多线阵CCD结构的制作方法

本发明涉及一种CCD技术，尤其涉及一种多线阵CCD结构。

背景技术：

CCD是一种应用范围十分广泛的图像传感器，线阵CCD是CCD的典型结构之一，将线阵CCD用于多光谱探测时，通常将多条线阵CCD拼接使用，每条线阵CCD分别探测不同谱段，存在的问题是：由于每条线阵CCD均单独配置放大器，放大器数量较多，芯片整体功耗较大，且受工艺条件限制，各个放大器之间不可避免地存在差异，这就使得多个放大器之间存在输出非均匀性问题，导致输出信号均匀性较差，而且拼接的线阵CCD数量越多，输出信号均匀性越差。

技术实现要素：

针对背景技术中的问题，本发明提出了一种多线阵CCD结构，其创新在于：所述多线阵CCD结构由多条CCD线阵、一个垂直转移区和一个放大器组成；所述多条CCD线阵并行设置，多条CCD线阵的输出端均位于CCD线阵的右端；垂直转移区设置在CCD线阵的右侧，多条CCD线阵的输出端均与垂直转移区连接；放大器设置在垂直转移区的右侧，放大器的输入端与垂直转移区一端的端部连接。

采用本发明后，多条CCD线阵通过同一放大器向外输出信号，相比于现有技术为每条CCD线阵都单独配置放大器的方案，本发明可以有效减少放大器的数量，从而使芯片的整体功耗得到减少，并且由于减少了放大器的数量，器件的输出信号均匀性也可以在一定程度上得到改善；需要说明的是，在现有技术中，垂直转移区这一功能结构仅见于面阵CCD中，本发明将垂直转移区与多条CCD线阵进行了创造性地结合，从而获得了一种多线阵CCD。

优选地，所述CCD线阵由水平转移沟道、存储栅、转移栅、像元区和哑元区组成；所述水平转移沟道、存储栅、转移栅和像元区互相平行依次连接，水平转移沟道的右端与哑元区的左端连接，哑元区的右端与垂直转移区连接。

优选地，所述多线阵CCD结构中CCD线阵的数量为偶数，相邻两条CCD线阵记为一个线阵单元，每条CCD线阵仅对应一个线阵单元；在单个线阵单元内，两条CCD线阵中的像元区位于线阵单元的中部，两条CCD线阵中的水平转移沟道分别位于线阵单元的上下两侧。

优选地，所述多线阵CCD结构中CCD线阵的数量为4条。

本发明的有益技术效果是：提供了一种多线阵CCD结构，该多线阵CCD结构中的多条CCD线阵共用一个放大器，可有效减少放大器数量，从而降低芯片的整体功耗，对输出信号均匀性起到改善作用。

附图说明

图1、传统多线阵CCD结构拼接结构示意图；

图2、本发明的多线阵CCD结构示意图；

图3、本发明的一种优选方案结构示意图；

图中各个标记所对应的名称分别为：水平转移沟道1、存储栅2、转移栅3、像元区4、哑元区5、放大器6、垂直转移区7。

具体实施方式

一种多线阵CCD结构，其改进在于：所述多线阵CCD结构由多条CCD线阵、一个垂直转移区和一个放大器组成；所述多条CCD线阵并行设置，多条CCD线阵的输出端均位于CCD线阵的右端；垂直转移区设置在CCD线阵的右侧，多条CCD线阵的输出端均与垂直转移区连接；放大器设置在垂直转移区的右侧，放大器的输入端与垂直转移区一端的端部连接。

进一步地，所述CCD线阵由水平转移沟道、存储栅、转移栅、像元区和哑元区组成；所述水平转移沟道、存储栅、转移栅和像元区互相平行依次连接，水平转移沟道的右端与哑元区的左端连接，哑元区的右端与垂直转移区连接。

进一步地，所述多线阵CCD结构中CCD线阵的数量为偶数，相邻两条CCD线阵记为一个线阵单元，每条CCD线阵仅对应一个线阵单元；在单个线阵单元内，两条CCD线阵中的像元区位于线阵单元的中部，两条CCD线阵中的水平转移沟道分别位于线阵单元的上下两侧。

进一步地，所述多线阵CCD结构中CCD线阵的数量为4条。