11,工作箱体1远离抽拉式工作台3的一侧上方固定连接有多个换热板17,工作箱体1远离抽拉式工作台3的一侧在换热板17下方固定连接有离心风机9,离心风机9包括外壳901、外转子电机902、电机轴903和离心叶片904,外壳901内部两侧均与电机轴903固定连接,外转子电机902通过电机轴903与外壳901转动连接,外转子电机902的外侧固定连接有多个离心叶片904,外壳901的两端均开设有进气口,结构简单风力稳定,工作箱体1的内部在多个换热板17下方固定连接有循环泵19,多个换热板17的底部固定连通有连通器20,可通过液冷板18进行内部的液冷散热,再通过离心风机9进行外部气冷散热,大大减少灰尘进入机体内部的速度。
27.在使用时,可通过液冷板18进行液冷散热,再通过离心风机9进行外部气冷散热,大大减少灰尘进入机体内部的速度,且陶瓷基板的设置也适用于液冷板18的堆叠散热,而抽拉式工作台3上方设置的滑轮轴14和遮光布15,配合滑轨13和连接杆16,可在抽出工作台时,通过遮光布15对紫外线进行遮挡,减少紫外线的照射,提高了装置的实用性。
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