电阻、修调方法、高共模抑制比与参考端单位增益设计方法与流程

文档序号:36260845发布日期:2023-12-05 18:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电阻,其特征在于,包括电阻本体(1)和调制区(2),电阻本体(1)和调制区(2)均为竖向结构,电阻本体(1)的长度大于调制区(2),调制区(2)的宽度大于电阻本体(1),电阻本体(1)和调制区(2)组成刀状电阻,电阻本体(1)和调制区(2)的顶部以及电阻本体(1)的底部均设置有金属连丝,调制区(2)上开设有粗调电阻切割部a和细调电阻切割部b。

2.根据权利要求1所述的一种电阻,其特征在于,细调电阻切割部b的长度大于粗调电阻切割部a。

3.根据权利要求1所述的一种电阻,其特征在于,粗调电阻切割部a距离电阻本体(1)的距离小于距离调制区(2)边沿的距离,细调电阻切割部b距离电阻本体(1)的距离大于距离调制区(2)边沿的距离。

4.一种基于权利要求1所述的电阻的修调方法,其特征在于,包括以下步骤:

5.根据权利要求4所述的一种电阻的修调方法,其特征在于,采用激光单点对薄膜电阻进行切割。

6.一种高共模抑制比与参考端单位增益设计方法,其特征在于,包括以下步骤:

7.根据权利要求6所述的一种高共模抑制比与参考端单位增益设计方法,其特征在于,整体共模抑制比cmmrd的计算方法如下:

8.根据权利要求6所述的一种高共模抑制比与参考端单位增益设计方法,其特征在于,由电阻匹配精度产生的共模抑制比cmmrr及参考端单位增益的计算方法如下:

9.根据权利要求6所述的一种高共模抑制比与参考端单位增益设计方法,其特征在于,整体共模抑制比cmmrd和由电阻匹配精度产生的共模抑制比cmmrr的关系如下:

10.根据权利要求6所述的一种高共模抑制比与参考端单位增益设计方法,其特征在于,共模抑制比和参考端单位增益与电阻匹配精度的关系如下:


技术总结
本发明属于半导体集成电路技术领域,公开了一种电阻、修调方法、高共模抑制比与参考端单位增益设计方法,通过电阻本体和调制区组成刀状电阻,电阻本体和调制区的顶部以及电阻本体的底部均设置有金属连丝,调制区上开设有粗调电阻切割部A和细调电阻切割部B,从而摆脱数字修调方案带来的额外芯片面积的负担,只在一块刀状金属薄膜电阻上即可完成粗调和精调,有效的节省了芯片面积。

技术研发人员:陈蒙,尤路,张鑫,郝婕
受保护的技术使用者:西安微电子技术研究所
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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