半导体结构的制作方法及半导体结构与流程

文档序号:35289373发布日期:2023-09-01 10:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法包括:

2.根据权利要求1所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法,还包括:

3.根据权利要求2所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述于所述有源柱的第一段形成限位结构,包括:

4.根据权利要求1所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法还包括:

5.根据权利要求4所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述于所述有源柱之间形成字线隔离结构,包括:

6.根据权利要求5所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述于所述字线隔离结构与所述有源柱之间形成所述支撑结构,包括:

7.一种半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法包括:

8.根据权利要求7所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体结构的制作方法还包括:

9.根据权利要求8所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,于所述字线隔离结构的两侧形成所述支撑结构,包括:

10.根据权利要求9所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,于所述基底内形成多个字线隔离结构,还包括:

11.根据权利要求10所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述半导体制作方法,还包括:

12.根据权利要求11所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,于所述字线沟槽的侧壁上形成所述第一介质层,包括:

13.根据权利要求11所述的半导体结构的制作方法,其特征在于,所述硅柱基于所述硅柱结构形成,包括:

14.一种半导体结构,其特征在于,包括:

15.根据权利要求14所述的半导体结构,其特征在于,所述半导体结构还包括:

16.根据权利要求15所述的半导体结构,其特征在于,所述限位结构的高度为所述有源柱的高度的三分之一。

17.根据权利要求14所述的半导体结构,其特征在于,所述半导体结构还包括:

18.根据权利要求17所述的半导体结构,其特征在于,所述字线隔离结构与所述支撑结构的顶面平齐。


技术总结
本公开提供了一种半导体结构的制作方法及半导体结构,涉及半导体技术领域。该半导体结构的制作方法包括提供基底;于基底上形成有源柱,有源柱包括顺序连接的第一段、第二段和第三段,沿第一方向,于第二段的侧壁、第一段的顶面和第三段的底面上形成第一栅氧化层;于第一栅氧化层上形成第二栅氧化层,第二栅氧化层的长度小于第一栅氧化层的长度,第二栅氧化层靠近第三段设置,第二栅氧化层的厚度大于第一栅氧化层的厚度。本公开通过在有源柱的第二段上的不同位置形成两层不同厚度的栅氧化层,从而有效减少栅诱导漏极泄漏电流,进而提高半导体结构的性能和良率。

技术研发人员:肖德元,余泳,邵光速
受保护的技术使用者:长鑫存储技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/14
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