谐振器、滤波器、电子设备以及谐振器的制备方法与流程

本技术涉及射频，具体涉及一种谐振器、滤波器、电子设备以及谐振器的制备方法。

背景技术：

1、谐振器是一种将电信号转换为声信号或将声信号转换为电信号的器件。谐振器通常包括压电基板以及形成于压电基板上的多个叉指换能器(interdigitaltransducer，idt)，叉指换能器可用于将电信号转化为声信号或将声信号转化为电信号。其中，叉指换能器通常包括两个平行的汇流条以及垂直连接于汇流条的多个电极指。

2、当前，射频技术的发展对谐振器性能有了更高的要求，因此，如何提高谐振器性能，尤其是谐振器的品质因数(bode q)已成为亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提出一种谐振器、滤波器、电子设备以及谐振器的制备方法，以改善上述至少一项技术问题。本技术通过以下技术方案来实现上述目的。

2、第一方面，本技术实施方式提供了一种谐振器，谐振器具有第一声速区、第二声速区以及第三声速区，第二声速区位于第一声速区和第三声速区之间，声波在第一声速区与第三声速区的声速均大于在第二声速区的声速，谐振器包括压电基板以及叉指换能器，叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条以及电极指，第一汇流条和第二汇流条相对设置于压电基板上，第一声速区、第二声速区以及第三声速区从第一汇流条向第二汇流条的方向依次分布，电极指设置于压电基板上，电极指包括第一电极指以及第二电极指，第一电极指的一端连接于第一汇流条，第一电极指的另一端向第二汇流条延伸，第二电极指的一端连接于第二汇流条，第二电极指的另一端向第一汇流条延伸，且与第一电极指相互交替排布；第一电极指位于第一声速区与第二声速区，第二电极指位于第三声速区与第二声速区，位于第一声速区和第三声速区中至少一者的电极指部分地下沉至压电基板内。

3、在一种实施方式中，电极指具有厚度t1，电极指下沉至压电基板内的深度为t2，其中0<t2/t1<0.6。

4、在一种实施方式中，电极指具有厚度t1，电极指下沉至压电基板内的深度为t2，其中0.1≤t2/t1≤0.3。

5、在一种实施方式中，压电基板包括安装面，叉指换能器设置于安装面，安装面在第一声速区和第三声速区中的至少一个区域设有第一凹槽，电极指部分地下沉至第一凹槽内。

6、在一种实施方式中，压电基板包括安装面和凸起结构，叉指换能器和凸起结构均设置于安装面，凸起结构位于第一声速区和第三声速区中的至少一个区域，凸起结构的上表面设有第二凹槽，电极指部分地下沉至第二凹槽内。

7、在一种实施方式中，第一电极指背离压电基板的一侧具有第一电极面和第二电极面，第一电极面位于第一声速区，第二电极面位于第二声速区；位于第一声速区的第一电极指部分地下沉至压电基板内，且位于第一声速区的第一电极指和位于第二声速区的第一电极指的厚度相同，第一电极面和第二电极面处于同一平面，或者第二电极面沿压电基板的厚度方向高于第一电极面；和/或，第二电极指背离压电基板的一侧具有第三电极面和第四电极面，第三电极面位于第三声速区，第四电极面位于第二声速区；位于第三声速区的第二电极指部分地下沉至压电基板内，且位于第三声速区的第二电极指和位于第二声速区的第二电极指的厚度相同，第三电极面和第四电极面处于同一平面，或者第四电极面沿压电基板的厚度方向高于第三电极面。

8、在一种实施方式中，谐振器还包括第四声速区以及第五声速区，第四声速区位于第一声速区和第二声速区之间，第五声速区位于第三声速区和第二声速区之间，第一电极指位于第一声速区、第四声速区、第二声速区以及第五声速区，第二电极指位于第三声速区、第五声速区、第二声速区以及第四声速区，声波在第四声速区和第五声速区的声速均小于在第二声速区的声速，且小于在第一声速区和第三声速区的声速；位于第四声速区以及位于第五声速区的电极指的宽度大于位于第二声速区的电极指的宽度，和/或，位于第四声速区以及位于第五声速区的电极指的厚度大于位于第二声速区的电极指的厚度。

9、在一种实施方式中，谐振器还包括第四声速区以及第五声速区，第四声速区位于第一声速区和第二声速区之间，第五声速区位于第三声速区和第二声速区之间，第一电极指位于第一声速区、第四声速区、第二声速区以及第五声速区，第二电极指位于第三声速区、第五声速区、第二声速区以及第四声速区，声波在第四声速区和第五声速区的声速均小于在第二声速区的声速，且小于在第一声速区和第三声速区的声速；谐振器还包括质量附加层，位于第四声速区以及位于第五声速区的电极指背离压电基板的一侧设置有质量附加层。

10、在一种实施方式中，谐振器还包括电介质层，电介质层覆盖于叉指换能器背离压电基板的一侧，电介质层用于调整谐振器的温度频率系数。

11、在一种实施方式中，谐振器还包括保护层，保护层覆盖于电介质层背离叉指换能器的一侧。

12、第二方面，本技术实施方式提供了一种谐振器，谐振器具有第一声速区、第二声速区以及第三声速区，第二声速区位于第一声速区和第三声速区之间，声波在第一声速区与第三声速区的声速均大于在第二声速区的声速，谐振器包括压电基板以及叉指换能器，压电基板在第一声速区和第三声速区的至少一个区域设有多个凹槽；叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条以及电极指，第一汇流条和第二汇流条相对设置于压电基板上，第一声速区、第二声速区以及第三声速区从第一汇流条向第二汇流条的方向依次分布，电极指设置于压电基板上，电极指包括第一电极指以及第二电极指，第一电极指的一端连接于第一汇流条，第一电极指的另一端向第二汇流条延伸，第二电极指的一端连接于第二汇流条，第二电极指的另一端向第一汇流条延伸，且与第一电极指相互交替排布；第一电极指位于第一声速区与第二声速区，第二电极指位于第三声速区与第二声速区，位于第一声速区和第三声速区中至少一者的电极指部分地下沉至对应的凹槽内。

13、第三方面，本技术实施方式提供了一种谐振器，谐振器具有第一声速区、第二声速区、第三声速区、第四声速区以及第五声速区，声波在第一声速区与第三声速区的声速均大于在第二声速区的声速，声波在第四声速区和第五声速区的声速均小于在第二声速区的声速，且小于在第一声速区和第三声速区的声速，谐振器包括压电基板以及叉指换能器，叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条以及电极指，第一汇流条和第二汇流条相对设置于压电基板上，第一声速区、第四声速区、第二声速区、第五声速区以及第三声速区从第一汇流条向第二汇流条的方向依次分布，电极指设置于压电基板上，电极指包括第一电极指以及第二电极指，第一电极指的一端连接于第一汇流条，第一电极指的另一端向第二汇流条延伸，第二电极指的一端连接于第二汇流条，第二电极指的另一端向第一汇流条延伸，且与第一电极指相互交替排布；第一电极指位于第一声速区、第四声速区、第二声速区以及第五声速区，第二电极指位于第三声速区、第五声速区、第二声速区以及第四声速区，位于第一声速区和第三声速区中至少一者的电极指部分地下沉至压电基板内。

14、第四方面，本技术实施方式提供了一种滤波器，滤波器至少包括多个上述任一实施方式中的谐振器。

15、第五方面，本技术实施方式提供了一种电子设备，电子设备包括基板以及上述实施方式中的滤波器，滤波器安装于基板上，并与基板电连接。

16、第六方面，本技术实施方式提供了一种上述任一实施方式中的谐振器的制备方法，制备方法包括：提供一压电基板，压电基板具有安装面；在安装面上形成第一凹槽；以及在安装面上形成叉指换能器，叉指换能器的电极指位于第一声速区、第二声速区以及第三声速区，声波在第一声速区与第三声速区的声速均大于在第二声速区的声速，位于第一声速区和第三声速区中至少一者的电极指部分地下沉至第一凹槽内。

17、第七方面，本技术实施方式提供了一种上述任一实施方式中的谐振器的制备方法，制备方法包括：提供一压电基板，压电基板具有安装面，压电基板具有第一区域、第二区域以及第三区域，且均设置于安装面，在压电基板的厚度方向上，第一区域和第三区域中的至少一个区域的上表面高于第二区域的上表面；在第一区域和第三区域中的至少一个区域的上表面形成第二凹槽；以及在压电基板上形成叉指换能器，叉指换能器的电极指位于第一声速区、第二声速区以及第三声速区，声波在第一声速区与第三声速区的声速均大于在第二声速区的声速，第一区域位于第一声速区，第二区域位于第二声速区，第三区域位于第三声速区；位于第一区域和第三区域中至少一者的电极指部分地下沉至第二凹槽内。

18、本技术实施方式提供的谐振器、滤波器、电子设备以及谐振器的制备方法，压电基板可以作为压电体，叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条以及电极指，第一汇流条、第二汇流条以及电极指且均设置于压电基板，电极指连接于第一汇流条和第二汇流条之间，第一声速区、第二声速区以及第三声速区从第一汇流条向第二汇流条的方向依次分布，位于第一声速区和第三声速区中至少一者的电极指部分地下沉至压电基板内。如此，有助于增大声波在第一声速区和第三声速区中至少一个区域的声速，提升了声波在该区域的势垒，减少了声波的横向损耗，提高了品质因数的值。