1.一种mems结构，其特征在于，包括：
衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体连接的支撑板，其中，所述支撑板和所述外环体之间具有空腔；
压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述支撑板连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。
2.根据权利要求1所述的mems结构，其特征在于，所述支撑板从所述外环体向所述外环体的中心延伸，所述压电复合振动层包括一个或多个膜片，每个所述膜片的固定端连接于所述支撑板，每个所述膜片的自由端悬置于所述空腔上方。
3.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，相邻所述膜片的固定端不同。
4.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，至少两个相邻所述膜片的固定端相同。
5.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，每个所述膜片的自由端在振动方向上的投影轮廓位于对应的所述空腔内侧。
6.根据权利要求5所述的mems结构，其特征在于，每个所述膜片的自由端在振动方向上的投影轮廓与对应的所述空腔在振动方向上的投影轮廓形状相似。
7.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，所述压电复合振动层的膜片的宽度从所述固定端向所述自由端逐渐缩小。
8.根据权利要求2所述的mems结构，其特征在于，所述压电复合振动层的膜片的宽度从所述固定端向所述自由端保持恒定。
9.根据权利要求1所述的mems结构，其特征在于，所述压电复合振动层包括：
第一电极层，形成在所述衬底上方；
第一压电层，形成在所述第一电极层上方；
第二电极层，形成在所述第一压电层上方。
10.根据权利要求9所述的mems结构，其特征在于，所述压电复合振动层还包括：
支撑层，形成在所述衬底和所述第一电极层之间。