1.一种发声单元,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的发声单元,其特征在于,所述环形振动停止层中相对分布且用于阻挡所述振膜的两个内壁之间的最大距离小于所述振膜相对分布的两个侧壁之间的最小距离;所述环形振动停止层不导电。
3.根据权利要求1所述的发声单元,其特征在于,所述通孔包括沿所述电极层的高度方向连通的第一通孔和第二通孔;所述第一通孔位于所述空腔和所述第二通孔之间;
4.根据权利要求1所述的发声单元,其特征在于,所述发声单元还包括:
5.根据权利要求4所述的发声单元,其特征在于,所述发声单元还包括:
6.一种发声单元的制作方法,其特征在于,包括:
7.根据权利要求6所述的发声单元的制作方法,其特征在于,将所述电极基底的第一面设置于所述半导体基底上后,所述发声单元的制作方法还包括:
8.根据权利要求7所述的发声单元的制作方法,其特征在于,在所述电极基底的第二面上形成多个绝缘凸起后,所述发声单元的制作方法还包括:
9.根据权利要求6所述的发声单元的制作方法,其特征在于,所述第一通孔的宽度大于所述第二通孔的宽度;所述第一通孔的宽度方向和所述第二通孔的宽度方向均垂直于所述电极基底的高度方向;和/或,
10.根据权利要求6所述的发声单元的制作方法,其特征在于,所述环形振动停止层中相对分布且用于阻挡所述振膜的两个内壁之间的最大距离小于所述振膜相对分布的两个侧壁之间的最小距离;所述环形振动停止层不导电。