抗低频噪音的麦克风单体的制作方法

文档序号:11845519阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抗低频噪音的麦克风单体,其特征在于:包括MEMS换能器,所述MEMS换能器具有,

一声学振膜,与所述振膜的中心设置一第一通孔,以及于所述声学振膜远离所述第一通孔的位置设置有复数个用以释放应力的第二通孔;

一与所述声学振膜之间形成一固定间隙的背部电极;

其中,所述声学振膜与所述背部电极形成一平板电容器,于所述声学振膜振动的状态下,所述平板电容器根据所述声学振膜的振膜幅度形成与所述振动幅度相匹配的电容信号输出。

2.根据权利要求1所述的抗低频噪音的麦克风单体,其特征在于:还包括,

一具有收音通孔的基板,所述收音通孔正对所述声学振膜;所述声学振膜与所述基板之间形成一声学前腔,所述声学前腔用以侦测高频信号;

一盖板,固定连接所述基板并完全覆盖所述MEMS换能器,所述盖板与所述背部电极形成一声学背腔,且所述声学背腔的体积大于所述声学腔体的体积,所述声学背腔用以侦测低频信号。

3.根据权利要求1所述的抗低频噪音的麦克风单体,其特征在于:所述第一通孔的体积不大于所述声学振膜体积的10%。

4.根据权利要求1所述的抗低频噪声的麦克风单体,其特征在于:复数个所述第二通孔均匀分布于所述声学振膜上。

5.根据权利要求1所述的抗低频噪声的麦克风单体,其特征在于:还包括一ASIC芯片,连接所述MEMS换能器,用以接受所述MEMS换能器输出的所述电容信号,并对所述电容信号做分析处理,形成一处理信号输出。

6.根据权利要求1所述的抗低频噪声的麦克风单体,其特征在于:所述第二通孔的数量为八个。

7.根据权利要求1所述的抗低频噪声的麦克风单体,其特征在于:所述第 二通孔的数量为六个。

8.根据权利要求1所述的抗低频噪声的麦克风单体,其特征在于:所述声学振膜为薄且有弹性的声学膜片。

9.根据权利要求1所述的抗低频噪声的麦克风单体,其特征在于:所述声学振膜的厚度为500nm。

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