技术特征：
1.一种超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供压电衬底(1)，在所述压电衬底(1)上制作第一光刻胶层(2)；对所述第一光刻胶层(2)曝光显影，形成多个间隔的胶条(3)；沉积包裹所述胶条(3)和覆盖所述胶条(3)间隙的金属层(4)；在所述金属层(4)的表面制作第二光刻胶层(5)；通过干法刻蚀对所述第二光刻胶层(5)和金属层(4)进行刻蚀，保留每个所述胶条(3)长度方向两侧面的所述金属层(4)，去除其他所述金属层(4)和所述金属层(4)上的所述第二光刻胶层(5)；以及，去除所述压电衬底(1)上的所述胶条(3)，得到叉指电极(6)。2.根据权利要求1所述的超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，所述第一光刻胶层(2)的厚度大于或等于叉指电极(6)所需的厚度。3.根据权利要求1所述的超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，所述胶条(3)的线宽为0.5-10μm。4.根据权利要求1所述的超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，“通过干法刻蚀对所述第二光刻胶层(5)和金属层(4)进行刻蚀”的步骤，具体包括以下步骤：利用第一种气体对所述第二光刻胶层(5)刻蚀第一厚度，所述第一种气体包括氟化物气体，利用第二种气体对所述第二光刻胶层(5)刻蚀第二厚度，对所述金属层(4)刻蚀，所述第二种气体包括氯气。5.根据权利要求4所述的超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，所述第一厚度占所述第二光刻胶层(5)最大厚度的55％-80％。6.根据权利要求4所述的超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，所述第一种气体中还包括氧气，氧气和氟化物气体的质量比例为1：500-1：1.5；和/或，所述第二种气体中还包括氟化物气体，氟化物气体和氯气的质量比例为1：40-1：20。7.根据权利要求1所述的超细线宽叉指电极的制备方法，其特征在于，所述金属层(4)的厚度小于所述胶条(3)的厚度。8.一种叉指电极，其特征在于，根据权利要求1-7任一项所述的方法制备得到。9.根据权利要求8所述的叉指电极，其特征在于，所述叉指电极(6)的线宽为50nm-500nm。10.一种叉指换能器，其特征在于，包括如权利要求8或9所述的叉指电极(6)。
技术总结
本申请涉及通信器件技术领域，尤其涉及一种超细线宽叉指电极及其制备方法、叉指换能器，超细线宽叉指电极的制备方法包括以下步骤：提供压电衬底，在压电衬底上制作第一光刻胶层；对第一光刻胶层曝光显影，形成多个间隔的胶条；沉积包裹胶条和覆盖胶条间隙的金属层；在金属层的表面制作第二光刻胶层；通过干法刻蚀对第二光刻胶和金属层进行刻蚀，保留每个胶条长度方向两侧面的金属层，去除其他金属层和金属层上的第二光刻胶层；去除压电衬底上的胶条，得到叉指电极。本申请可实现超细线宽的叉指电极的大规模应用，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。
技术研发人员：赵淄红
受保护的技术使用者：北京中科飞鸿科技股份有限公司
技术研发日：2023.03.08
技术公布日：2023/5/26