一种MEMS发声装置及电子设备的制作方法

文档序号:11563036阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种MEMS发声装置及电子设备,包括具有中空内腔的衬底以及通过沉积的方式形成在衬底上方的振膜,所述振膜包括至少一层经过磁化的磁性材料层,还包括与所述磁性材料层正对设置的第一线圈;所述第一线圈被配置为磁性材料层提供方向与振膜垂直的驱动力。本实用新型的发声装置,第一线圈与磁性材料层对应设置在一起,当第一线圈通入交流电后,磁性材料层的磁力线穿过线圈,在线圈安培力的反作用力下,使得磁性材料层发生垂直于振膜方向的振动,从而实现了振膜的振动发声。本实用新型的这种发声装置,可以应用到受话器或者扬声器当中,其突破了传统线圈、磁铁的安装结构,使其体积更小,而且可以采用MEMS工艺进行制造。

技术研发人员:蔡孟锦;李江龙;马路聪;周宗燐
受保护的技术使用者:歌尔股份有限公司
文档号码:201621166081
技术研发日:2016.10.31
技术公布日:2017.08.11

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