一种石英晶片的除静电干燥装置的制作方法

文档序号:32194073发布日期:2022-11-15 22:52阅读:142来源:国知局
一种石英晶片的除静电干燥装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶振加工设备技术领域,具体为一种石英晶片的除静电干燥装置。


背景技术:

2.根据cn206712757u提出的一种石英晶片的除静电干燥装置,括机箱,机箱为一矩形箱体,机箱前侧设置有开口,开口处铰接有一透明的玻璃盖板所述机箱顶部设置有离子风机,具有除静电和去水分操作,两个操作可以同时进行,大大提高了效率,解决了静电和去水分为分开操作麻烦的问题,但是该装置为矩形箱体,在除静电干燥时,透明的玻璃盖板将机箱开口关闭,石英晶片受热蒸发出的水蒸气在箱体内部再液化凝结成水珠,水珠滴落在石英晶片上,从而影响石英晶片的干燥。
3.因此我们提出一种石英晶片的除静电干燥装置来解决上述背景中的问题。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种石英晶片的除静电干燥装置,具备空气过滤,除静电干燥同步等优点,解决了石英晶片受热蒸发出的水蒸气在箱体内部再液化凝结成水珠的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石英晶片的除静电干燥装置,包括支撑机构,所述支撑机构外部设置有除静电干燥机构;
8.所述支撑机构包括工作箱,所述工作箱底面中部固定连接有转动电机,所述转动电机上端固定连接有放置盘,所述工作箱顶板内部设置有蒸汽通孔,所述工作箱上端固定连接有加热灯管,所述工作箱前端开口设置有透明箱门;
9.通过工作箱对转动电机底部固定,转动电机对放置盘转动支撑,蒸汽通孔位于工作箱顶部,便于干燥时,蒸汽上升排出,通过加热灯管对工作箱内部进行升温,使石英晶片升温水汽蒸发,由于三个加热灯管设置于顶部,从而避免蒸汽在工作箱顶壁液化凝结成水珠,由于顶部温度高,使干燥产生的蒸汽从蒸汽通孔上升排出。
10.所述除静电干燥机构包括离子风机,所述离子风机背面固定连通有导接管,所述导接管中部设置有加热线圈,所述加热线圈另一端固定连通有过滤箱,所述放置盘侧面固定连接有振动马达。
11.通过导接管将过滤箱和离子风机固定连通,离子风机从过滤箱内部抽取外部空气,过滤箱将空气中的杂质和水分进行过滤,避免水汽和灰尘进入工作箱内部,从而有利于石英晶片的干燥和除静电,离子风机将电离了的空气输送到工作箱内部,离子风机风口正对放置盘表面,从而使电离了的空气与石英晶片充分接触,除去石英晶片的带有的静电,由于进入的空气从导接管内部经过,导接管内部的加热线圈对空气进行升温,升温后的电离
空气与石英晶片接触,从而对石英晶片进行除静电和干燥同步进行,工作效率高,转动电机带动放置盘转动,从而石英晶片与电离空气均匀结合,除静电和干燥效果好,离子风机产生的电离空气与石英晶片结合后从透明箱门的流通孔排出,从而将蒸汽带走,防止蒸汽在工作箱滞留液化,避免蒸汽水珠滴在石英晶片表面,四个对称分布的振动马达对放置盘高频振动,从而使石英晶片产生振动,使晶片与晶片之间水分更加方便彻底的去除。
12.优选的,所述蒸汽通孔有多个,多个所述蒸汽通孔均匀分布在工作箱顶部。
13.优选的,所述加热灯管有三个,三个所述加热灯管等距分布在工作箱顶壁的两侧和中部。
14.三个加热灯管设置于顶部,从而避免蒸汽在工作箱顶壁液化凝结成水珠,由于顶部温度高,使干燥产生的蒸汽从蒸汽通孔上升排出。
15.优选的,所述透明箱门内部设置有均匀分布的流通孔,所述透明箱门外侧设置有把手。
16.离子风机产生的电离空气与石英晶片结合后从透明箱门的流通孔排出,从而将蒸汽带走,防止蒸汽在工作箱滞留液化,避免蒸汽水珠滴在石英晶片表面。
17.优选的,所述离子风机有两个,两个所述离子风机与工作箱背面固定连通。
18.两个离子风机与工作箱背面固定连通,从而使风力均匀,保证除静电和干燥效果好。
19.优选的,所述导接管有两个,所述导接管中部为圆形管,所述加热线圈均匀分布在圆形管内部。
20.优选的,所述振动马达有四个,四个所述振动马达对称分布在放置盘两侧。
21.四个对称分布的振动马达对放置盘高频振动,从而使石英晶片产生振动,使晶片与晶片之间水分更加方便彻底的去除,振动马达内部线路连接为现有技术。
22.与现有技术相比,本实用新型提供了一种石英晶片的除静电干燥装置,具备以下有益效果:
23.1、该石英晶片的除静电干燥装置,通过导接管将过滤箱和离子风机固定连通,离子风机从过滤箱内部抽取外部空气,过滤箱将空气中的杂质和水分进行过滤,避免水汽和灰尘进入工作箱内部,从而有利于石英晶片的干燥和除静电,离子风机将电离了的空气输送到工作箱内部,离子风机风口正对放置盘表面,从而使电离了的空气与石英晶片充分接触,除去石英晶片的带有的静电,由于进入的空气从导接管内部经过,导接管内部的加热线圈对空气进行升温,升温后的电离空气与石英晶片接触,从而对石英晶片进行除静电和干燥同步进行,工作效率高,转动电机带动放置盘转动,从而石英晶片与电离空气均匀结合,除静电和干燥效果好,离子风机产生的电离空气与石英晶片结合后从透明箱门的流通孔排出,从而将蒸汽带走,防止蒸汽在工作箱滞留液化,避免蒸汽水珠滴在石英晶片表面,四个对称分布的振动马达对放置盘高频振动,从而使石英晶片产生振动,使晶片与晶片之间水分更加方便彻底的去除。
24.2、该石英晶片的除静电干燥装置,通过工作箱对转动电机底部固定,转动电机对放置盘转动支撑,蒸汽通孔位于工作箱顶部,便于干燥时,蒸汽上升排出,通过加热灯管对工作箱内部进行升温,使石英晶片升温水汽蒸发,由于三个加热灯管设置于顶部,从而避免蒸汽在工作箱顶壁液化凝结成水珠,由于顶部温度高,使干燥产生的蒸汽从蒸汽通孔上升
排出。
附图说明
25.图1为本实用新型侧面剖视结构示意图;
26.图2为本实用新型表面剖视结构示意图;
27.图3为本实用新型离子风机连接结构示意图;
28.图4为本实用新型振动马达连接结构示意图。
29.其中:1、支撑机构;2、除静电干燥机构;101、工作箱;102、转动电机;103、放置盘;104、蒸汽通孔;105、加热灯管;106、透明箱门;201、离子风机;202、导接管;203、加热线圈;204、过滤箱;205、振动马达。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
31.请参阅图1-4。
32.一种石英晶片的除静电干燥装置,包括支撑机构1,支撑机构1外部设置有除静电干燥机构2;
33.支撑机构1包括工作箱101,工作箱101底面中部固定连接有转动电机102,转动电机102上端固定连接有放置盘103,工作箱101顶板内部设置有蒸汽通孔104,工作箱101上端固定连接有加热灯管105,工作箱101前端开口设置有透明箱门106;
34.通过工作箱101对转动电机102底部固定,转动电机102对放置盘103转动支撑,蒸汽通孔104位于工作箱101顶部,便于干燥时,蒸汽上升排出,通过加热灯管105对工作箱101内部进行升温,使石英晶片升温水汽蒸发,由于三个加热灯管105设置于顶部,从而避免蒸汽在工作箱101顶壁液化凝结成水珠,由于顶部温度高,使干燥产生的蒸汽从蒸汽通孔104上升排出。
35.除静电干燥机构2包括离子风机201,离子风机201背面固定连通有导接管202,导接管202中部设置有加热线圈203,加热线圈203另一端固定连通有过滤箱204,放置盘103侧面固定连接有振动马达205。
36.通过导接管202将过滤箱204和离子风机201固定连通,离子风机201从过滤箱204内部抽取外部空气,过滤箱204将空气中的杂质和水分进行过滤,避免水汽和灰尘进入工作箱101内部,从而有利于石英晶片的干燥和除静电,离子风机201将电离了的空气输送到工作箱101内部,离子风机201风口正对放置盘103表面,从而使电离了的空气与石英晶片充分接触,除去石英晶片的带有的静电,由于进入的空气从导接管202内部经过,导接管202内部的加热线圈203对空气进行升温,升温后的电离空气与石英晶片接触,从而对石英晶片进行除静电和干燥同步进行,工作效率高,转动电机102带动放置盘103转动,从而石英晶片与电离空气均匀结合,除静电和干燥效果好,离子风机201产生的电离空气与石英晶片结合后从透明箱门106的流通孔排出,从而将蒸汽带走,防止蒸汽在工作箱101滞留液化,避免蒸汽水
珠滴在石英晶片表面,四个对称分布的振动马达205对放置盘103高频振动,从而使石英晶片产生振动,使晶片与晶片之间水分更加方便彻底的去除。
37.蒸汽通孔104有多个,多个蒸汽通孔104均匀分布在工作箱101顶部。
38.加热灯管105有三个,三个加热灯管105等距分布在工作箱101顶壁的两侧和中部。
39.三个加热灯管105设置于顶部,从而避免蒸汽在工作箱101顶壁液化凝结成水珠,由于顶部温度高,使干燥产生的蒸汽从蒸汽通孔104上升排出。
40.透明箱门106内部设置有均匀分布的流通孔,透明箱门106外侧设置有把手。
41.离子风机201产生的电离空气与石英晶片结合后从透明箱门106的流通孔排出,从而将蒸汽带走,防止蒸汽在工作箱101滞留液化,避免蒸汽水珠滴在石英晶片表面。
42.离子风机201有两个,两个离子风机201与工作箱101背面固定连通。
43.两个离子风机201与工作箱101背面固定连通,从而使风力均匀,保证除静电和干燥效果好。
44.导接管202有两个,导接管202中部为圆形管,加热线圈203均匀分布在圆形管内部。
45.振动马达205有四个,四个振动马达205对称分布在放置盘103两侧。
46.四个对称分布的振动马达205对放置盘103高频振动,从而使石英晶片产生振动,使晶片与晶片之间水分更加方便彻底的去除,振动马达205内部线路连接为现有技术。
47.在使用时,通过导接管202将过滤箱204和离子风机201固定连通,离子风机201从过滤箱204内部抽取外部空气,过滤箱204将空气中的杂质和水分进行过滤,避免水汽和灰尘进入工作箱101内部,从而有利于石英晶片的干燥和除静电,离子风机201将电离了的空气输送到工作箱101内部,离子风机201风口正对放置盘103表面,从而使电离了的空气与石英晶片充分接触,除去石英晶片的带有的静电,由于进入的空气从导接管202内部经过,导接管202内部的加热线圈203对空气进行升温,升温后的电离空气与石英晶片接触,从而对石英晶片进行除静电和干燥同步进行,工作效率高,转动电机102带动放置盘103转动,从而石英晶片与电离空气均匀结合,除静电和干燥效果好,离子风机201产生的电离空气与石英晶片结合后从透明箱门106的流通孔排出,从而将蒸汽带走,防止蒸汽在工作箱101滞留液化,避免蒸汽水珠滴在石英晶片表面,四个对称分布的振动马达205对放置盘103高频振动,从而使石英晶片产生振动,使晶片与晶片之间水分更加方便彻底的去除。
48.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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