本发明涉及膜层压金属板、挠性器件用基板、以及有机el器件用基板。
背景技术：
挠性器件是以使用具有挠性的材料而可弯曲为特征的器件的总称。通过与以有机材料为基础的有机电子设备、或通过涂布、印刷而能够低成本且简便地制作器件的印刷电子设备等组合，可以创造出各种功能性产品。挠性器件中具有有机el(electro-luminescence)器件、有机薄膜太阳能电池、有机tft(thinfilmtransistor)、电子纸、挠性电池、各种挠性传感器等各种器件。
目前，有机el器件等的挠性器件中主要使用了平面性、耐热性及气体阻隔性优异的玻璃、挠性优异的树脂膜等。但是，难以全部满足作为挠性器件用基板最重要的平面性、耐热性、气体阻隔性及挠性。因此，例如设法使玻璃成为薄膜并高强度化而使其具有挠性、在树脂膜的表面设置气体阻隔层而使其具有气体阻隔性。但是，性能不足、高成本的课题也很多。因此，为了解决这些问题，开始提出了在金属板上包覆绝缘膜的方法。
作为在金属板上包覆绝缘膜的方法，在专利文献1中提出了如下方法，在控制了al、si含量的钢材上通过热氧化而形成含有al2o3及sio2中至少一者的绝缘性被膜，并进一步形成由二氧化硅类无机有机混合材料形成的绝缘性被膜。另外，在专利文献2中提出了如下方法，通过对包含热固性树脂、且固体颜料的体积分率为20％以下的被膜形成用组合物进行烧结，从而在金属板上形成绝缘膜。另外，在专利文献3中还提出了一种金属板，其是经由粘接剂将固体颜料的体积分率为20％以下的热塑性树脂膜层叠而成的。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2016/001971号公报
专利文献2：日本特开2014-208479号公报
专利文献3：日本特开2015-195315号公报
技术实现要素：
发明所要解决的问题
但是，在专利文献1所记载的方法中，由于使用有机溶剂、需要高温的热处理，因此环境负担高。而且，由于绝缘膜是以无机材料为主成分的薄的被膜，因此挠性差。另外，专利文献2所记载的方法也是需要使用有机溶剂、需要通过热处理进行干燥、固化的工艺。另外，在专利文献3所记载的方法中，不仅粘接剂的涂布花费成本，而且粘接剂的固化花费时间，因此是生产性也差的工艺。
本发明是鉴于上述课题而完成的。其目的在于提供不仅满足作为挠性器件用基板所需要的平滑性、耐热性、挠性及气体阻隔性，而且环境负担低、生产性也优异的膜层压金属板、挠性器件用基板、以及有机el器件用基板。
用于解决问题的方法
本发明提供一种膜层压金属板，其至少一面被树脂膜包覆，树脂膜的表面的算术平均高度sa0为3.0nm以下，将在100℃进行了热处理的树脂膜的表面的算术平均高度设为sa1时，算术平均高度变化率{(sa1/sa0)×100}为80％以上且120％以下。
树脂膜的表面的十点区域高度s10z0可以为50nm以下。
将在100℃进行了热处理的树脂膜的表面的十点区域高度设为s10z1时，十点区域高度变化率{(s10z1/s10z0)×100}可以为80％以上且120％以下。
树脂膜的表面的光泽度可以为100以上。
树脂膜的厚度可以为10μm以上且50μm以下。
树脂膜的成分的80质量％以上可以为聚酯树脂。
树脂膜可以通过热压接层压而包覆于金属板。
本发明的挠性器件用基板使用本发明的膜层压金属板。
本发明的有机el器件用基板使用本发明的膜层压金属板。
发明的效果
根据本发明，可以提供不仅满足作为挠性器件用基板所需要的平滑性、耐热性、挠性及气体阻隔性，而且环境负担低、生产性也优异的膜层压金属板、挠性器件用基板、以及有机el器件用基板。
具体实施方式
以下，对本发明的膜层压金属板进行说明。
在本发明的膜层压金属板中，金属板的至少一面被树脂膜包覆。金属板例如在用作有机el器件的情况下，优异地兼顾挠性和气体阻隔性。而且，通过至少在一面包覆树脂膜，能够赋予树脂膜所具有的平滑性。另外，通过使树脂膜与金属板贴合，即使加热也可保持膜，耐热性比树脂膜单体更优异。
在本发明的膜层压金属板中，树脂膜的表面的算术平均高度sa0为3.0nm以下。树脂膜的表面的算术平均高度sa0更优选为1.1nm以下，进一步优选为0.80nm以下，特别优选为0.50nm以下。在算术平均高度sa0超过3.0nm的情况下，例如在用作有机el器件的情况下，有时在电极间发生短路而使有机el不发光。另外，算术平均高度sa0越接近0，从上述的观点来看越是理想的，但实质上下限为0.1nm。为了使树脂膜的表面的算术平均高度sa0为上述范围内，在后述那样层压树脂膜时以不使树脂膜的表面形状变差的方式进行压接是非常重要的。另外，由于输送中的擦伤等也会使算术平均高度sa0变差，因此，优选以不影响表面粗糙度的方式提高树脂膜的表面的易滑性。
在本发明的膜层压金属板中，将在100℃进行了热处理后的树脂膜的表面的算术平均高度设为sa1时的算术平均高度变化率{(sa1/sa0)×100}为80％以上且120％以下。算术平均高度变化率更优选为85％以上且115％以下，进一步优选为90％以上且110％以下，特别优选为92％以上且108％以下。在算术平均高度变化率低于80％或超过120％的情况下，即在热处理所引起的表面状态的变化大的情况下，例如有时会因在金属板上制作有机el器件后的工艺所产生的热而使表面状态发生变化。在这样的情况下，由于连同有机el器件一起发生变形，因此有时产生亮度不均、短路。为了使算术平均高度变化率为上述范围内，包覆后述的树脂的膜、在特定的层压条件进行压接是非常重要的。
在本发明的膜层压金属板中，树脂膜的表面的十点区域高度s10z0优选为50nm以下。树脂膜的表面的十点区域高度s10z0更优选为45nm以下，进一步优选为40nm以下，特别优选为35nm以下。如果十点区域高度s10z0为50nm以下，则能够将用作有机el器件时的电极间短路等缺陷产生率、暗点等缺陷产生率抑制得非常低。另外，十点区域高度s10z0越接近0nm，从上述的观点来看越是理想的，但实质上下限为0.5nm。为了使十点区域高度s10z0为上述范围内，在后述那样层压树脂膜时以不使膜表面形状变差的方式进行压接是非常重要的。另外，在制造膜层压金属板时附着异物等的情况下，十点区域高度s10z0也变差，因此，高水平地保持制造场所的清洁度也是非常重要的。
在本发明的膜层压金属板中，将在100℃进行了热处理后的树脂膜的表面的十点区域高度设为s10z1时的十点区域高度变化率{(s10z1/s10z0)×100}优选为80％以上且120％以下。十点区域高度变化率更优选为85％以上且110％以下，进一步优选为90％以上且110％以下，特别优选为92％以上且108％以下。如果十点区域高度变化率为80％以上且120％以下，则能够将用作有机el器件时的暗点等缺陷产生率抑制得非常低。为了使十点区域高度变化率为上述范围内，包覆后述的树脂的膜、在特定的层压条件下进行压接是非常重要的。
在本发明的膜层压金属板中，树脂膜的表面的光泽度优选为100以上。树脂膜的表面的光泽度更优选为105以上，进一步优选为110以上，特别优选为115以上。如果光泽度为100以上，则在用作有机el器件的情况下，能够将照射于基板表面的光更高效地导出至外部。而且，暗点等缺陷产生率也被抑制得非常低。由于上述原因，光泽度越高越好，在膜层压金属板的情况下，可以认为150左右为极限。
在本发明的膜层压金属板中，树脂膜的厚度优选为10μm以上且50μm以下。树脂膜的厚度更优选为12μm以上且40μm以下，进一步优选为15μm以上且35μm以下，特别优选为18μm以上且30μm以下。如果树脂膜的厚度为10μm以上，则能够得到树脂膜的表面更平滑的膜层压金属板。如果树脂膜的厚度为50μm以下，则能够将树脂膜中包含的水分所导致的暗点等缺陷产生率抑制得非常低，因此，可以得到对有机el器件的寿命的影响更小的膜层压金属板。
在本发明的膜层压金属板中，树脂膜的树脂的主成分优选为聚酯树脂。需要说明的是，“主成分”是指特定的成分在全部成分中占据的比例为80质量％以上，更优选为85质量％以上，进一步优选为90质量％以上，特别优选为95质量％以上。也可以为100质量％。作为上述聚酯树脂，优选为通过以芳香族二羧酸或脂肪族二羧酸和二醇作为主要的构成成分的单体的聚合而得到的树脂或它们的混合物。
这里，作为芳香族二羧酸，可以示例出：对苯二甲酸、间苯二甲酸、邻苯二甲酸、奈二甲酸、联苯二甲酸、二苯醚二甲酸、二苯基砜二羧酸、二苯氧基乙烷二羧酸、间苯二甲酸-5-磺酸钠等。另外，作为脂肪族二羧酸，可以示例出：草酸、琥珀酸、己二酸、辛二酸、癸二酸、二聚酸、马来酸、富马酸、十二烷二酸、环己烷二甲酸和它们的酯衍生物等。这些酸成分可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上，另外，还可以将对羟基苯甲酸等羟基羧酸等进行共聚。
另外，作为二醇成分，可以示例出：乙二醇、丙二醇、丁二醇、戊二醇、己二醇、新戊二醇、环己烷二甲醇、二乙二醇、三乙二醇、聚亚烷基二醇、2,2-双(4-羟基乙氧基苯基)丙烷、异山梨醇(1,4:3,6-二脱水葡萄糖醇，1,4:3,6-二脱水-d-山梨糖醇)、螺二醇、双酚a、双酚s等。其中，优选使用乙二醇。这些二醇成分可以仅使用一种，也可以组合使用两种以上。
作为本发明的膜层压金属板所使用的聚酯树脂，从与金属板的密合性和耐热性的观点考虑，在上述聚酯中，优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)及聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)。也可以优选使用它们的混合物。
在本发明的膜层压金属板所使用的树脂膜中，只要不妨害本发明的效果，也可以将偏苯三酸、均苯三酸、三羟甲基丙烷等多官能化合物进行共聚。另外，为了赋予功能性，也可以添加除聚酯以外的树脂成分。作为上述树脂成分，可以使用聚乙烯、聚丙烯、聚(4-甲基-1-戊烯)、聚缩醛等链状聚烯烃、作为降冰片类的开环易位聚合、加成聚合、与其它烯烃类的加成共聚物的脂环族聚烯烃、聚乳酸、聚丁二酸丁二醇酯等生物分解性聚合物、尼龙6、尼龙11、尼龙12、尼龙66等聚酰胺、芳族聚酰胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛、乙烯乙酸乙烯酯共聚物、聚缩醛、聚乙醇酸、聚苯乙烯、苯乙烯共聚聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚醚醚酮、改性聚苯醚、聚苯硫醚、聚醚酰亚胺、聚酰亚胺、聚芳酯、四氟乙烯树脂、三氟乙烯树脂、三氟氯乙烯树脂、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物、聚偏二氟乙烯等。需要说明的是，它们可以是共聚物，也可以是混合物。
本发明的树脂膜的玻璃化转变温度没有特别限定，从兼顾与金属板的密合性和耐热性的观点考虑，优选为60℃以上且130℃以下，进一步优选为70℃以上且100℃以下。另外，树脂膜的熔点也没有特别限定，从兼顾与金属板的密合性和耐热性的观点考虑，优选为220℃以上且280℃以下，进一步优选为240℃以上且260℃以下。
从提高耐热性的观点考虑，本发明的膜层压金属板所使用的树脂膜中优选添加公知的抗氧化剂0.0001质量％以上且1.0质量％以下，进一步优选为0.001质量％以上且1.0质量％以下。作为抗氧化剂的种类，没有特别限定，例如可以使用分类为受阻酚类、肼类、亚磷酸酯类等的公知的抗氧化剂。
在本发明的膜层压金属板所使用的树脂膜中，在不妨害本发明效果的范围内，除了上述的抗氧化剂以外，还可以含有各种添加材料。例如，增滑剂、成核剂、热稳定剂、抗静电剂、防粘连剂、填充剂、粘度调整剂等。它们也可以混合于树脂膜中，特别是增滑剂、防粘连剂可以与溶剂混合，制成浆料而涂布于膜表面，并进行干燥，由此赋予功能。
对于本发明的膜层压金属板所使用的树脂膜而言，即使是同一树脂组合物的单层结构，也可优选使用，但为了赋予功能性，也优选设为层叠成2层以上的结构。作为设为层叠结构的情况下的效果，例如，层叠于金属板的表层设为与金属板密合性高的组成，其相反侧的表层设为抗划伤性、耐热性优异的树脂组成等，可以赋予各种功能。作为层叠方向，不仅是上述的厚度方向的层叠，而且也可以沿长度方向、宽度方向层叠，从作为膜层压金属板的功能赋予的观点考虑，优选为沿厚度方向的层叠。作为层叠方法，例如可以是使用了进料机构(feedblock)方式、多料道(multimanifold)方式的共挤出法，也可以是与其它的膜贴合的方法、将熔融的树脂直接层叠在膜上的层压法中的任意方法。
接着，以下说明本发明的膜层压金属板的制造方法，但并不一定限定于此。在制造本发明的膜层压金属板时，首先，以粒料等形式准备上述优选的聚酯树脂。粒料可根据需要在热风中或真空下干燥后，与各种添加剂一起供给至挤出机。在挤出机内，加热熔融至熔点以上的树脂通过齿轮泵等使挤出量均匀化，经由过滤器等去除异物、改性的树脂等。在设为层叠结构的情况下，供给至与上述不同的挤出机，分别通过不同的流路被送入层叠装置。作为层叠装置，可以使用进料机构、多料道模头。
这些树脂通过t模头而成型为片状后，进行排出。然后，从t模头排出的熔融片被挤出至浇铸滚筒等冷却体上之后，进行冷却固化，作为无拉伸膜而得到。此时，为了提高浇铸滚筒等冷却体与熔融片的密合性，优选使用线状、带状、针状或刀状等的电极利用静电力使其密合，进行骤冷固化。另外，还优选为从狭缝状、点状、面状的装置喷吹空气使其密合而进行骤冷固化的方法、利用夹持辊使其密合而进行骤冷固化的方法、以及将它们组合的方法。
这样得到的无拉伸膜优选沿纵向(长度方向)及横向(宽度方向)进行双向拉伸。作为进行双向拉伸的方法，可以使用沿纵向拉伸后沿横向拉伸或沿横向拉伸后沿纵向拉伸的逐次双向拉伸法、或者沿纵向和横向同时拉伸的同时双向拉伸法等。在逐次双向拉伸法的情况下，从质量的均匀化、节省设备空间的观点考虑，优选沿纵向拉伸后，沿横向进行拉伸。这里，对沿纵向拉伸后再沿横向拉拉伸的逐次双向拉伸法进行说明。
首先，得到的无拉伸膜沿纵向被拉伸。这里，沿纵向的拉伸是指用于对膜赋予长度方向的分子取向的拉伸。通常通过辊的圆周速度差来实施，该行进方向的拉伸可以以一步进行，也可以使用多个辊以多步进行。作为纵向拉伸中的拉伸的倍率，根据树脂的种类而不同，优选为2.0倍以上且6.0倍以下，更优选为2.5倍以上且5.0倍以下，进一步优选为2.8倍以上且4.5倍以下。如果拉伸倍率为上述的范围内，则能够效率良好地得到厚度不均小的膜。
另外，作为纵向拉伸中的拉伸温度，优选为构成树脂膜的树脂的玻璃化转变温度以上、且玻璃化转变温度+100℃以下，进一步优选为玻璃化转变温度+10℃以上、且玻璃化转变温度+80℃以下，特别优选为玻璃化转变温度+20℃以上、且玻璃化转变温度+70℃以下。如果拉伸温度为上述的范围内，则能够效率良好地得到层压时的收缩小的膜。
将单向拉伸后的树脂膜暂时逐渐冷却，接着，利用拉幅式拉伸机夹持树脂膜的端部进行导入。作为横向拉伸中的拉伸倍率，优选为2.5倍以上且10.0倍以下，更优选为3.0倍以上且8.0倍以下，进一步优选为3.5倍以上且6.0倍以下。如果拉伸倍率为上述的范围内，则能够效率良好地得到厚度不均小、层压时的收缩也小的膜。
作为横向拉伸中的拉伸温度，优选为构成树脂膜的树脂的玻璃化转变温度以上且玻璃化转变温度+100℃以下，更优选为玻璃化转变温度+20℃以上且玻璃化转变温度+80℃以下，特别优选为玻璃化转变温度+30℃以上且玻璃化转变温度+70℃以下。如果拉伸温度为上述的范围内，则能够效率良好地得到厚度不均小、层压时的收缩也小的膜。
向横向拉伸后的膜优选在随后进行热固定。热固定优选在加热成高温的拉幅机内进行，作为热固定温度，优选为横向拉伸中的拉伸温度以上、且熔点-50℃以下，进一步优选为横向拉伸中的拉伸温度+20℃以上、且熔点-60℃以下，特别优选为横向拉伸中的拉伸温度+40℃以上、且熔点-70℃以下。
另外，热固定也可以一边使膜在长度方向和/或宽度方向上松弛一边进行。作为松弛率，优选为0.3％以上且5.0％以下，更优选为0.5％以上且4.0％以下，进一步优选为0.8％以上且3.0％以下。通过在热固定的同时进行松弛，双向取向的树脂膜的残留应力进一步降低，因此优选。如果松弛率为上述的范围内，则能够更有效地降低残留应力。热固定后的树脂膜随后在拉幅机内逐渐冷却，得到双向拉伸膜。
将这些树脂膜层压于金属板的制造方法没有特别限制。优选为将金属板以超过树脂膜的熔点的温度进行加热，使用压接辊使树脂膜与金属板的一面或两面接触，并进行热压接的方法(热压接膜层压法)。在作为挠性器件用基板而使用时，有时通过蚀刻在表面形成ito等透明电极，但金属板可能溶解于蚀刻溶液。因此，优选在金属板两面层压树脂膜。需要说明的是，只要与包覆有本发明的树脂膜的面相反的一面的树脂膜是与金属板密合的树脂膜即可，没有特别限定，优选为热塑性树脂膜。例如可以使用市售的pet膜。
包覆于本发明的膜层压金属板的树脂膜需要保持耐热性，因此，优选仅使与金属板接触的厚度极小的部分熔融并与金属板密合。以下，对具体的层压条件进行说明。层压开始时的温度优选为熔点-20℃以上、且熔点以下，更优选为熔点-15℃以上、且熔点-5℃以下。作为在层压时膜受到的加热过程，优选将利用层压辊对膜加压的时间设为1.0msec以上且10msec以下。层压时的压接辊的加压以面压计优选设为5kgf/cm2以上且15kgf/cm2以下。如果为该范围内，则能够得到密合力和表面平滑度优异的膜层压金属板。更优选设为5kgf/cm2以上且13kgf/cm2以下，进一步优选设为5kgf/cm2以上且12kgf/cm2以下。
另外，优选以不进行加热过程的方式将不与金属板密合的面、即树脂膜的表面侧预先进行冷却。作为冷却树脂膜的表面侧的方法，可以采用利用冷却辊夹持的方法、利用冷却气体冷却表面的方法、利用冷却槽包围层压部周边的方法等，优选为利用冷却辊夹持的方法。另外，冷却辊温度优选设为0℃以上且25℃以下。层压冷却辊温度更优选设为0℃以上且20℃以下，进一步优选设为0℃以上且18℃以下。层压后的金属板优选立即水冷，以便不损害树脂膜的耐热性。从树脂膜压接至水冷的时间优选设为0.1秒钟以上且0.8秒钟以下。如果为该范围内，则能够得到耐热性更优异的膜层压金属板。
作为本发明的金属板，可以使用作为罐用材料而广泛使用的铝板、软钢板等。特别是形成有下层由金属铬构成、上层由铬氢氧化物构成的双层被膜的表面处理钢板(所谓的tfs)等最适合。tfs的金属铬层及铬氢氧化物层的附着量没有特别限定。从加工后密合性、耐腐蚀性的观点考虑，均优选以cr换算，金属铬层设为50mg/m2以上且200mg/m2以下，铬氢氧化物层设为5mg/m2以上且35mg/m2以下。
金属板的厚度优选为0.05mm以上且0.5mm以下。如果为0.05mm以上的厚度，则上述热压接层压法的应用变得容易，如果为0.5mm以下的厚度，则可得到挠性更优异的膜层压金属板。更优选为0.1mm以上且0.3mm以下。
从平滑性、耐热性、挠性及气体阻隔性的观点考虑，本发明的膜层压金属板可以作为挠性器件用基板而适当使用，特别是可以作为有机el器件用途而优选使用。
实施例
以下，通过实施例详细地说明本发明。需要说明的是，特性通过以下所示的方法进行测定、评价。
(1)算术平均高度/十点区域高度
使用siinanotechnology公司制的e-sweep、以及作为悬臂的hitachihigh-techsciences公司制的背面al涂布si悬臂，以dfm模式(表面形状图像)进行测定。测定范围设为10μm×10μm，在室温的大气中进行了测定。对于膜层压金属板的树脂膜，依据iso25178测定随机选取的3个部位，求得算术平均高度、十点区域高度及其平均值。热处理中，将剪切成50mm×50mm尺寸的膜层压金属板的树脂膜表面朝上，在气体氛围温度为100℃的热风烘箱内静置3分钟后，取出并在室温下逐渐冷却。将热处理前的算术平均高度及十点区域高度分别设为sa0、s10z0，将热处理后的算术平均高度及十点区域高度分别设为sa1、s10z1。
(2)光泽度
使用日本电色工业株式会社制的便携式光泽度计(pg-1m)，测定了膜层压金属板的树脂膜表面(角度20°)。在随机选取的方向、部位进行了5次测定，将其平均值作为光泽度。
(3)树脂膜厚度
利用盐酸溶解膜层压金属板的金属板，采集树脂膜。利用设置于mitutoyo公司制的千分表架7001-10的同样由mitutoyo公司制的千分表2110s-10(附带超硬球的测量头)测定了采集到的树脂膜的厚度。对随机选取的10个部位进行测定，并将其平均值作为树脂膜的厚度。
(4)树脂膜的热特性(熔点、玻璃化转变温度)
将膜层压金属板剪切成样品尺寸10mm×10mm后，浸渍于盐酸中，仅溶解金属板，将树脂膜分离。将分离后的树脂膜5mg作为试样，并采集至铝制盘中，使用tainstrument公司制的差示扫描量热仪(dscq100)进行测定。首先，在氮气氛围下冷却至-50℃，然后，以20℃/分升温至290℃(1strun)。根据1strun测定中得到的图表求得熔化焓为5j/g以上的熔化峰的峰值温度。将同样的测定分别进行3次，将其平均值作为熔点。在上述测定中，升温至290℃后，保持5分钟，利用液氮进行骤冷。然后，再次以20℃/分从-50℃升温至290℃(2ndrun)。根据2ndrun测定中得到的图表求得玻璃化转变温度。将同样的测定分别进行3次，将其平均值作为玻璃化转变温度。
(5)有机el器件用基板适应性
将膜层压金属板用作基板，在树脂膜的表面上依次真空蒸镀阳极(铝/金电极)、空穴传输层、发光层兼电子传输层、以及半透明阴极(银电极)。需要说明的是，以发光面积为2mm×2mm的方式设置金属掩模。下面说明具体的有机el器件制作方法。首先，用有机溶剂清洗基板。然后，将基板安装于真空蒸镀机内并减压至0.001pa以下。接着，蒸镀铝及金作为阳极，以覆盖阳极的方式以蒸镀速度6nm/min且膜厚50nm形成了α-npd(n,n’-二苯基-n,n’-二(α-萘基)-联苯胺)作为空穴传输层。在该空穴传输层上，以蒸镀速度6nm/min且膜厚50nm形成了alq3(三(8-羟基喹啉)铝)作为发光层兼电子传输层。最后，以成为半透明电极的方式蒸镀银而形成了阴极。对这样制作的有机el器件实施密封，以100℃进行了3分钟热处理。以施加电压15v对冷却至室温的有机el器件进行通电，确认了有机el发光。通过下述判断基准评价了有机el器件用基板适应性。
a(优)：没有缺陷，整个面发光
b(良好)：局部产生暗点，但也发光
c(不佳)：发光后立即短路或不发光
(6)有机el器件的发光外观(暗点数)
与以上同样地制作有机el器件，确认了以施加电压10v通电时的有机el发光。对器件内的暗点数进行计数，根据下述判断基准评价了有机el器件的发光外观。
a(优)：暗点个数为0个
b(良好)：暗点个数为1～100个
c(不佳)：暗点个数为101个以上或不发光
(实施例1)
作为树脂膜的原料树脂，准备了作为聚酯树脂的pet的粒料，在真空高温下充分干燥，以使其不包含水分。将其投入单螺杆挤出机，以280℃进行熔融混炼。接着，经由25μm切口的烧结过滤器进行异物除去后，从t模头排出，在将表面温度控制成25℃的浇铸滚筒上进行冷却固化，得到了无拉伸膜。接着，使用加热后的陶瓷辊，以树脂膜温度达到100℃的方式进行预热，沿树脂膜的纵向进行了3.8倍拉伸。然后，利用夹头夹持端部而导入拉幅式拉伸机，以120℃沿横向拉伸至4.5倍。在该状态下，一边以165℃进行热固定一边在横向上实施1.0％的松弛。然后，逐渐冷却至室温，利用卷取机卷取除去了端部的树脂膜，得到了厚度30μm的双向拉伸膜。接着，将得到的双向拉伸膜层压于金属板。作为金属板，使用厚度0.22mm的tfs(金属cr层：120mg/m2，cr氧化物层：以金属cr换算为10mg/m2)，利用热压接膜层压法在金属板的两面包覆了上述树脂膜。在金属板的一个表面层压了上述得到的双向拉伸膜，在另一表面层压了toray公司制的pet膜(lumirrors10：20μm)。具体的层压条件设为：即将层压前的金属板温度239℃、层压冷却辊温度0℃、层压加压面压5kgf/cm2。需要说明的是，对于层压时的温度而言，利用辐射温度计测定了层压前的温度(距夹持位置100mm的位置)。然后，通过在从热压接经过0.8秒钟后进行水冷，得到了在金属板的两面包覆有树脂膜的膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例2)
将聚酯树脂设为pen、将纵向拉伸中的拉伸温度设为140℃、将横向拉伸中的拉伸温度设为150℃、将热固定温度设为190℃、并将即将层压前的金属板温度设为250℃，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例3)
将层压冷却辊温度设为25℃，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例4)
将层压冷却辊温度设为20℃，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例5)
将沿纵向对无拉伸膜进行拉伸时的树脂膜温度设为90℃，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例6)
将沿纵向对无拉伸膜进行拉伸时的树脂膜温度设为85℃，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例7)
将层压加压面压设为15kgf/cm2，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例8)
将层压加压面压设为13kgf/cm2，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例9)
控制熔融树脂的排出量，制成厚度10μm的双向拉伸膜，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(实施例10)
控制熔融树脂的排出量，制成厚度50μm的双向拉伸膜，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(比较例1)
将层压加压面压设为16kgf/cm2，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(比较例2)
未冷却层压辊而将温度设为30℃，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
(比较例3)
在从热压接经过1.0秒钟后进行水冷，除此以外，与实施例1相同地得到了膜层压金属板。将得到的膜层压金属板的物性示于以下的表1。
〔评价〕
将实施例1～10及比较例1～3的有机el器件用基板适应性的评价结果一并示于以下的表1。如表1所示，在比较例1～3中，有机el器件用基板适应性和/或有机el器件发光外观为c(不佳)评价。与此相对，在实施例1～10中，有机el器件用基板适应性及有机el器件发光外观为b(良好)评价以上。由此可以确认，根据本发明，能够提供满足挠性器件用基板所需要的平滑性、耐热性的膜层压金属板。另外，本发明的膜层压金属板具备挠性、气体阻隔性，且环境负担低、生产性也优异等，作为挠性器件用基板具有优异的特性。
工业实用性
根据本发明，可以提供不仅满足作为挠性器件用基板所需要的平滑性、耐热性、挠性及气体阻隔性，而且环境负担低、生产性也优异的膜层压金属板、挠性器件用基板、以及有机el器件用基板。