显示装置、显示模块、电子设备及显示装置的制造方法与流程

本发明的一个方式涉及一种显示装置、显示模块及电子设备。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本发明的一个方式的的一个例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如，触摸传感器)、输入输出装置(例如，触摸面板)以及上述装置的驱动方法或制造方法。

背景技术：

1、近年来，显示装置被期待应用于各种用途。例如，作为大型显示装置的用途，可以举出家用电视装置(也称为电视或电视接收器)、数字标牌(digital signage)及pid(public information display：公共信息显示器)等。此外，作为便携式信息终端，对具备触摸面板的智能手机及平板终端等已在进行研发。

2、另外，有显示装置的高清晰化的需求。作为需要高清晰显示装置的设备，例如面向虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmented reality)、替代现实(sr：substitutional reality)以及混合现实(mr：mixed reality)的设备的开发很活跃。

3、作为显示装置，例如对包括发光器件(也称为发光元件)的发光装置已在进行研发。利用电致发光(electroluminescence，以下称为el)现象的发光器件(也称为“el器件”、“el元件”)具有容易实现薄型轻量化；能够高速地响应输入信号；以及能够使用直流恒压电源等而驱动的特征等，并已将其应用于显示装置。

4、专利文献1公开了使用有机el器件(也称为有机el元件)的面向vr的显示装置。

5、[先行技术文献]

6、[专利文献]

7、[专利文献1]国际公开第2018/087625号

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。

3、本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

4、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。

5、解决技术问题的手段

6、本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一发光器件、第二发光器件、第一绝缘层以及第二绝缘层，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一发光层以及第一发光层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二发光层以及第二发光层上的公共电极，第一绝缘层覆盖第一发光层的顶面的一部分及侧面以及第二发光层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一发光层的顶面的一部分及第二发光层的顶面的一部分重叠，第二绝缘层具有位于第一发光层的侧面与第二发光层的侧面之间的部分，公共电极覆盖第二绝缘层，在剖视时第二绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状，第一发光层具有第一区域以及第一区域的外侧的第二区域，第一区域位于第一像素电极与公共电极之间，第二区域与第一绝缘层和第二绝缘层中的至少一个重叠，第二区域的宽度为1nm以上，且为第一区域的宽度的50％以下。

7、本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一发光器件、第二发光器件、第一绝缘层以及第二绝缘层，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一发光层、第一发光层上的第一功能层以及第一功能层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二发光层、第二发光层上的第二功能层以及第二功能层上的公共电极，第一绝缘层覆盖第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面重叠，第二绝缘层具有位于第一发光层的侧面与第二发光层的侧面之间的部分，公共电极覆盖第二绝缘层，在剖视时第二绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状，第一发光层具有第一区域以及第一区域的外侧的第二区域，第一区域位于第一像素电极与公共电极之间，第二区域与第一绝缘层和第二绝缘层中的至少一个重叠，第二区域的宽度为1nm以上，且为第一区域的宽度的50％以下。

8、第一功能层及第二功能层优选都包括空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层、空穴阻挡层和电子阻挡层中的至少一个。

9、第二绝缘层优选覆盖第一绝缘层的侧面的至少一部分。

10、第二绝缘层的端部优选位于第一绝缘层的端部的外侧。

11、第二绝缘层的顶面优选具有凸曲面形状。

12、在剖视时，第一绝缘层的端部优选具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。

13、第二绝缘层的侧面优选具有凹曲面形状。

14、具有上述各结构的显示装置优选还包括第三绝缘层及第四绝缘层。优选的是，第三绝缘层位于第一发光层的顶面与第一绝缘层之间，第四绝缘层位于第二发光层的顶面与第一绝缘层之间，第三绝缘层的端部及第四绝缘层的端部都位于第一绝缘层的端部的外侧。

15、第二绝缘层优选覆盖第三绝缘层的侧面的至少一部分及第四绝缘层的侧面的至少一部分。

16、在剖视时，第三绝缘层的端部及第四绝缘层的端部都优选具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。

17、第一绝缘层及第二绝缘层优选各自具有与第一像素电极的顶面重叠的部分及与第二像素电极的顶面重叠的部分。

18、优选的是，第一发光层覆盖第一像素电极的侧面，第二发光层覆盖第二像素电极的侧面。

19、在剖视时，第一像素电极的端部及第二像素电极的端部都优选具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。

20、优选的是，第一绝缘层为无机绝缘层，第二绝缘层为有机绝缘层。第一绝缘层优选包含氧化铝。

21、优选的是，第一发光器件在第一发光层与公共电极之间包括公共层，第二发光器件在第二发光层与公共电极之间包括公共层，公共层位于第二绝缘层与公共电极之间。

22、本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一发光器件、第二发光器件、第一绝缘层以及第二绝缘层，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一发光层、第一发光层上的第一功能层、第一功能层上的公共层以及公共层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二发光层、第二发光层上的第二功能层、第二功能层上的公共层以及公共层上的公共电极，第一绝缘层覆盖第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面重叠，第二绝缘层具有位于第一发光层的侧面与第二发光层的侧面之间的部分，公共层覆盖第二绝缘层，公共电极隔着公共层覆盖第二绝缘层，在剖视时第二绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状，第一功能层、第二功能层以及公共层包含相同的材料。

23、本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一发光器件、第二发光器件、第一绝缘层、第二绝缘层以及第三绝缘层，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一发光层、第一发光层上的第一功能层、第一功能层上的公共层以及公共层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二发光层、第二发光层上的第二功能层、第二功能层上的公共层以及公共层上的公共电极，第一绝缘层包含有机化合物，第一绝缘层覆盖第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面重叠，第三绝缘层隔着第一绝缘层及第二绝缘层与第一发光层的顶面的一部分及侧面、第二发光层的顶面的一部分及侧面、第一功能层的顶面的一部分及侧面以及第二功能层的顶面的一部分及侧面重叠，第三绝缘层具有位于第一发光层的侧面与第二发光层的侧面之间的部分，公共层覆盖第三绝缘层，公共电极隔着公共层覆盖第三绝缘层，在剖视时第三绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。另外，第一功能层、第二功能层以及公共层优选包含相同的材料。另外，第一绝缘层以及公共层优选包含相同的材料。

24、第一功能层及第二功能层优选各自包括第一载流子传输层和载流子阻挡层中的一方或双方。

25、公共层优选包括第二载流子传输层及第二载流子传输层上的载流子注入层。

26、本发明的一个方式是一种显示模块，包括具有上述任意结构的显示装置，该显示模块安装有柔性印刷电路板(flexible printed circuit，以下记作fpc)或tcp(tapecarrier package：带载封装)等连接器或者利用cog(chip on glass：玻璃覆晶封装)方式或利用cof(chip on film：薄膜覆晶封装)方式等安装有集成电路(ic)。

27、本发明的一个方式是一种电子设备，包括上述显示模块以及框体、电池、照相机、扬声器和麦克风中的至少一个。

28、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成至少包括第一发光层的第一膜；在第一膜上形成作为绝缘膜的第一掩模膜；在第一掩模膜上形成作为金属膜或合金膜的第二掩模膜；在第二掩模膜上形成与第一像素电极重叠的第一抗蚀剂掩模；使用第一抗蚀剂掩模加工第二掩模膜来形成与第一像素电极重叠的第二掩模层；通过利用等离子体的灰化去除第一抗蚀剂掩模；使用第二掩模层作为硬掩模加工第一掩模膜来形成与第一像素电极重叠的第一掩模层；使用第一掩模层及第二掩模层作为硬掩模，利用干蚀刻法加工第一膜来形成与第一像素电极重叠的第一层且使第二像素电极露出；在第二掩模层及第二像素电极上形成至少包括第二发光层的第二膜；在第二膜上形成作为绝缘膜的第三掩模膜；在第三掩模膜上形成作为金属膜或合金膜的第四掩模膜；在第四掩模膜上形成与第二像素电极重叠的第二抗蚀剂掩模；使用第二抗蚀剂掩模加工第四掩模膜来形成与第二像素电极重叠的第四掩模层；通过利用等离子体的灰化去除第二抗蚀剂掩模；使用第四掩模层作为硬掩模加工第三掩模膜来形成与第二像素电极重叠的第三掩模层；使用第三掩模层及第四掩模层作为硬掩模，利用干蚀刻法加工第二膜来形成与第二像素电极重叠的第二层且使第二掩模层露出；利用湿蚀刻法去除第二掩模层及第四掩模层；利用湿蚀刻法去除第一掩模层和第三掩模层中的至少一部分来使第一层的顶面及第二层的顶面露出；以及以覆盖第一层及第二层的方式形成公共电极。

29、优选的是：在去除第二掩模层及第四掩模层之后在第一掩模层及第三掩模层上形成无机绝缘膜；利用感光性树脂组成物在无机绝缘膜上形成有机绝缘膜；对有机绝缘膜进行曝光及显影来形成与夹在第一像素电极和第二像素电极之间的区域重叠的有机绝缘层；使用有机绝缘层作为硬掩模，利用湿蚀刻法加工无机绝缘膜来形成与夹在第一像素电极和第二像素电极之间的区域重叠的无机绝缘层；使用有机绝缘层及无机绝缘层作为硬掩模，利用湿蚀刻法加工第一掩模层及第三掩模层来使第一层的顶面及第二层的顶面露出；以及以覆盖第一层、第二层、无机绝缘层及有机绝缘层的方式形成公共电极。

30、在形成无机绝缘层的工序中，优选在减小第一掩模层的一部分及第三掩模层的一部分的厚度来形成无机绝缘层的工序与使第一层的顶面及第二层的顶面露出的工序之间进行加热处理。

31、优选的是，作为第一掩模膜、第三掩模膜及无机绝缘膜都利用ald法沉积氧化铝膜，并且作为第二掩模膜及第四掩模膜都利用溅射法沉积钨膜。

32、优选的是，第一膜在第一发光层上包括第一功能层，第二膜在第二发光层上包括第二功能层，第一功能层及第二功能层都包括空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层、空穴阻挡层和电子阻挡层中的至少一个。

33、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成第一膜；在第一膜上形成第一掩模膜；通过加工第一膜及第一掩模膜，在第一像素电极上形成第一层及第一掩模层，且使第二像素电极露出；在第一掩模层及第二像素电极上形成第二膜；在第二膜上形成第二掩模膜；通过加工第二膜及第二掩模膜，在第二像素电极上形成第二层及第二掩模层，且使第一掩模层露出；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；利用感光性树脂组成物在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；通过加工第二绝缘膜，形成与夹在第一像素电极与第二像素电极之间的区域重叠的第二绝缘层；通过使用第二绝缘层作为掩模进行第一蚀刻处理，去除第一绝缘膜的一部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层，并减小第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分的厚度；进行加热处理，然后通过使用第二绝缘层作为掩模进行第二蚀刻处理来去除第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分，使第一层的顶面及第二层的顶面露出；以覆盖第一层、第二层及第二绝缘层的方式形成公共电极；以及在使第一层的顶面及第二层的顶面露出之后，对第二绝缘层照射光，第一层至少包括第一发光层，第二层至少包括第二发光层。

34、优选的是，在形成公共电极之后照射光，在照射光之后形成覆盖公共电极的第三绝缘层。另外，优选的是，在形成公共电极之后形成覆盖公共电极的第三绝缘层，在形成第三绝缘层之后照射光。另外，优选的是，在形成公共电极之前照射光。

35、优选的是，作为第一绝缘膜利用ald法沉积氧化铝膜，并且作为第一掩模膜及第二掩模膜利用ald法沉积氧化铝膜。

36、第一蚀刻处理及第二蚀刻处理优选利用湿蚀刻进行。

37、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成第一发光膜；在第一发光膜上形成第一功能膜；在第一功能膜上形成第一掩模膜；通过加工第一发光膜、第一功能膜及第一掩模膜，在第一像素电极上形成第一发光层、第一功能层及第一掩模层，且使第二像素电极露出；在第一掩模层及第二像素电极上形成第二发光膜；在第二发光膜上形成第二功能膜；在第二功能膜上形成第二掩模膜；通过加工第二发光膜、第二功能膜及第二掩模膜，在第二像素电极上形成第二发光层、第二功能层及第二掩模层，且使第一掩模层露出；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；通过加工第二绝缘膜，形成与夹在第一像素电极和第二像素电极之间的区域重叠的第二绝缘层；通过使用第二绝缘层作为掩模进行蚀刻处理，去除第一绝缘膜的一部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层，并且去除第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分，来使第一功能层的顶面及第二功能层的顶面露出；以覆盖第一功能层、第二功能层及第二绝缘层的方式形成第一公共层；以及在第一公共层上形成公共电极，使用相同的材料形成第一功能层、第二功能层及第一公共层。

38、在蚀刻处理中，优选去除第一功能层的一部分及第二功能层的一部分。

39、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成第一发光膜；在第一发光膜上形成第一功能膜；在第一功能膜上形成第一有机膜；在第一有机膜上形成第一掩模膜；通过加工第一发光膜、第一功能膜、第一有机膜及第一掩模膜，在第一像素电极上形成第一发光层、第一功能层、第一有机层及第一掩模层，且使第二像素电极露出；在第一掩模层及第二像素电极上形成第二发光膜；在第二发光膜上形成第二功能膜；在第二功能膜上形成第二有机膜；在第二有机膜上形成第二掩模膜；通过加工第二发光膜、第二功能膜、第二有机膜及第二掩模膜，在第二像素电极上形成第二发光层、第二功能层、第二有机层及第二掩模层，且使第一掩模层露出；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；利用感光性树脂组成物在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；通过加工第二绝缘膜，形成与夹在第一像素电极和第二像素电极之间的区域重叠的第二绝缘层；通过使用第二绝缘层作为掩模进行蚀刻处理，去除第一绝缘膜的一部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层，并且去除第一掩模层的一部分、第二掩模层的一部分、第一有机层的一部分及第二有机层的一部分，使第一功能层的顶面及第二功能层的顶面露出；以及以覆盖第一功能层、第二功能层及第二绝缘层的方式形成第一公共层；以及在第一公共层上形成公共电极。另外，优选使用相同的材料形成第一功能层、第二功能层及第一公共层。

40、优选的是，在第一公共层上形成第二公共层，在第二公共层上形成公共电极。

41、优选的是，作为第一绝缘膜利用ald法沉积氧化铝膜，并且作为第一掩模膜及第二掩模膜利用ald法沉积氧化铝膜。

42、发明效果

43、根据本发明的一个方式，可以提供一种显示品质高的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置。

44、根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

45、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。