显示装置的制作方法

实施例涉及一种具有氧化物晶体管的显示装置。

背景技术：

1、显示装置包括多个像素和用于控制多个像素的驱动电路(例如，扫描驱动电路和数据驱动电路)。多个像素中的每一个包括显示元件和用于控制显示元件的像素的驱动电路。像素的驱动电路可以包括有机连接(例如，电连接)的多个晶体管。

2、扫描驱动电路、数据驱动电路和/或多个像素可以通过相同的工艺形成。扫描驱动电路和/或数据驱动电路可以包括有机连接(例如，电连接)的多个晶体管。

技术实现思路

1、实施例提供了一种具有改善的显示质量的显示面板。

2、然而，本公开的实施例不限于本文中阐述的那些。通过参照以下给出的本公开的详细描述，以上和其他实施例对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加明显。

3、在实施例中，显示装置可以包括：基体层；第一导电层，设置在所述基体层上；无机层，设置在所述第一导电层上；第一半导体层，设置在所述无机层上，并且包括氧化物半导体；第一绝缘层，设置在所述第一半导体层上；以及第二半导体层，包括氧化物半导体，并且设置在所述第一绝缘层上。所述第一导电层可以是第一电容器的第一电极，所述第一半导体层可以是所述第一电容器的第二电极和第二电容器的第一电极，并且所述第二半导体层可以是所述第二电容器的第二电极。

4、在实施例中，所述第一导电层可以包括在平面图中彼此间隔开的第(1-1)导电图案层和第(1-2)导电图案层，并且所述第一半导体层可以包括在平面图中彼此间隔开的第(1-1)半导体图案层和第(1-2)半导体图案层。所述第二半导体层可以包括在平面图中彼此间隔开的第(2-1)半导体图案层和第(2-2)半导体图案层。所述第(1-1)半导体图案层、所述第(1-2)半导体图案层和所述第(2-2)半导体图案层中的每一者可以在平面图中与所述第(1-1)导电图案层重叠，并且所述第(2-1)半导体图案层可以在平面图中与所述第(1-2)导电图案层重叠。

5、在实施例中，所述第(1-1)导电图案层可以是所述第一电容器的所述第一电极，所述第(1-2)半导体图案层可以是所述第一电容器的所述第二电极和所述第二电容器的所述第一电极，并且所述第(2-2)半导体图案层可以是所述第二电容器的所述第二电极。

6、在实施例中，所述第(1-1)半导体图案层可以包括源极区域、漏极区域和沟道区域，所述第一绝缘层可以与所述第(1-2)半导体图案层的整个表面和所述第(1-1)半导体图案层的所述沟道区域重叠，并且可以不与所述第(1-1)半导体图案层的所述源极区域和所述漏极区域重叠。

7、在实施例中，所述显示装置还可以包括第二绝缘层，设置在所述第二半导体层上；第二导电层，设置在所述第二绝缘层上；以及第三绝缘层，设置在所述第二导电层上。

8、在实施例中，所述第(2-1)半导体图案层可以包括源极区域、漏极区域和沟道区域，其中，所述第二绝缘层可以包括第(2-1)绝缘图案层，与所述第(1-1)半导体图案层的所述沟道区域重叠；以及第(2-2)绝缘图案层，与所述第(2-1)半导体图案层的所述沟道区域重叠。

9、在实施例中，所述第二导电层可以包括第(2-1)导电图案层，在平面图中与所述第(1-1)半导体图案层的所述沟道区域重叠；以及第(2-2)导电图案层，在平面图中与所述第(2-1)半导体图案层的所述沟道区域重叠。

10、在实施例中，所述第一绝缘层的厚度小于所述第三绝缘层的厚度。

11、在实施例中，所述显示装置还可以包括设置在所述第三绝缘层上的第四绝缘层和设置在所述第四绝缘层上的发光元件，其中，所述发光元件可以包括设置在所述第四绝缘层上的第一电极、发光层和第二电极，并且所述发光元件的所述第一电极可以电连接到所述第(1-1)半导体图案层。

12、在实施例中，所述显示装置还可以包括设置在所述第三绝缘层上的第三导电层，其中，所述第(2-2)半导体图案层可以是第三电容器的第一电极，并且所述第三导电层可以是所述第三电容器的第二电极。

13、在实施例中，所述第一导电层可以包括在平面图中彼此间隔开的第(1-1)导电图案层和第(1-2)导电图案层，所述第一半导体层可以包括在平面图中彼此间隔开的第(1-1)半导体图案层和第(1-2)半导体图案层，所述第(1-1)半导体图案层和所述第(1-2)半导体图案层可以各自在平面图中与所述第(1-1)导电图案层重叠，并且所述第二半导体层可以在平面图中与所述第(1-2)导电图案层重叠。

14、在实施例中，所述第(1-1)半导体图案层可以包括源极区域、漏极区域和沟道区域，并且，所述第一绝缘层可以与所述第(1-2)半导体图案层的整个表面和所述第(1-1)半导体图案层的所述沟道区域重叠，并且可以不与所述第(1-1)半导体图案层的所述源极区域和所述漏极区域重叠。

15、在实施例中，所述显示装置还可以包括第二绝缘层，设置在所述第二半导体层上；以及第二导电层，设置在所述第二绝缘层上；其中，在平面图中，所述第二绝缘层可以包括分别与所述第(1-2)半导体图案层、所述第(1-1)半导体图案层和所述第二半导体层重叠的第(2-1)绝缘图案层、第(2-2)绝缘图案层和第(2-3)绝缘图案层，并且在平面图中，所述第二导电层可以包括分别与所述第(2-1)绝缘图案层、所述第(2-2)绝缘图案层和所述第(2-3)绝缘图案层重叠的第(2-3)导电图案层、第(2-1)导电图案层和第(2-2)导电图案层。

16、在实施例中，所述第(1-1)导电图案层可以是所述第一电容器的所述第一电极，所述第(1-2)半导体图案层可以是所述第一电容器的所述第二电极和所述第二电容器的所述第一电极，并且所述第(2-3)导电图案层可以是所述第二电容器的所述第二电极。

17、在实施例中，所述显示装置还可以包括设置在所述第二导电层上的第三绝缘层以及设置在所述第三绝缘层上的第三导电层。在实施例中，所述第(2-3)导电图案层可以是第三电容器的第一电极，并且所述第三导电层可以是所述第三电容器的第二电极。

18、在实施例中，显示装置可以包括：显示面板，包括多个绝缘层；以及像素，电连接到在第一方向上延伸的第一数据线和在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第一扫描线。在实施例中，所述像素可以包括：第一电容器，电连接在第一节点和第二节点之间；发光二极管，包括电连接到所述第二节点的第一电极、电连接到接收第一电源电压的第一电压线的第二电极以及设置在所述第一电极和所述第二电极之间的发光层；第一晶体管，电连接在所述第二节点和接收第二电源电压的第二电压线之间，所述第一晶体管包括源极、漏极、沟道区域以及电连接到所述第一节点的栅极；第二晶体管，电连接在所述第一数据线和所述第一节点之间；第三晶体管，电连接在所述第一节点和接收第一电压的第三电压线之间；第四晶体管，电连接在所述第二节点和接收第二电压的第四电压线之间；第五晶体管，电连接在所述第二电压线和所述第一晶体管的所述漏极或所述源极之间；以及第二电容器，电连接在所述第二电压线和所述第二节点之间。所述多个绝缘层可以包括无机层、设置在所述无机层上的第一绝缘层和设置在所述第一绝缘层上的第二绝缘层，并且所述显示面板还可以包括第一导电层、第一半导体层、第二半导体层和第二导电层，其中，所述第一导电层是所述第一电容器的第一电极，并且可以设置在所述无机层的下表面上，所述第一半导体层是所述第一电容器的第二电极和所述第二电容器的第一电极，所述第一半导体层可以设置在所述无机层和所述第一绝缘层之间，所述第二半导体层是所述第二电容器的第二电极，所述第二半导体层可以设置在所述第二绝缘层的上表面上，并且所述第一半导体层和所述第二半导体层中的每一者可以包括氧化物半导体。

19、在实施例中，所述第一半导体层可以包括：第(1-1)半导体图案层，包括所述第一晶体管的所述源极、所述漏极和所述沟道区域；以及第(1-2)半导体图案层，包括所述第一电容器的所述第二电极和所述第二电容器的所述第一电极。

20、在实施例中，所述显示面板还可以包括设置在所述第二绝缘层上的第三绝缘层和设置在所述第三绝缘层上的第二导电层，并且，所述第二导电层可以是所述第一晶体管的所述栅极。

21、在实施例中，所述显示面板还可以包括设置在所述第二导电层上的第四绝缘层和设置在所述第四绝缘层上的第三导电层，并且所述像素还可以包括第三电容器，其中，所述第二半导体层可以是所述第三电容器的第一电极，并且所述第三导电层可以是所述第三电容器的第二电极。

22、在实施例中，显示装置可以包括：显示面板，包括多个绝缘层；以及像素，电连接到在第一方向上延伸的第一数据线和在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第一扫描线。所述像素可以包括：第一电容器，电连接在第一节点和第二节点之间；发光二极管，包括第一电极，电连接到所述第二节点；第二电极，电连接到接收第一电源电压的第一电压线；以及发光层，设置在所述第一电极和所述第二电极之间；第一晶体管，电连接在所述第二节点和接收第二电源电压的第二电压线之间，所述第一晶体管包括源极、漏极、沟道区域以及电连接到所述第一节点的栅极；第二晶体管，电连接在所述第一数据线和所述第一节点之间；第三晶体管，电连接在所述第一节点和接收第一电压的第三电压线之间；第四晶体管，电连接在接收第二电压的第四电压线和所述第二节点之间；第五晶体管，电连接在所述第二电压线和所述第一晶体管的所述漏极或所述源极之间；以及第二电容器，电连接在所述第二电压线和所述第二节点之间。

23、在实施例中，所述多个绝缘层可以包括无机层、设置在所述无机层上的第一绝缘层和设置在所述第一绝缘层上的第二绝缘层，并且所述显示面板还可以包括第一导电层、第一半导体层、第二半导体层和第二导电层，其中，作为所述第一电容器的第一电极，所述第一导电层可以设置在所述无机层的下表面上，作为所述第一电容器的第二电极和所述第二电容器的第一电极，并且所述第一半导体层可以设置在所述无机层和所述第一绝缘层之间，所述第二半导体层可以设置在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间并且设置为在平面图中与所述第一半导体层间隔开，作为所述第二电容器的第二电极，所述第二导电层可以设置在所述第二绝缘层的上表面上，并且所述第一半导体层和所述第二半导体层中的每一者可以包括氧化物半导体。

24、在实施例中，所述第一半导体层可以包括：第(1-1)半导体图案层，包括所述第一晶体管的所述源极、所述漏极和所述沟道区域；以及第(1-2)半导体图案层，包括所述第一电容器的所述第二电极和所述第二电容器的所述第一电极。

25、在实施例中，所述第二导电层可以包括：第(2-3)导电图案层，在平面图中与所述第(1-2)半导体图案层重叠，并且所述第(2-3)导电图案层是所述第二电容器的所述第二电极，以及所述第(2-1)导电图案层，在平面图中与所述第一晶体管的所述沟道区域重叠，并且所述第(2-1)导电图案层是所述第一晶体管的所述栅极。

26、在实施例中，所述第二半导体层可以是所述第二晶体管的源极、漏极和沟道区域，并且所述第二导电层还可以包括在平面图中与所述第二半导体层的沟道区域重叠的第(2-2)导电图案层，并且所述第二导电层是所述第二晶体管的栅极。

27、在实施例中，所述显示面板还可以包括设置在所述第二导电层上的第四绝缘层和设置在所述第四绝缘层上的第三导电层。所述像素还可以包括第三电容器，其中，所述第(2-3)导图案层可以是所述第三电容器的第一电极，并且所述第三导电层可以是所述第三电容器的第二电极。