MEMS麦克风的制作方法

本发明涉及声电领域，尤其涉及一种运用于便携式电子产品的mems麦克风。

背景技术：

通讯技术的发展，在全球范围内移动电话的用户越来越多，用户对移动电话的需求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计的好坏直接影响通话质量。

相关技术中的麦克风，特别是mems麦克风包括具有声腔的基底、固定于所述基底的背板、固定于所述北板的固定电极和固定于所述基底并与所述背板相对间隔设置以形成电容结构的振膜。所述振膜包括与所述声腔正对设置的有效振动区和由所述有效振动区延伸并固定于所述基座的固定区。

然而，相关技术的mems麦克风中，所述固定电极的面积小于所述振膜的所述有效振动区，使得所述mems麦克风的有效电容相对较小，从而导致其性能低。

因此，实有必须提供一种新的mems麦克风解决上述技术问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种声学性能优的mems麦克风。

为了达到上述目的，本发明提供了一种mems麦克风，包括具有声腔的基底、固定于所述基底的背极板以及固定于所述基底并与所述背极板相对间隔设置以形成电容结构的振动膜，所述背极板包括背板和贴设固定于所述背板的靠近所述振动膜一侧的固定电极；所述振动膜包括有效振动部和无效振动部，所述有效振动部包括与所述声腔正对设置的振动主体和由所述振动主体延伸并固定于所述基座的固定臂，所述振动主体和所述固定臂的正对所述声腔的部分共同形成有效振动区；所述无效振动部位于相邻两个所述固定臂之间且与所述有效振动部间隔设置，所述无效振动部至少部分固定于所述基座；所述固定电极与所述有效振动区的形状相同或呈比例放大/缩小。

优选的，所述固定电极与所述有效振动区的大小相同。

优选的，所述固定电极大于所述有效振动区。

优选的，所述固定电极小于所述有效振动区。

优选的，所述固定臂包括四个且相互间隔设置。

优选的，所述振动主体呈矩形，四个所述固定臂分别由所述振动主体的四个角的位置延伸设置。

优选的，所述无效振动部包括四个且分别与所述振动主体的四边平行设置。

优选的，所述mems麦克风还包括固定于所述基底的支撑部，所述背极板通过所述支撑部固定支撑于所述基底。

优选的，所述支撑部呈环状结构且环绕所述振动膜设置。

与相关技术相比，本发明的mems麦克风将所述振动膜设置呈有效振动部和无效振动部，且所述有效振动部与所述基底的所述声腔正对设置的部分形成有效振动区域，将所述固定电极设置呈与所述振动膜有效振动区的形状相同，该结构使得所述振动膜的所述有效振动区的有效利用面积增大，从而提高了所述mems麦克风的有效电容，最大程度的限制了无效寄生电容的产生，有效提高了所述mems麦克风的声学性能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本发明mems麦克风的立体结构示意图；

图2为本发明mems麦克风的部分立体结构分解示意图；

图3为沿图1中a-a线的剖示图；

图4为本发明mems麦克风的固定电极的结构示意图；

图5为本发明mems麦克风的振动膜的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请同时参阅图1-3，本发明提供了一种mems麦克风100，包括基底1、背极板2、振动膜3及支撑部4。

所述基底1具有贯穿其上的声腔11，所述基底1为硅基材料由mems工艺加工成型。

所述背极板2固定于所述基底1。具体的，所述背极板2包括背板21和固定电极22。

所述背板21上设有贯穿其上的声压孔211。

请结合参图4所示，所述固定电极22贴设固定于所述背板21的靠近所述振动膜3的一侧。所述固定电极22设有贯穿其上的通孔221，所述通孔221与所述声压孔211匹配相连通，用于平衡声压。所述固定电极22为导电材料制成。

请结合参图5所示，所述振动膜3固定于所述基底1并与所述背极板2相对间隔设置以形成电容结构。

所述振动膜3也为导电材料制成，从而与所述固定电极22分别形成电容结构的两极。通过声压驱动所述振动膜3振动，使得所述振动膜3与所述固定电极22的相对距离产生变化，从而改变了二者形成的电容结构的电容，进而转换为不同的电信号，实现声电转换。

本实施方式中，具体的，所述振动膜3包括有效振动部31和无效振动部32。

所述有效振动部31包括与所述声腔11正对设置的振动主体311和由所述振动主体311延伸并固定于所述基座1的固定臂312。

本实施方式中，所述固定臂312包括四个且相互间隔设置。更优的，所述振动主体311呈矩形，四个所述固定臂312分别由所述振动主体311的四个角的位置延伸设置。当然，所述振动主体311的形状并非限于此。

所述振动主体311以及所述固定臂312的正对所述声腔11的部分共同形成有效振动区(未标号)。

所述无效振动部32位于相邻两个所述固定臂312之间且与所述有效振动部31间隔设置，所述无效振动部32至少部分固定于所述基座1。

具体的，所述无效振动部32包括四个且分别与所述振动主体311的四边平行设置。

本实施方式中，所述固定电极22与所述有效振动区的形状相同。该结构使得所述振动膜3的所述有效振动区的有效利用面积增大，从而提高了所述mems麦克风100的有效电容，最大程度的限制了无效寄生电容的产生，有效提高了所述mems麦克风100的声学性能。优选的，所述固定电极与所述有效振动区的大小相同，即所述固定电极在所述有效振动区的正投影与所述有效振动区完全重合，也可以是固定电极大于有效振动区或者是小于所述有效振动区。

所述支撑部4固定于所述基底1，本实施方式中，所述背极板2通过所述支撑部1固定支撑于所述基底1。更优的，所述支撑部4呈环状结构且环绕所述振动膜3设置。

所述支撑部4的设置增加了所述背极板2与所述振动膜3之间的有效间隔距离，避免了所述振动膜3的振动幅度不够而影响声学性能。

与相关技术相比，本发明的mems麦克风将所述振动膜设置呈有效振动部和无效振动部，且所述有效振动部与所述基底的所述声腔正对设置的部分形成有效振动区域，将所述固定电极设置呈与所述振动膜有效振动区的形状相同，该结构使得所述振动膜的所述有效振动区的有效利用面积增大，从而提高了所述mems麦克风的有效电容，最大程度的限制了无效寄生电容的产生，有效提高了所述mems麦克风的声学性能。

以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。