一种半导体集成电路芯片测试设备照明装置的制造方法

文档序号:9251438阅读:330来源:国知局
一种半导体集成电路芯片测试设备照明装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路芯片测试设备领域,特别涉及一种半导体集成电路芯片测试设备照明装置。
【背景技术】
[0002]集成电路芯片测试系统光源装置是目前半导体设备常用的装置,集成电路芯片测试系统中有一个光源,为摄像头提供照明。不同摄像头对不同光强、不同颜色光的灵敏度是不一样的,被测试物对不同光强和不同颜色光的反光效果也不相同。而且恒光照明测试效果不如频闪照明的测试效果。因此,测试系统光源的光强、光颜色、是否频闪(间隙性发光)对集成电路芯片测试系统影响较大。
[0003]如今,集成电路芯片尺寸越来越小,而现有的集成电路芯片测试系统光源装置无光量(光强)的变化,无光颜色的变化,这样,来自具有光泽的焊料匀平件形成表面的规则反射光不被上面的摄像机接收,从而不可以高精度地辨识焊料表面和焊料匀平件形成表面。另外,当今的集成电路芯片测试系统光源装置,没有对光强和光颜色的变化引起的测试对比效果,对差异因素的技术分析和技术措施不全面。进一步,现在市面上的集成电路芯片测试系统光源装置均采用的影视常规的白炽灯作为光源,使用寿命较短,且不稳定,容易破损,在生产中有极大的危险。
[0004]因此,亟待提供一种半导体集成电路芯片测试设备照明装置,对于集成电路芯片差异因素的测试技术得以完善,并且工作稳定,寿命长,更安全。

【发明内容】

[0005]本发明的目的是:克服现有半导体集成电路芯片测试光源测试能力欠佳的缺陷,提供一种具有良好的调光功能的一种半导体集成电路芯片测试设备照明装置。
[0006]本发明的目的通过以下技术方案实现:
本发明一种半导体集成电路芯片测试设备照明装置,包含光源电器线路和光源头。所述的光源电器线路能够产生R (红)基色LED光源、G (绿)基色LED光源、B (蓝)基色LED光源,另有COM电极作为三个基色LED公共正电极,三种基色LED光源合成为三基色LED光源。光源电器线路中连接有调光器电路。调光器电路一方面通过改变光源电器线路的电流,进而改变光源电器线路中产生的三基色LED光源的光强;调光器电路另一方面通过分别改变的三基色LED光源的光强,获得R、G、B颜色的不同发光强度,结合三基色色彩合成原理,能够获得不同的合成光颜色。
[0007]所述的光源电器线路产生的R、G、B三基色LED光源通过三基色LED光源引线引入所述的光源头。
[0008]所述的光源头含有灯壳、定位件、压盖、尾盖、密封胶、三基色LED光源灯泡。灯壳包裹除尾盖之外的其他部件;尾盖连接在灯壳的尾部,三基色LED光源引线穿过尾盖,与三基色LED光源灯泡连接;压盖在密封胶与灯壳之间,也在定位件与尾盖之间,以压紧灯壳内部的各个部件;密封胶起固定和保护三基色LED光源引线的作用;定位件在灯壳与三基色LED光源灯泡之间,起固定三基色LED光源灯泡的作用。
[0009]所述的三基色LED光源的光强可以变化,其变化范围:5mcd?lOOmcd,光强或可以连续可调。
[0010]所述的光源电器线路的调光器电路中,还可以采用光频闪(间隙性发光)技术,连接有频闪脉冲发生器,能产生光源频闪现象,以提高待测试集成电路芯片的灰度。所述的光频闪的速度范围可以变化,其变化范围次/秒?20次/秒,频闪速度或可以连续可调。
[0011]本发明中,集成电路芯片测试光源利用R、G、B三种颜色LED为基色光源,通过专用调光器电路来改变灯头的光强、颜色和频闪频率,来满足不同自动化生产设备、不同产品的自动测试需要,解决以前单色、恒光照明测试光源给测试系统调整困难的问题。
[0012]所述的灯壳的头部还可以连接有光扩散片,使得出光均匀度提高。所述的光扩散片的材质为PMMA。也可以采用PC、PET、PS等透明塑料材质替代PMMA。
[0013]所述的光扩散片可以为双核或者多核内聚聚合微珠光扩散片,每一个光扩散片的微珠或者部分光扩散片的微珠拥有两个或多个折射率,加强光透过率、改变光的折射角度或及增加混光效果。
[0014]本发明的有益效果:
1、本发明采用R/G/B三基色LED灯,配合有专用调光器电路,照明颜色、光强和频闪频率连续可调,满足不同测试系统和被测试对象需要,提高了测试系统测试能力和效果;
2、灯头出光面采用光扩散片,提高光强均匀度,有利于提高测试系统的灰度测试效果;
3、采用LED,和传统的钨丝灯泡相比使用寿命提高200倍以上。
【附图说明】
[0015]图1是本发明的一个光源电气原理图。
[0016]图2是本发明的一个光源头结构示意图。
[0017]图中:1、R基色LED光源;2、G基色LED光源;3、B基色LED光源;4、COM电极;5、调光器电路(图1中左边的虚线框部分);6、频闪脉冲发生器;7、灯壳;8、定位件;9、压盖;10、尾盖;11、密封胶;12、三基色LED光源灯泡;13、三基色LED光源引线;14、光扩散片;15、三基色LED光源(图1中右边的虚线框部分)。
【具体实施方式】
[0018]选取合适规格和功能的三只R、G、B基色LED各一只,COM电极4,调光器电路5,频闪脉冲发生器6 ;连接在如附图1所示的光源电器线路中。
[0019]其中,光源头如附图2所示,由灯壳7、定位件8、压盖9、尾盖10、密封胶11、三基色LED光源灯泡12等组成,三基色LED光源引线13连接到如附图1所示的光源电器线路中。
[0020]所述的光源电器线路能够产生R基色LED光源1、G基色LED光源2、B基色LED光源3,另有COM电极4作为三基色LED公共正电极,三种基色LED光源合成为三基色LED光源15 ;光源电器线路中连接有调光器电路5,调光器电路5 —方面通过改变光源电器线路的电流,进而改变光源电器线路中产生的三基色LED光源15的光强;调光器电路5另一方面通过分别改变的三基色LED光源15的光强,获得R、G、B颜色的不同发光强度,结合三基色色彩合成原理,能够获得不
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