一种发声单元和发声单元的制作方法与流程

文档序号:38215214发布日期:2024-06-06 18:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种发声单元,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的发声单元,其特征在于,所述环形振动停止层中相对分布且用于阻挡所述振膜的两个内壁之间的最大距离小于所述振膜相对分布的两个侧壁之间的最小距离;所述环形振动停止层不导电。

3.根据权利要求1所述的发声单元,其特征在于,所述通孔包括沿所述电极层的高度方向连通的第一通孔和第二通孔;所述第一通孔位于所述空腔和所述第二通孔之间;

4.根据权利要求1所述的发声单元,其特征在于,所述发声单元还包括:

5.根据权利要求4所述的发声单元,其特征在于,所述发声单元还包括:

6.一种发声单元的制作方法,其特征在于,包括:

7.根据权利要求6所述的发声单元的制作方法,其特征在于,将所述电极基底的第一面设置于所述半导体基底上后,所述发声单元的制作方法还包括:

8.根据权利要求7所述的发声单元的制作方法,其特征在于,在所述电极基底的第二面上形成多个绝缘凸起后,所述发声单元的制作方法还包括:

9.根据权利要求6所述的发声单元的制作方法,其特征在于,所述第一通孔的宽度大于所述第二通孔的宽度;所述第一通孔的宽度方向和所述第二通孔的宽度方向均垂直于所述电极基底的高度方向;和/或,

10.根据权利要求6所述的发声单元的制作方法,其特征在于,所述环形振动停止层中相对分布且用于阻挡所述振膜的两个内壁之间的最大距离小于所述振膜相对分布的两个侧壁之间的最小距离;所述环形振动停止层不导电。


技术总结
本发明公开了一种发声单元和发声单元的制作方法,涉及数字式扬声器技术领域,以解决振膜仅能向靠近固定电极的方向运动,因此振膜的位移距离等于振膜的原始位置与固定电极之间的距离,导致发声单元的声压级较小的问题。所述发声单元包括:电极层设置于具有空腔的半导体基底,沿电极层的高度方向,电极层上开设有贯穿电极层的通孔,通孔与空腔连通。环形第一支撑结构设置于电极层,振膜结构设置于环形第一支撑结构。振膜结构与电极层之间具有间隙,振膜结构包括振膜和位于振膜外围的悬臂梁,振膜与通孔相对设置,环形第二支撑结构设置于振膜结构。环形振动停止层设置于环形第二支撑结构,环形振动停止层与振膜之间具有间隙,用于阻挡振膜。

技术研发人员:刘长华,吴甲甲
受保护的技术使用者:地球山(苏州)微电子科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/6/5
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