技术总结
一种MEMS麦克风包括具有腔室的基板；被设置在所述基板上方且具有多个声孔的背板；被设置在所述基板和所述背板之间的振膜，所述振膜与所述基板和所述背板间隔开，覆盖所述腔室以在所述振膜和所述背板之间形成气隙且被配置成响应声压产生位移；以及多个锚固件，其从所述振膜的端部延伸以与所述振膜一体形成，所述锚固件是沿所述振膜的圆周布置的以彼此间隔开并具有与所述基板的上表面相接触的下表面以支撑所述振膜。因此，所述MEMS麦克风可以具有提高的刚性和柔性。
技术研发人员：金大荣;宣钟元
受保护的技术使用者：DBHiTek株式会社
技术研发日：2018.09.11
技术公布日：2019.05.28