元件保持状态检测方法及元件安装装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及检测保持于保持部件的元件的保持状态的元件保持状态检测方法及将元件安装于基板的元件安装装置。
【背景技术】
[0002]以往，作为这种元件安装装置，提出有如下元件安装装置:由相机拍摄吸附于吸嘴的电子元件(元件)并基于通过拍摄而获得的图像来识别元件的吸附位置(例如，参照专利文献1)。在该元件安装装置中，在识别元件的吸附位置之前，将带有多个点的玻璃夹具吸附于吸嘴，由相机拍摄吸附于吸嘴的玻璃夹具，求出通过拍摄而获得的图像的点位置，基于求出的点位置的信息来求出设备坐标与相机坐标间的转换式。并且，在识别元件的吸附位置时，使用求出的转换式将识别出的元件的吸附位置从相机坐标转换为设备坐标，从而对位置偏差进行校正。
[0003]另外，提出有如下元件安装装置:在组装有吸嘴的头设置基准标记，在拍摄基准标记的同时拍摄吸附于吸嘴的元件，从而识别将基准标记作为基准的元件的吸附位置(例如，参照专利文献2)。
[0004]专利文献1:日本特开2007-12889号公报
[0005]专利文献2:日本特开2005-11950号公报
【发明内容】
[0006]在同时拍摄由安装于头的吸嘴吸附的元件和设于头的基准标记的情况下，当基准标记设于与吸附于吸嘴的元件不同的高度时，在以使焦点与吸附于吸嘴的元件对准的方式设置的透镜(第一透镜)中无法使焦点与基准标记对准。在该情况下，能够考虑，为了使焦点与基准标记对准而在第一透镜的视野内设置直径比第一透镜小的透镜(第二透镜)，通过第一透镜拍摄吸附于吸嘴的元件并且通过第一透镜及第二透镜拍摄基准标记。然而，当组合多个透镜时，因对应每个透镜不同的变形特性而产生合成变形，通过第一透镜及第二透镜拍摄的基准标记的拍摄图像被复杂地变形。因此，在以往的手法中，产生无法根据同时拍摄元件和基准标记而得到的图像来准确地识别元件与基准标记双方的位置的情况。
[0007]本发明的元件保持状态检测方法及元件安装装置的主要目的在于，在同时拍摄由安装于头的保持部件保持的元件和设于头的基准标记时，能够进一步提高拍摄到的图像的变形的校正精度，能够更准确地识别元件与基准标记双方的位置。
[0008]本发明的元件保持状态检测方法及元件安装装置为了实现上述主要目的而采取了以下技术方案。
[0009]本发明的元件保持状态检测方法的主旨在于，以具有通过第一透镜将被摄体成像于拍摄元件的第一拍摄区域和通过上述第一透镜及第二透镜将被摄体成像于上述拍摄元件的第二拍摄区域的方式构成拍摄单元，通过安装于头的保持部件保持元件，在上述第一拍摄区域内拍摄保持于上述保持部件的元件，并且在上述第二拍摄区域内拍摄设于上述头的基准标记，由此同时拍摄上述元件和上述基准标记，基于通过拍摄上述元件和上述基准标记而获得的图像来检测保持于上述保持部件的元件的保持状态，在判定上述保持状态之前，在上述第一拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄上述变形测定用被摄体而获得的图像来测定上述第一拍摄区域的变形成分并进行存储，并且，在上述第二拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄上述变形测定用被摄体而获得的图像来测定上述第二拍摄区域的变形成分并进行存储，当上述元件保持于上述保持部件时，通过上述拍摄单元同时拍摄上述元件和上述基准标记，基于所存储的上述第一拍摄区域的变形成分来校正在上述第一拍摄区域内拍摄上述元件而获得的图像，并且基于所存储的上述第二拍摄区域的变形成分来校正在上述第二拍摄区域内拍摄上述基准标记而获得的图像，基于校正后的该图像来检测保持于上述保持部件的元件的保持状态。
[0010]在本发明的元件保持状态检测方法中，在判定保持状态之前，在通过第一透镜拍摄被摄体的第一拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄而获得的图像来测定第一拍摄区域的变形成分并进行存储。另外，在通过第一透镜及第二透镜拍摄被摄体的第二拍摄区域内拍摄变形测定用被摄体，基于通过拍摄而获得的图像来测定第二拍摄区域的变形成分并进行存储。并且，当元件保持于保持部件时，通过拍摄单元同时拍摄元件和基准标记，基于存储的第一拍摄区域的变形成分来校正在第一拍摄区域内拍摄元件而获得的图像。另外，基于存储的第二拍摄区域的变形成分来校正在第二拍摄区域内拍摄基准标记而获得的图像。这样，使用分别在通过第一透镜拍摄被摄体的第一拍摄区域和通过第一透镜及第二透镜拍摄被摄体的第二拍摄区域内拍摄到的变形测定用被摄体的图像来预先测定变形成分，由此能够使用对应的变形成分适当地校正在第一拍摄区域内拍摄到的图像及在第二拍摄区域内拍摄到的图像。其结果是，能够获得有效地抑制了变形的校正图像，通过基于校正后的拍摄图像来检测保持于保持部件的元件的保持状态，能够更准确地判定元件的保持状态。此外，第一拍摄区域内的变形测定用被摄体的拍摄与第二拍摄区域内的变形测定用被摄体的拍摄既可以同时进行，也可以分别进行。
[0011]在这样的本发明的元件保持状态检测方法中，也可以是，在判定上述保持状态之前，设置第一变形测定用被摄体作为上述变形测定用被摄体，在上述第一拍摄区域内拍摄上述第一变形测定用被摄体，基于通过拍摄上述第一变形测定用被摄体而获得的图像来测定上述第一拍摄区域的变形成分并进行存储，并且，设置与上述第一变形测定用被摄体不同的第二变形测定用被摄体作为上述变形测定用被摄体，在上述第二拍摄区域内拍摄上述第二变形测定用被摄体，基于通过拍摄上述第二变形测定用被摄体而获得的图像来测定上述第二拍摄区域的变形成分并进行存储。如此一来，由于能够对应于透镜来使用适当的变形测定用被摄体，因此能够更准确地测定变形成分。
[0012]在该技术方案的本发明的元件保持状态检测方法中，也可以是，由多个图形呈格子状地排列而成的图案构成上述第一变形测定用被摄体，由多个图形以与上述第一变形测定用被摄体不同的间距呈格子状地排列而成的图案构成上述第二变形测定用被摄体。
[0013]本发明的元件安装装置是将元件安装于基板的元件安装装置，其主旨在于，该元件安装装置具备:头，安装有保持上述元件的保持部件，并且设有基准标记；移动单元，使上述头移动；拍摄单元，具有通过第一透镜将被摄体成像于拍摄元件的第一拍摄区域和通过上述第一透镜及第二透镜将被摄体成像于上述拍摄元件的第二拍摄区域，在上述第一拍摄区域内拍摄保持于上述保持部件的元件，并且在上述第二拍摄区域内拍摄上述基准标记，由此能够同时拍摄上述元件和上述基准标记；保持状态检测单元，当通过上述拍摄单元同时拍摄上述元件和上述基准标记时，基于针对该第一拍摄区域预先测定出的第一变形成分来校正通过上述第一拍摄区域内的拍摄而获得的图像，并且基于针对该第二拍摄区域预先测定出的第二变形成分来校正通过上述第二拍摄区域内的拍摄而获得的图像，基于校正后的上述图像来检测保持于上述保持部件的元件的保持状态；及安装控制单元，基于判定出的上述元件的保持状态来控制上述移动单元和上述保持部件，以将该元件安装于上述基板。
[0014]在本发明的元件安装装置中，以具有通过第一透镜将被摄体成像于拍摄元件的第一拍摄区域和通过第一透镜及第二透镜将被摄体成像于拍摄元件的第二拍摄区域的方式构成拍摄单元，当元件保持于保持部件时，在第一拍摄区域内拍摄保持于保持部件的元件的同时在第二拍摄区域内拍摄基准标记。并且，基于针对第一拍摄区域预先测定出的第一变形成分来校正在第一拍摄区域内拍摄元件而获得的图像，基于针对第二拍摄区域预先测定出的第二变形成分来校正在第二拍摄区域内拍摄基准标记而获得的图像。这样，由于分别使用不同的变形成分来校正在通过第一透镜拍摄被摄体的第一拍摄区域内拍摄到的图像和通过第一透镜及第二透镜拍摄被摄体的第二拍摄区域内拍摄到的图像，因此能够获得有效地抑制了变形的校正图像。其结果是，基于校正图像来检测元件的保持状态，并且基于该判定结果进行控制以将元件安装于基板，从而能够更准确地将元件安装于基板上。
【附图说明】
[0015]图1是表示作为本发明的一实施例的元件安装装置10的结构的概略的结构图。
[0016]图2是表示控制装置90的电连接关系的框图。
[0017]图