掩模单元片材部的变形量缩减方法及框架一体型掩模的制造方法与流程

文档序号:33815116发布日期:2023-04-19 15:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩模单元片材部的变形量缩减方法,该方法在制造框架一体型掩模时用于缩减框架的掩模单元片材部的变形量,所述框架一体型掩模包括多个掩模和框架,所述框架具有多个掩模单元区域且边缘框架部上连接有掩模单元片材部,其特征在于,

2.如权利要求1所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

3.如权利要求1所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

4.如权利要求1所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

5.一种掩模单元片材部的变形量缩减方法,该方法在制造框架一体型掩模时用于缩减框架的掩模单元片材部的变形量,所述框架一体型掩模包括多个掩模和框架,所述框架具有多个掩模单元区域且边缘框架部上连接有掩模单元片材部,其特征在于,

6.如权利要求5所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

7.一种掩模单元片材部的变形量缩减方法,该方法在制造框架一体型掩模时用于缩减框架的掩模单元片材部的变形量,所述框架一体型掩模包括多个掩模和框架,所述框架具有多个掩模单元区域且边缘框架部上连接有掩模单元片材部,其特征在于,

8.如权利要求7所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

9.如权利要求7所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

10.如权利要求7所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

11.如权利要求1、5、7中任一项所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

12.如权利要求1、5、7中任一项所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

13.如权利要求1、5、7中任一项所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

14.如权利要求1、5、7中任一项所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

15.如权利要求14所述的掩模单元片材部的变形量缩减方法,其特征在于,

16.一种框架一体型掩模的制造方法,该框架一体型掩模由多个掩模和用于支撑掩模的框架一体形成,其特征在于,包括以下步骤:


技术总结
本发明涉及掩模单元片材部的变形量缩减方法、框架一体型掩模及其制造方法。更详细地,涉及一种掩模单元片材部的变形量缩减方法及框架一体型掩模的制造方法,在附着掩模时通过控制焊接过程控,可缩减掩模施加的拉伸力引起的掩模单元片材部的变形量,从而能够准确地对各掩模进行对准(align)。

技术研发人员:李炳一,张泽龙
受保护的技术使用者:悟劳茂材料公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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