1.一种半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法包括:
2.根据权利要求1所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法,还包括:
3.根据权利要求2所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述于所述有源柱的第一段形成限位结构,包括:
4.根据权利要求1所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法还包括:
5.根据权利要求4所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述于所述有源柱之间形成字线隔离结构,包括:
6.根据权利要求5所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述于所述字线隔离结构与所述有源柱之间形成所述支撑结构,包括:
7.一种半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法包括:
8.根据权利要求7所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法还包括:
9.根据权利要求8所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,于所述字线隔离结构的两侧形成所述支撑结构,包括:
10.根据权利要求9所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,于所述基底内形成多个字线隔离结构,还包括:
11.根据权利要求10所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体制作方法,还包括:
12.根据权利要求11所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,于所述字线沟槽的侧壁上形成所述第一介质层,包括:
13.根据权利要求11所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述硅柱基于所述硅柱结构形成,包括:
14.一种半导体结构,其特征在于,包括:
15.根据权利要求14所述的半导体结构,其特征在于,所述半导体结构还包括:
16.根据权利要求15所述的半导体结构,其特征在于,所述限位结构的高度为所述有源柱的高度的三分之一。
17.根据权利要求14所述的半导体结构,其特征在于,所述半导体结构还包括:
18.根据权利要求17所述的半导体结构,其特征在于,所述字线隔离结构与所述支撑结构的顶面平齐。