技术特征：
1.一种光学麦克风，其特征在于，所述光学麦克风包括：壳体，包括：内腔以及使所述内腔与外界相通的进声口；mems模块，设置于所述内腔中，其包括：柔性膜和两个光栅；所述柔性膜将所述内腔沿声音的入射方向分为前腔和后腔；两个光电模块，其中一个设置在所述前腔，另一个设置在所述后腔；所述两个光电模块中的每一个都包括光源和光检测器；以及集成电路模块，设置在所述后腔并与所述两个光电模块电性连接；其中，所述前腔通过所述进声口与外界相通；所述两个光栅中的一个设置在所述前腔内，并与所述柔性膜相对且间隔设置；所述两个光栅中的另一个设置在所述后腔内，并与所述柔性膜相对且间隔设置；其中，所述柔性膜朝向每个光栅的侧面设有反射层；每一个所述光栅朝向所述光电模块的侧面亦设有反射层；其中，对于所述两个光电模块中的一个，所述光电模块的所述光源发出的一部分光被所述两个光栅中与所述光电模块相邻的光栅衍射，照射在所述柔性膜上并通过所述柔性膜反射回至所述光电模块的所述光检测器；所述光电模块的所述光源发出的另一部分光通过与所述光电模块相邻的所述光栅的所述反射层直接反射回至所述光电模块的所述光检测器。2.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述光学麦克风进一步包括：透镜，设置在所述两个光栅中的每一个和所述两个光电模块中的一个之间；所述透镜与对应光栅相邻并间隔设置；其中，当所述光源发出的光垂直照射在所述透镜上时，所述光被所述透镜折射，然后斜向照射到所述对应光栅上；其中，当所述对应光栅或所述柔性膜反射的光斜向照射到所述透镜上时，所述反射光被所述透镜折射，然后垂直照射到所述光检测器上。3.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述柔性膜进一步设有连通所述前腔和所述后腔的孔。4.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述两个光栅中的每一个包括多个槽，所述槽彼此平行并间隔设置。5.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述两个光栅中的每一个由透镜制成，所述透镜上至少设有一个衍射层。6.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述两个光电模块中的每一个的所述光源和所述光检测器都配置在不同的模具上。7.根据权利要求6所述的光学麦克风，其特征在于，所述两个光电模块中的每一个包括多个光检测器。8.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述两个光电模块中的每一个的所述光源和所述光检测器都配置在相同的模具上。9.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述集成电路模块分别与所述柔性膜和所述两个光栅电性连接。10.根据权利要求1所述的光学麦克风，其特征在于，所述mems模块进一步包括支撑臂，
所述支撑臂用于支撑所述柔性膜并固定在所述壳体上；所述两个光栅中的一个通过第一支撑件与所述柔性膜间隔开；所述两个光栅中的另一个通过第二支撑件与所述柔性膜间隔开。
技术总结
本实用新型提供了一种具有双光源的光学麦克风，其包括：外壳，其包括内腔和使内腔与外界相通的进声口；设置在内腔中的MEMS模块，包括柔性膜和两个光栅；两个光电模块，一个设置在前腔，另一个设置在后腔，每个光电模块包括光源和光检测器；以及设置在后腔并与光电模块电连接的集成电路模块。光电麦克风提供差分测量，从而使柔性膜的一侧的输出信号变化为正，柔性膜的另一侧的输出信号变化为负，进而形成差分测量结构，提高光学麦克风的性能。提高光学麦克风的性能。提高光学麦克风的性能。
技术研发人员：凯夫兰
受保护的技术使用者：瑞声声学科技（深圳）有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/9/2