牢固地安装在高声速衬底上的声波谐振器的制作方法

技术特征：

1.一种声波谐振器设备(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

3.根据权利要求1或2所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

4.根据权利要求1至3中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

6.根据权利要求1至5中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

7.根据权利要求6所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

8.根据权利要求1至7中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

9.根据权利要求1至8中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

10.根据权利要求9所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

11.根据权利要求1至10中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

12.根据权利要求1至11中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

13.根据权利要求1至12中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

14.根据权利要求1至13中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

15.根据权利要求1至14中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

16.根据权利要求1至15中任一项所述的声波谐振器设备(100)，其特征在于：

17.一种声波谐振器设备(100)，其特征在于，包括：

18.根据权利要求1至17中任一项所述的操作声波谐振器设备(100)的方法(1000)，其特征在于，所述方法(1000)包括：

技术总结
本发明涉及一种结实的声波谐振器设备，所述声波谐振器设备具有由固体衬底支撑的压电板。所述设备包括：衬底；位于所述衬底上的具有高声速的非压电衬底层，例如金刚石；位于所述衬底层上的电介质层；所述压电板，通过金属层附接到所述电介质层；两组电极，分别连接到第一母线和第二母线，并以节距p交替地布置在所述压电板上。平行于所述衬底层表面(垂直于电极)传播的慢剪切体波的速度V<subgt;diam</subgt;大于所述压电板中的相速度V<subgt;ph</subgt;＝2p*F<subgt;R</subgt;，F<subgt;R</subgt;是通过V<subgt;LN</subgt;/(2d<subgt;LN</subgt;)确定的所述设备的工作频率。所述节距p满足p<V<subgt;diam</subgt;/V<subgt;LN</subgt;*d<subgt;LN</subgt;，其中，V<subgt;LN</subgt;是所述压电板中谐振的体波的速度，d<subgt;LN</subgt;是所述压电板的厚度。

技术研发人员：维克托·普莱斯基
受保护的技术使用者：华为技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/8/27