显示面板及其制造方法、显示装置与流程

本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种显示面板及其制造方法、显示装置。

背景技术：

显示装置可以包括：显示面板，以及扬声器，且该扬声器一般设置在该显示面板的周边区域。该扬声器可以包括：激励器以及设置在该激励器靠近显示面板的出光侧的振膜。该激励器通电时能够使得振膜振动，进而发出声音。

但是，由于显示面板的周边区域需要设置扬声器，导致该周边区域的面积较大，进而导致显示面板的屏占比较低。

技术实现要素：

本申请提供了一种显示面板及其制造方法、显示装置，可以解决相关技术中显示面板的屏占比较低的问题。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种显示面板，所述显示面板包括：

衬底基板，所述衬底基板具有空腔；

位于所述衬底基板一侧的柔性膜层，所述柔性膜层具有显示区域；

以及，位于所述显示区域的多个子像素和至少一个压电发声单元，每个所述压电发声单元与任一所述子像素之间具有间隙，且每个所述压电发声单元在所述柔性膜层上的正投影，与所述空腔在所述柔性膜层上的正投影至少部分重叠。

可选的，每个所述压电发声单元包括：沿远离所述柔性膜层的方向依次层叠的至少一个第一电极块，压电膜层，以及至少一个第二电极块；

所述压电膜层在所述柔性膜层上的正投影，覆盖所述至少一个第一电极块在所述柔性膜层上的正投影，且覆盖所述至少一个第二电极块在所述柔性膜层上的正投影。

可选的，每个所述压电发声单元还包括：第三电极块和连接电极；

所述第三电极块与所述第一电极块同层且间隔设置，所述连接电极的一端与所述第三电极块连接，所述连接电极的另一端与所述第二电极块连接，所述第三电极块用于为所述第二电极块提供来自音频驱动电路的音频驱动信号。

可选的，所述显示面板包括：多个所述压电发声单元，多个所述压电发声单元均匀分布在所述柔性膜层远离所述衬底基板的一侧。

可选的，所述空腔为位于所述衬底基板靠近所述柔性膜层的一侧的凹槽；

或者，所述空腔为通孔。

可选的，所述显示面板还包括：反射层；

所述反射层位于所述衬底基板远离所述柔性膜层的一侧，所述反射层用于反射所述压电发声单元产生的声波。

可选的，所述显示面板还包括：多条数据线，每条所述数据线与一列所述子像素连接；

所述多条数据线中的至少一条所述数据线在所述柔性膜层上的正投影，与所述压电发声单元在所述柔性膜层上的正投影至少部分重叠。

另一方面，提供了一种显示面板的制造方法，所述方法包括：

在柔性膜层的一侧形成多个子像素，以及至少一个压电发声单元，其中，所述多个子像素，以及所述至少一个压电发声单元均位于所述柔性膜层的显示区域，且每个所述压电发声单元与任一所述子像素之间具有间隙；

提供衬底基板，所述衬底基板具有空腔；

将所述柔性膜层远离所述多个子像素的一侧，与所述衬底基板具有空腔的一侧粘合，其中，每个所述压电发声单元在所述柔性膜层上的正投影，与所述空腔在所述柔性膜层上的正投影至少部分重叠。

可选的，在柔性膜层的一侧形成多个子像素，以及至少一个压电发声单元之前，所述方法还包括：

提供支撑基板；

在所述支撑基板的一侧形成所述柔性膜层；

在柔性膜层的一侧形成多个子像素，以及至少一个压电发声单元之后，所述方法还包括：

将所述支撑基板从所述柔性膜层上剥离。

又一方面，提供了一种显示装置，所述显示装置包括：音频驱动电路，以及如上述方面所述的显示面板；

所述音频驱动电路与所述显示面板中的压电发声单元连接，用于为所述压电发声单元提供音频驱动信号。

本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

本申请提供了一种显示面板及其制造方法、显示装置，该显示面板包括的至少一个压电发声单元位于柔性膜层的显示区域，因此不会占用显示面板的周边区域，该显示面板的周边区域的面积可以较小，显示面板的屏占比较高。并且，由于每个压电发声单元与任一子像素之间具有间隙，因此能够避免该压电发声单元在空腔内振动时，该压电发声单元产生的振动波传递至该显示面板中的子像素，保证显示装置的显示效果。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是相关技术中扬声器的结构示意图；

图2是相关技术中激励器的设置位置示意图；

图3是相关技术中激励器产生的振动波的传播方向示意图；

图4是相关技术中激励器产生的振动波叠加示意图；

图5是本申请实施例提供的一种显示面板的结构示意图；

图6是本申请实施例提供的另一种显示面板的结构示意图；

图7是本申请实施例提供的又一种显示面板的结构示意图；

图8是本申请实施例提供的一种压电发声单元的结构示意图；

图9是本申请实施例提供的一种衬底基板的俯视图；

图10是本申请实施例提供的一种衬底基板的截面图；

图11是本申请实施例提供的再一种显示面板的结构示意图；

图12是图11所示的显示面板的俯视图；

图13是本申请实施例提供的一种显示面板的制造方法的流程图；

图14是本申请实施例提供的另一种显示面板的制造方法的流程图；

图15是本申请实施例提供的一种形成第一电极块的示意图；

图16是本申请实施例提供的一种形成遮挡薄膜，缓冲薄膜，有源层，栅极绝缘薄膜，栅极层以及层间介电薄膜的示意图；

图17是本申请实施例提供的一种对缓冲薄膜，栅极绝缘薄膜以及层间介电薄膜进行刻蚀的示意图；

图18是本申请实施例提供的一种对遮挡薄膜进行刻蚀的示意图；

图19是本申请实施例提供的一种形成压电膜层的示意图；

图20是本申请实施例提供的一种形成第二电极块的示意图；

图21是本申请实施例提供的一种形成第一平坦薄膜的示意图；

图22是本申请实施例提供的一种在层间介电层和栅极绝缘层中形成过孔的示意图；

图23是本申请实施例提供的一种形成源漏极层和数据线的示意图；

图24是本申请实施例提供的一种形成第二平坦薄膜的示意图；

图25是本申请实施例提供的一种形成阳极层的示意图；

图26是本申请实施例提供的一种形成像素界定层的示意图；

图27是本申请实施例提供的一种形成第一平坦层和第二平坦层的示意图；

图28是本申请实施例提供的一种形成发光层和阴极层的示意图；

图29是本申请实施例提供的一种形成封装膜层的示意图；

图30是本申请实施例提供的一种形成盖板的示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

声音是由声源的振动引起介质(例如，空气，固体或液体)的振动而形成的。传统的显示装置中的发声设备为扬声器。参考图1，该扬声器可以包括激励器以及振膜。该激励器通电时能够使得振膜震动，进而使得显示装置发出声音。参考图2中的(1)和(2)，该激励器可以设置在显示装置中显示面板的周边区域(例如，设置在中板的上侧)。显示面板中设置有激励器的区域可以具有开孔，振膜可以位于该开孔内，且位于激励器靠近显示面板的出光侧。该激励器在通电时，声音能够通过显示面板的上侧发出。参考图2，该显示面板还包括电池和盖板。

但是，由于显示面板的周边区域需要设置扬声器，导致该周边区域的面积较大，进而导致显示面板的屏占比较低。因此，为了提高显示面板的屏占比，屏幕发声技术受到越来越多的关注，同时屏幕发声产品也逐渐进入人们的生活。相关技术中，可以将激励器贴附在显示面板的非出光侧，并采用显示面板代替扬声器的振膜。当该激励器通电时，该显示面板能够振动以调节该显示面板的出光侧的介质的疏密程度，从而使得显示装置发声。或者，可以将激励器贴附在中板的一侧，并在显示面板的非出光侧贴附磁体，通过电磁感应原理带动磁铁的运动从而使得显示面板振动，以实现显示装置发声。

采用屏幕发声技术无需为了设置振膜而在显示面板的出光侧设置开孔，不仅防水防尘，而且美观大方，屏占比较高。同时，采用显示面板代替传统的扬声器的振膜可以将发出的声音直接传达至用户，用户体验较好。但是，由于该激励器贴附于显示面板的出光侧，因此会导致显示装置的厚度较厚。

需要说明的是，参考图3，由于激励器是直接贴附在显示面板的非出光侧，因此该激励器在通电以带动显示面板振动发声的过程中，该显示面板设置有激励器产生的振动波(声波)除了在垂直于该显示面板的方向振动(发出声音的振动)之外，还会在该显示面板内传播(横向传播)。

参考图4，若显示面板的非出光侧贴附有两个激励器，则该两个激励器产生的振动波在该显示面板内传播时会在该两个激励器之间的中间位置发生两列波的叠加。当两列波在两个激励器之间的中间位置相遇时，如果两列波的相位相同，则在两个激励器之间的中间位置叠加时会产生正的叠加效果，此时在该中间位置处的振幅为两列波的振幅之和，振动能量将增强。由此，两个激励器之间的中间位置发生振动波的叠加，会影响该中间位置的显示效果，严重时会导致该显示面板从该中间位置处断裂。

图5是本申请实施例提供的一种显示面板的结构示意图。该显示面板能够解决相关技术中显示面板的屏占比较低的问题。参考图5可以看出，该显示面板10可以包括：衬底基板101，柔性膜层102，多个子像素103和至少一个压电发声单元104。其中，图5中示出了一个子像素103以及两个压电发声单元104。

在本申请实施例中，柔性膜层102可以位于该衬底基板101的一侧，该柔性膜层102可以具有显示区域。该多个子像素103和至少一个压电发声单元104均位于柔性膜层102远离衬底基板101的一侧，且位于柔性膜层102的显示区域。其中，每个压电发声单元104能够在接收到音频驱动电路提供的音频驱动信号时振动，由此使得显示面板10振动，进而能够使得显示装置发出声音。

由于该至少一个压电发声单元104位于柔性膜层102的显示区域，因此不会占用显示面板的周边区域，该周边区域的面积可以较小，显示面板的屏占比较高。

并且，每个压电发声单元104与任一子像素103之间具有间隙(镂空)，可以避免该压电发声单元104在振动时，该压电发声单元104产生的振动波传递至该显示面板10中的子像素103，保证显示装置的显示效果。因此即使该显示面板10包括两个压电发声单元104，该两个压电发声单元104产生的振动波也不会在子像素所在区域叠加，避免由于振动波的叠加导致显示面板10损坏，保证显示装置的显示效果。

可选的，将该衬底基板101设置有空腔101a，且每个压电发声单元104在柔性膜层102上的正投影，与空腔101a在柔性膜层102上的正投影至少部分重叠。该压电发声单元104能够在空腔101a内振动，避免由于该压电发声单元104的振动空间较小，导致显示装置无法发出声音的问题。

示例的，图5中示出了两个压电发声单元104(分别为104a和104b)，则该衬底基板101中具有与该两个压电发声单元104一一对应的两个空腔101a，每个压电发声单元104在柔性膜层102上的正投影，与对应的一个空腔101a在柔性膜层102上的正投影至少部分重叠。

在本申请实施例中，由于本申请实施例提供的显示面板能够同时实现显示和发声，且压电发声单元与子像素位于衬底基板的同一侧，因此该压电发声单元不会影响该显示面板的厚度。并且，由于衬底基板的厚度比激励器的厚度薄，因此相较于相关技术中将激励器贴附于显示面板的出光侧的方案，本申请实施例提供的显示面板的厚度较薄。

综上所述，本申请实施例提供了一种显示面板，该显示面板包括的至少一个压电发声单元位于柔性膜层的显示区域，因此不会占用显示面板的周边区域，该显示面板的周边区域的面积可以较小，显示面板的屏占比较高。并且，由于每个压电发声单元与任一子像素之间具有间隙，因此能够避免该压电发声单元在空腔内振动时，该压电发声单元产生的振动波传递至该显示面板中的子像素，保证显示装置的显示效果。

可选的，制成该柔性膜层102的该柔性材料可以为聚酰亚胺(polyimide，pi)。参考图6，柔性膜层102和衬底基板101之间可以具有光学胶(opticallyclearadhesive，oca)层105，该oca层105可以用于粘合该柔性膜层102和衬底基板101。

图7是本申请实施例提供的另一种显示面板的结构示意图。参考图7可以看出，每个压电发声单元104可以包括：沿远离柔性膜层102的方向依次层叠的至少一个第一电极块1041，压电膜层1042，以及至少一个第二电极块1043。其中，该压电膜层1042在柔性膜层102上的正投影，可以覆盖至少一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影，且覆盖至少一个第二电极块1043在柔性膜层102上的正投影。并且，参考图7，每个第二电极块1043在柔性膜层102上的正投影，与一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影重叠。

其中，该第一电极块1041还可以称为发射(transmit，tx)电极，第二电极块1043还可以称为接收(receive，rx)电极。

可选的，该第一电极块1041和第二电极块1043均可以由金属材料制成。该压电膜层1042可以由有机压电材料制成。例如可以由聚偏氟乙烯(polyvinylidenefluoride，pvdf)制成，或者由pvdf二元或三元的聚合物制成。当然，该压电膜层1042也可以由有机压电材料与无机压电材料构成的复合压电材料制成，例如由压电陶瓷制成。

在本申请实施例中，显示装置中的音频驱动电路能够将该音频驱动信号传输至该第一电极块1041和第二电极块1043。压电膜层1042可以基于压电材料的压电效应将该第一电极块1041和第二电极块1043接收到的音频驱动信号(电信号)转换为振动信号，压电膜层1042可以在该振动信号的作用下开始振动，由此使得显示面板振动，进而使得显示装置发出声音。

示例的，图7中示出了两个压电发声单元104，其中第一个压电发声单元104a包括两个第一电极块1041，以及与两个第一电极块1041一一对应的两个第二电极块1043。第二个压电发声单元104b包括一个第一电极块1041和一个第二电极块1043。当然，每个压电发声单元104还可以包括更多个第一电极块1041和更多个第二电极块1043，本申请实施例对每个压电发声单元104包括的第一电极块1041的数量和第二电极块1043的数量不做限定。

图8是本申请实施例提供的一种压电发声单元的结构示意图。参考图8可以看出，每个压电发声单元104还可以包括：第三电极块1044和连接电极1045。该第三电极块1044可以和第一电极块1041同层且间隔设置。该连接电极1045的一端可以与该第三电极块1044连接，该连接电极1045的另一端可以与第二电极块1043连接。该第三电极块1044可以用于为第二电极块1043提供来自音频驱动电路的音频驱动信号。

也即是，该音频驱动电路可以分别与第一电极块1041和第三电极块1044连接。由于第三电极块1044与第一电极块1041同层，因此能够避免音频驱动电路与位于不同层的第一电极块1041和第二电极块1043分别连接，而对该音频驱动电路提供的音频驱动信号的准确性造成影响，保证显示装置发出的声音的可靠性。

可选的，该第三电极块1044的材料可以与第一电极块1041的材料相同，且采用同一次构图工艺制备得到。该连接电极1045可以由银(ag)制成。

由于压电膜层1042在制备时可能会对位于该压电膜层1042的一侧的第一电极块1041造成损伤，因此参考图8，该压电发声单元104还可以包括：第一保护层1046。该第一保护层1046可以位于压电膜层1042靠近第一电极块1041的一侧，用于保护该第一电极块1041。可选的，该第一保护层1046可以由氮化硅(sin)材料制成。

在本申请实施例中，显示面板10可以包括：多个压电发声单元104，该多个压电发声单元104可以均匀分布在柔性膜层102远离衬底基板101的一侧。由此，可以使得显示面板各个区域振动的程度相近，不仅能够实现显示装置的全屏发声，还能够保证显示装置的显示效果。

参考图5和图6可以看出，该衬底基板101的空腔101a可以为位于衬底基板101靠近柔性膜层102的一侧的凹槽。或者，若压电发声单元104产生的声波的声压较大，则参考图7和图8，该衬底基板101的空腔101a可以为通孔，以保证该压电发声单元104具有足够的空间振动。

在本申请实施例中，参考图9，衬底基板101中的空腔101a在柔性膜层102中的正投影可以为梯形，圆形，或者三角形。当然，该衬底基板101中的空腔101a在柔性膜层102中的正投影还可以为其他形状，本申请实施例对此不做限定。

参考图10，该衬底基板101中的空腔101a的纵截面的形状可以为梯形或矩形。其中，该纵截面垂直于该衬底基板101的承载面。梯形可以为正梯形或者倒梯形。若该空腔101a的纵截面为正梯形，则空腔101a靠近柔性膜层102的一侧在该柔性膜层102上的正投影的面积，小于空腔101a远离柔性膜层102的一侧在该柔性膜层102上的正投影的面积。若该空腔101a的纵截面为倒梯形，则该空腔101a靠近柔性膜层102的一侧在该柔性膜层102上的正投影的面积，大于空腔101a远离柔性膜层102的一侧在该柔性膜层102上的正投影的面积。

图11是本申请实施例提供的另一种显示面板的结构示意图。参考图11可以看出，该显示面板还可以包括：反射层106，该反射层106可以位于衬底基板101远离柔性膜层102的一侧，该反射层106可以用于反射压电发声单元104产生的声波。

可选的，该反射层106的一侧可以与衬底基板101远离柔性膜层102的一侧通过oca胶贴合，能够提高该反射层106与衬底基板101之间连接的可靠性。也即是，参考图11，该反射层106和衬底基板101之间可以具有oca层105。

参考图11，该显示面板10还可以包括：多条数据(data)线107，每条数据线107可以与一列子像素103连接。该多条数据线107中的至少一条数据线107在柔性膜层102上的正投影，与压电发声单元104在柔性膜层102上的正投影至少部分重叠。其中，该多条数据线107可以与子像素107中的源漏极层1037同层。

并且，参考图11，该显示面板10还可以包括：第一平坦层108。该第一平坦层108可以位于第二电极块1043和多条数据线107之间。该第一平坦层108在柔性膜层102上的正投影，与任一子像素103在柔性膜层102上的正投影不重叠，且与压电发声单元104和子像素103之间的间隙不重叠。

参考图11还可以看出，子像素103可以包括：沿远离柔性膜层102的一侧依次层叠的遮挡(barrier)层1031，缓冲(buffer)层1032，有源(active)层1033，栅极绝缘层(gateinsulator，gi)1034，栅极(gate，g)层1035，层间介电层(interlayerdielectric，ild)1036，源漏极层1037，第二平坦层(planarizationlayer，pnl)1038，像素界定层(pixeldefinitionlayer，pdl)1039，阳极层(anodelayer，and)10310，发光层(emittinglayer，eml)10311，以及阴极层(cathodolayer)10312。其中，源漏极层1037可以包括源极(source，s)10371和漏极(drain，d)10372，且该源极10371和漏极10372均通过过孔与有源层1033连接。其中，该多条数据线107远离柔性膜层102的一侧也具有第二平坦层1038。

由于制备柔性膜层102的pi为亲水材料，因此为了避免该柔性膜层102中的水和氧气对位于该柔性膜层102上的其他膜层造成影响，该显示面板10中可以形成有遮挡层1031和缓冲层1032。能够防止柔性膜层102中的水和氧气浸入其他膜层，保证膜层的特性。例如，该柔性膜层102中的水和氧气不会浸入子像素103的栅极层1035，源漏极层1037，以及发光层10311。

参考图11，该显示面板10还可以包括：封装膜层(thin-filmencapsulation，tfe)109以及盖板(coverglass，cg)110，该封装膜层109可以位于第二平坦层1038远离柔性膜层102的一侧，盖板110可以位于封装膜层109远离柔性膜层102的一侧。并且，该封装膜层109在柔性膜层102上的正投影，与压电发声单元104和子像素103之间的间隙不重叠。

可选的，该封装膜层109和盖板110之间可以通过oca胶贴合，能够提高该封装膜层109与盖板110之间连接的可靠性。也即是，参考图11，该封装膜层109与盖板110之间可以具有oca层105。

参考图11，该显示面板10还可以包括第二保护层111，该第二保护层111可以位于衬底基板101靠近柔性膜层102的一侧与oca层105之间，用于保护该衬底基板101。该第二保护层111可以由聚丙烯(polypropylene，pp)材料制备得到。

图12是图11所示的显示面板的俯视图。参考图12可以看出，柔性膜层102的显示区域102a可以包括多个显示子区域102a1，每相邻两个显示子区域102a1之间可以具有间隙。其中，每个显示子区域102a1可以具有至少一个子像素103。压电发声单元104可以位于相邻两个显示子区域102a1之间，且该压电发声单元在柔性膜层102上的正投影，与任一显示子区域102a1不重叠。并且，通过数据线107将各个显示子区域102a1中的子像素103连接，能够保证显示装置的整体显示效果。

其中，压电发声单元104可以位于数据线107靠近柔性膜层102的一侧。并且，由于每相邻两个显示子区域102a1之间的间隙较小，因此通常情况下，该压电发声单元104不会设置在相邻两个显示子区域102a1之间的间隙，而是设置在数据线107的下方。即图12中，该压电发声单元104位于数据线107的下方，被该数据线107遮挡。

综上所述，本申请实施例提供了一种显示面板，该显示面板包括的至少一个压电发声单元位于柔性膜层的显示区域，因此不会占用显示面板的周边区域，该显示面板的周边区域的面积可以较小，显示面板的屏占比较高。并且，由于每个压电发声单元与任一子像素之间具有间隙，因此能够避免该压电发声单元在空腔内振动时，该压电发声单元产生的振动波传递至该显示面板中的子像素，保证显示装置的显示效果。

图13是本申请实施例提供的一种显示面板的制造方法的流程图。参考图13可以看出，该方法可以包括：

步骤201、在柔性膜层的一侧形成多个子像素，以及至少一个压电发声单元。

在本申请实施例中，多个子像素103，以及至少一个压电发声单元104可以均位于柔性膜层102的显示区域，且每个压电发声单元104可以与任一子像素之间具有间隙。由此，可以避免在该压电发声单元104振动时，该压电发声单元104产生的振动波传递至该显示面板中的子像素，显示装置的显示效果较好。

步骤202、提供衬底基板。

可选的，该衬底基板101可以具有空腔101a，且该衬底基板101可以为玻璃基板。

步骤203、将柔性膜层远离多个子像素的一侧，与衬底基板具有空腔的一侧粘合。

其中，每个压电发声单元104在柔性膜层102上的正投影，可以与空腔101a在柔性膜层102上的正投影至少部分重叠。由此，该压电发声单元104能够在该衬底基板101的空腔101a内振动，避免由于压电发声单元104的振动空间较小，导致显示装置无法发出声音的问题。

综上所述，本申请实施例提供了一种显示面板的制造方法，该方法制造得到的显示面板中至少一个压电发声单元位于柔性膜层的显示区域，因此不会占用显示面板的周边区域，该显示面板的周边区域的面积可以较小，显示面板的屏占比较高。并且，由于每个压电发声单元与任一子像素之间具有间隙，因此能够避免该压电发声单元在空腔内振动时，该压电发声单元产生的振动波传递至该显示面板中的子像素，保证显示装置的显示效果。

图14是本申请实施例提供的另一种显示面板的制造方法的流程图。参考图14可以看出，该方法可以包括：

步骤301、提供支撑基板。

可选的，该支撑基板可以为玻璃基板。

步骤302、在支撑基板的一侧形成柔性膜层。

可选的，可以采用涂布机(coater)在该支撑基板的一侧涂覆一层柔性材料，得到该柔性膜层102。其中，制成该柔性膜层102的该柔性材料可以为pi。

步骤303、在柔性膜层远离支撑基板的一侧形成至少一个第一电极块。

在本申请实施例中，参考图15，可以采用磁控溅射(sputter)设备在该柔性膜层102远离支撑基板a的一层形成金属层，并对该金属层进行图形化处理得到至少一个第一电极块1041。其中，该图形化处理可以包括：光刻胶涂覆，曝光，显影，刻蚀和光刻胶剥离等工艺。

步骤304、在柔性膜层远离衬底基板的一侧依次形成遮挡薄膜，缓冲薄膜，有源层，栅极绝缘薄膜，栅极层，以及层间介电薄膜。

在本申请实施例中，参考图16，可以采用等离子体增强化学的气相沉积(plasmaenhancedchemicalvapordeposition，pecvd)设备在柔性膜层102远离衬底基板101的一侧形成该遮挡薄膜1031a和缓冲薄膜1032a。然后，可以采用pecvd设备在该缓冲薄膜1032a远离柔性膜层102的一侧形成有源薄膜，并对该有源薄膜进行图形化处理得到有源层1033。并且，可以采用pecvd设备在有源层1033远离柔性膜层102的一侧形成栅极绝缘薄膜1034a。之后，可以采用sputter设备在栅极绝缘薄膜1034a远离柔性膜层102的一侧形成栅极薄膜，并对该栅极薄膜进行图形化处理得到栅极层1035。最后，可以采用pecvd设备在该栅极层1035远离柔性膜层102的一侧形成层间介电薄膜1036a。

其中，该遮挡薄膜1031a，缓冲薄膜1032a，栅极绝缘薄膜1034a以及层间介电薄膜1036a可以均由无机材料制备得到，该栅极层1035可以由金属材料制备得到。

需要说明的是，该遮挡薄膜1031a可以用于形成子像素103中的遮挡层1031，该缓冲薄膜1032a可以用于形成子像素103中的缓冲层1032，栅极绝缘薄膜1034a可以用于形成子像素103中的栅极绝缘层1034，层间介电薄膜1036a可以用于形成子像素103中的层间介电层1036。

步骤305、对层间介电薄膜，栅极绝缘薄膜，以及缓冲薄膜进行刻蚀，得到层间介电层，栅极绝缘层，以及缓冲层。

在本申请实施例中，参考图17，可以采用刻蚀剂对层间介电薄膜1036a，栅极绝缘薄膜1034a，以及缓冲薄膜1032a进行刻蚀，得到层间介电层1036，栅极绝缘层1034，以及缓冲层1032。并且，该层间介电层1036在柔性膜层102上的正投影，与步骤303形成的至少一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影不重叠。该栅极绝缘层1034在柔性膜层102上的正投影，与步骤303形成的至少一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影不重叠。该缓冲层1032在柔性膜层102上的正投影，与步骤303形成的至少一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影不重叠。

需要说明的是，层间介电层1036，栅极绝缘层1034，以及缓冲层1032可以为采用同一次刻蚀工艺得到的。而由于膜层刻蚀的过程可能会对其他膜层造成影响，因此为了保证第一电极块1041的质量，可以先保留位于该第一电极块1041远离柔性膜层102的一侧的遮挡薄膜1031a。并可以在对层间介电薄膜1036a，栅极绝缘薄膜1034a，以及缓冲薄膜1032a进行刻蚀完成之后，对该遮挡薄膜1031a进行刻蚀。

步骤306、对遮挡薄膜进行刻蚀，得到遮挡层。

在本申请实施例中，参考图18，可以采用刻蚀剂对遮挡薄膜1031a进行刻蚀，得到遮挡层1031。并且，该遮挡层1031在柔性膜层102上的正投影，与步骤303形成的至少一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影不重叠。也即是，对遮挡薄膜1031a进行刻蚀得到遮挡层1031之后，可以将第一电极块1041暴露出来。

步骤307、在至少一个第一电极块远离柔性膜层的一侧形成压电膜层。

可选的，作为一种可选的实现方式，可以采用旋涂(spincoating)的方式在至少一个第一电极块1041远离柔性膜层102的一侧涂覆压电材料。通常情况下，该压电材料可以为液态，例如可以为pvdf及其二元或三元的聚合物。之后，为了使得该压电材料变为固态，可以对该压电材料进行固化处理。然后对该压电材料进行晶化处理(高温处理)，并在高压电场下对该压电材料进行极化处理，使得该压电材料具有一定的压电性能。最后，参考图19，将层间介电层1036的一侧的压电材料刻蚀掉，得到压电膜层1042。其中，得到的压电膜层1042与层间介电层1036之间具有间隙。

或者，作为另一种可选的实现方式，可以采用狭缝式涂布机(slotdiecoater)在至少一个第一电极块1041远离柔性膜层102的一侧涂覆压电材料，而在其他区域不涂覆该压电材料。之后，为了使得该压电材料变为固态，可以对该压电材料进行固化处理。然后对该压电材料进行晶化处理(高温处理)，并在高压电场下对该压电材料进行极化处理，使得该压电材料具有一定的压电性能，得到压电膜层1042。

步骤308、在压电膜层远离柔性膜层的一侧形成至少一个第二电极块。

在本申请实施例中，参考图20，可以采用sputter设备在压电膜层1042远离柔性膜层102的一侧形成金属层，并对该金属层进行图形化处理，得到至少一个第二电极块1043。其中，得到的第二电极块1043的数量可以与步骤303中得到的第一电极块1041的数量相同。且每个第二电极块1043在柔性膜层102上的正投影，可以与一个第一电极块1041在柔性膜层102上的正投影重叠。

当该第一电极块1041和第二电极块1043接收到音频驱动电路发送的音频驱动信号(电信号)时，压电膜层1042可以基于压电材料的压电效应将该音频驱动信号转换为振动信号，该压电膜层1042可以在该振动信号的作用下开始振动，由此使得显示面板振动，进而使得显示装置发出声音。

步骤309、在层间介电层和栅极绝缘层中形成过孔。

在本申请实施例中，参考图21，可以采用刻蚀工艺在该层间介电层1036和栅极绝缘层1034中形成过孔b，该过孔b可以用于供子像素103的源极10371和漏极10372与有源层1033连接。

步骤310、在至少一个第二电极层远离柔性膜层的一侧形成第一平坦薄膜。

在本申请实施例中，参考图22，可以采用涂布机将在至少一个第二电极层远离柔性膜层102的一侧形成第一平坦薄膜108a。该第一平坦薄膜108a在柔性膜层102上的正投影，与层间介电层1036在柔性膜层102上的正投影不重叠。

可选的，该第一平坦薄膜108a可以由树脂(resin)材料制备得到。

步骤311、在第一平坦薄膜远离柔性膜层的一侧形成多条数据线，在层间介电层远离柔性膜层的一侧形成源极和漏极。

在本申请实施例中，参考图23，可以采用sputter设备在第一平坦薄膜108a远离柔性膜层102的一侧形成金属层，并对该金属层进行图形化处理，得到多条数据线107，源极10371和漏极10372。也即是，该多条数据线107，源极10371，以及漏极10372可以采用同一次构图工艺制备得到。

其中，该多条数据线107中的至少一条数据线107在柔性膜层102上的正投影，可以与压电膜层1042在柔性膜层102上的正投影至少部分重叠。并且，该源极10371和漏极10372可以通过步骤309形成的过孔b与有源层1033连接。

步骤312、在多条数据线，源极和漏极远离柔性膜层的一侧形成第二平坦薄膜。

在本申请实施例中，参考图24，可以采用涂布机将在多条数据线107，源极10371和漏极10372远离柔性膜层102的一侧形成第二平坦薄膜1038a。其中，该第二平坦薄膜1038a可以由树脂材料制备得到。

步骤313、在第二平坦薄膜远离柔性膜层的一侧形成阳极层。

在本申请实施例中，参考图25，可以采用sputter设备在第二平坦薄膜1038a远离柔性膜层102的一侧形成金属层，并对该金属层进行图形化处理得到阳极层10310。其中，该阳极层10310在柔性膜层102上的正投影，与压电膜层1042在柔性膜层102上的正投影不重叠。

可选的，在形成该阳极层10310之前，可以在第二平坦薄膜1038a中形成过孔，阳极层10310可以通过该过孔与源极10371连接。

步骤314、在阳极层远离柔性膜层的一侧形成像素界定层。

在本申请实施例中，参考图26，可以采用coating设备在阳极层10310远离柔性膜层102的一侧形成像素界定薄膜，并对该像素界定薄膜进行图形化处理得到像素界定层1039。其中，在对该像素界定薄膜进行图形化处理的过程中，可以在该像素界定薄膜中形成用于限定发光区域的开口。该开口可以将步骤313中形成的阳极层10310暴露出来。

步骤315、对第一平坦薄膜和第二平坦薄膜进行刻蚀，得到第一平坦层和第二平坦层。

在本申请实施例中，参考图27，可以采用灰化(ashing)工艺对第一平坦薄膜108a和第二平坦薄膜1038a进行刻蚀，得到第一平坦层108和第二平坦层1038。其中，得到的该第一平坦层108在柔性膜层102上的正投影与层间介电层1036在柔性膜层102上的正投影之间具有间隙。并且，得到的该第二平坦层1038在柔性膜层102上的正投影，与压电膜层1042和层间介电层1036之间的间隙不重叠。

步骤316、在阳极层远离柔性膜层的一侧依次形成发光层和阴极层。

在本申请实施例中，参考图28，可以采用蒸镀设备在阳极层10310远离柔性膜层102的一侧形成发光层10311，并在发光层10311远离阳极层10310的一侧形成阴极层10312。

步骤317、在阴极层远离柔性膜层的一侧形成封装膜层。

可选的，参考图29，可以采用封装薄膜化学气相沉积(thin-filmencapsulationchemicalvapourdeposition，cvd)设备在阴极层10312远离柔性膜层102的一侧形成封装薄膜，之后对该封装薄膜进行图形化处理，得到封装膜层109。该封装膜层109在柔性膜层102上的正投影，与压电膜层1042和层间介电层1036之间的间隙不重叠。

步骤318、将支撑基板从柔性膜层上剥离。

在本申请实施例中，参考图30，可以采用激光剥离(laserlift-off，llo)的方式将支撑基板从柔性膜层102上剥离。

步骤319、将盖板与封装膜层粘合。

可选的，参考图30，可以采用oca胶将盖板110的一侧与封装膜层109远离柔性膜层102的一侧粘合。也即是，盖板110和封装膜层109之间可以具有光学胶层105。

步骤320、提供衬底基板。

可选的，该衬底基板可以具有空腔，且该衬底基板可以为玻璃基板。

在本申请实施例中，可以先获得原始基板，该原始基板可以为原始玻璃基板(bareglass)，并采用机械加工的方式在该原始基板上形成空腔101a，得到该衬底基板101。或者，可以在获取原始基板之后，在该原始基板的一侧的部分区域形成第三保护层。然后，采用刻蚀剂在该原始基板中未形成有第三保护层的区域进行刻蚀以得到空腔101a。最后将第三保护层从原始基板的一面剥离，得到该衬底基板101。其中，刻蚀剂可以为氢氟酸(hf)。

步骤321、将柔性膜层远离盖板的一侧与衬底基板具有空腔的一侧粘合。

其中，参考图11，每个压电发声单元104在柔性膜层102上的正投影，可以与空腔101a在柔性膜层102上的正投影至少部分重叠。由此，该压电发声单元104能够在该衬底基板101的空腔101a内振动，避免由于压电发声单元104的振动空间较小，导致显示装置无法发出声音的问题。

需要说明的是，本申请实施例提供的显示面板的制造方法的步骤的先后顺序可以进行适当调整，步骤也可以根据情况进行相应增减。例如，步骤319可以在步骤318之前执行，步骤312，步骤317和步骤319可以根据实际情况删除。任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本申请的保护范围之内，因此不再赘述。

综上所述，本申请实施例提供了一种显示面板的制造方法，该方法制造得到的显示面板中至少一个压电发声单元位于柔性膜层的显示区域，因此不会占用显示面板的周边区域，该显示面板的周边区域的面积可以较小，显示面板的屏占比较高。并且，由于每个压电发声单元与任一子像素之间具有间隙，因此能够避免该压电发声单元在空腔内振动时，该压电发声单元产生的振动波传递至该显示面板中的子像素，保证显示装置的显示效果。

本申请实施例还提供了一种显示装置，该显示装置可以音频驱动电路，以及上述实施例所提供的显示面板10。该音频驱动电路可以与显示面板10中的压电发声单元104连接，用于为该压电发声单元104提供音频驱动信号。其中，该音频驱动信号可以为电信号。该压电发声单元104可以在接收到该音频驱动电路发送的电信号时振动，由此使得显示面板振动，进而使得显示装置发出声音。

可选的，该显示装置还可以包括：音频转换电路。该音频转换电路可以分别与音频驱动电路和压电发声单元104连接。由于该音频驱动电路提供的信号通常为音频信号，而压电发声单元104接收到的信号为电信号，因此需要设置该音频转换电路，以将音频驱动电路提供的音频信号转换为电信号，并将该电信号发送至压电发声单元104。

在本申请实施例中，该显示装置可以为：液晶面板、电子纸、有机发光二极管(organiclight-emittingdiode，oled)显示装置、手机、平板电脑、电视机(television，tv)、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。

以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。