气过滤器22,对排出的空气进行净化从而完成排气处理。
[0100] 所述控制部23是进行灭菌处理装置1整体的控制的控制装置，例如以微型计算机 为主要部分而构成。该控制部23附设于例如灭菌处理装置1的控制盘（未图示）。
[0101] 如图1所示，灭菌剂供给系6的灭菌剂注入部8和灭菌剂注入电磁阀9 ;灭菌处理 系10的高频发生部13和压力测定部14 ;灭菌处理系10的高频发生部13和压力测定部14 ; 以及吸排气配管系15的外气导入电磁阀18、排气泵20和排气电磁阀21均对所述控制部 23可接受信号地连接，其工作被来自该控制部23的控制信号控制。需要说明的是，电磁阀 9、18和21均可以由现有公知的所谓电磁控制阀构成。
[0102] 接着，对所述灭菌处理装置1的控制部23的详细内容进行说明。图2是表示图1 的灭菌处理装置1的控制部23的详细构成的构成框图。需要说明的是，在以下的说明中， 同时记载有在后述的图5~图8及图13~图16中表示的符号（P101等、TlOl等），通过参 照这些附图，能够更容易地加深理解。
[0103] 如图2所示，本实施方式的灭菌处理装置1的控制部23具备：判断残存水的有无 的判断部25、实测减压到规定的第1压力PlOl时的所需时间TlOl的时间测定部26、记录 作为减压到所述第1压力PlOl时的应作为基准的所需时间的标准所需时间TlOla以及作 为减压到所述第1压力PlOl实际上所需时间的实测所需时间TlOl的时间存储部27、对减 压到所述第1压力PlOl时的实测所需时间TlOl与保存于时间存储部27的减压到第1压 力PlOl时的标准所需时间TlOla进行比较的时间比较部28。以上的构成部分25~28均 对演算部24可接受信号地连接。
[0104] 所述标准所需时间TlOla如后所述，是减压到第1压力PlOl时的应作为基准的所 需时间，该"标准所需时间"相当于在灭菌处理对象物2中残留水为"无"时的减压工序IOla 中，向第1压力PlOl的减压所需时间。
[0105] 另外，所述控制部23具备：计算第2压力P102的变化对所述时间存储部27产生 差异的时间的时间差计算部29、测定从第1压力PlOl增加的实测压力的增加率的压力增加 率测定部30、记录标准压力增加率Rpl 14a和实测压力增加率Rpl 14的增加率存储部31、计 算每单位时间的压力增加的压力增加率计算部32、和对标准压力增加率RplHa与实测压 力增加率RplH进行比较的压力增加率比较部33。这些构成部分29~33也对演算部24 可接受信号地连接。
[0106] 所述标准压力增加率RplHa如后述所述，是压力从第1压力PlOl增加时的应作 为基准的增加率，该"标准压力增加率"相当于在灭菌处理对象物2中残留水为"无"时的 从第1压力PlOl开始的增压工序中的压力增加率。
[0107] 对具备以上那样的构成的灭菌处理装置1的工作及控制进行说明。
[0108] 图3(图3A~3C)是用于说明本实施方式的第1实施例的灭菌处理装置的工作的 流程图。如图3A所示，灭菌处理系统的工作开始时，首先，在步骤#1中，在容器11的内箱 12内容纳灭菌处理对象物2,然后，利用排气泵20将容器11内减压（步骤#2)，持续判断容 器11内的压力是否减压到作为水的三相点以上的压力的第1压力PlOl (步骤#3)。
[0109] 此时，利用所述压力测定部14计测容器11内的压力，该计测值被发送至控制部 23,基于来自控制部23内的演算部24的输出信号，排气泵20及排气电磁阀21以减压到 作为减压目标压力的第1压力PlOl的方式被控制。然后，若容器11内减压到第1压力 PlOl (步骤#3 :YES)，则将控制容器11内的压力持续一定时间保持在第1压力PlOl (步骤 #4) 〇
[0110] 另外，此时，利用时间测定部26,测定从减压开始到减压到第1压力PlOl实际上所 需的实测所需时间T101，由该时间测定部26测定的实测所需时间TlOl保存在时间存储部 27内，然后，暂时停止排气泵20,并且关闭排气电磁阀21。然后，如上所述在步骤#4中，通 过驱动排气泵20来调整排气电磁阀21的开闭，将容器11内的压力持续规定时间T102保 持在第1压力PlOl。
[0111] 待经过该规定时间T102,在步骤#5中，对记录于所述存储部27的标准所需时间 TlOla与实测所需时间TlOl进行比较。如上所述，标准所需时间TlOla是指将容器11内减 压到所述第1压力PlOl所需的应作为基准的时间，相当于在灭菌处理对象物2中残留水为 "无"时的减压工序IOla中向第1压力PlOl的减压所需时间。另外，实测所需时间TlOl是 指减压到所述第1压力PlOl实际上所需时间。
[0112] 为了利用时间比较部28对实测所需时间TlOl与标准所需时间TlOla进行比较， 首先根据减压开始时的压力与大气压之差，利用时间差计算部29对实测所需时间TlOl 和标准所需时间TlOla的时间进行修正。以该修正值为基础在判断部25中，判断是否为 TlOl < TIOla，以此为基础判断灭菌处理对象物2中的残留水的有无。
[0113] 然后，当TlOl STIOla、即判断灭菌处理对象物2中的残留水为"无"时（步骤#5 : YES)，在步骤#6中，控制排气泵20和排气电磁阀21而容器11内的压力减压，而且，若容器 11内减压到低于水的三相点的第3压力P103 (步骤#7 :YES)，则按照将容器11内的压力持 续一定时间保持在第3压力的方式进行控制（步骤#8)。待经过该规定时间，向容器11内 注入灭菌剂（步骤#9)。将容器11内在该状态下保持一定时间后，在容器11内等离子体被 点灯（步骤#10)。然后，将容器11内的压力返回减压前的第2压力P102(步骤#11)，从容 器11内取出灭菌处理对象物2 (步骤# 12)，从而灭菌处理结束。
[0114] 另一方面，步骤#5中的判断结果为TlOl > TIOla、即判断灭菌处理对象物2中的 残留水为"有"时（步骤#5 :N0)，在步骤#13中，容器11内的压力回到减压前的第2压力 P102,在步骤#14中，容器11内的压力保持在该第2压力一定时间。然后，重复相当于上述 的步骤#2~步骤#5的步骤#15~步骤#19的工序。
[0115] 然后，在步骤#19中，当T105 < TIOla、即判断灭菌处理对象物2中的残留水为 "无"时，判断上述的工序（步骤#15~步骤#19)的重复次数是否为规定的限制次数以下 (步骤#20)，为限制次数以下时（步骤#20 :YES)，实行上述的步骤#6~步骤#12的工序， 结束灭菌处理。另一方面，在步骤#20中，判断重复次数超过规定的限制次数时（步骤#20 : N0)，在步骤#21中，在装置1的显示部（未图示）实行错误显示，而系统结束。
[0116] 接着，对于本实施方式的第2实施例的灭菌处理装置的工作及控制，边参照图 4(图4A~4C)的流程图边进行说明。
[0117] 如图4A所示，灭菌处理系统的工作开始时，首先，在步骤#31中，在容器11的内箱 12内容纳灭菌处理对象物2,然后，利用排气泵20将容器11内减压（步骤#32)，持续判断 容器11内的压力是否减压到作为水的三相点以上的压力的第1压力PlOl (步骤#33)。
[0118] 此时，利用所述压力测定部14计测容器11内的压力，该计测值被发送至控制部 23,基于来自控制部23内的演算部24的输出信号，排气泵20及排气电磁阀21以减压到 作为减压目标压力的第1压力PlOl的方式被控制。然后，若容器11内减压到第1压力 PlOl (步骤#33 :YES)，则连接于容器11的所有电磁阀9、18及21被关闭（步骤#34)。
[0119] 另外，此时，在压力测定部14继续测定压力并起动时间测定部26,开始规定时间 T102的测定。若容器11内的压力持续一定时间T102保持在第1压力PlOl (步骤#35)， 则在压力增加率测定部30中测定由第1压力PlOl与经过规定时间T102后的压力所导致 的压力差，在压力增加率计算部32中由其测定结果和规定时间T102算出实测压力增加率 Rpll4,该算出值暂时保存在增加率存储部31。在该增加率存储部31，预先保存上述的标准 压力增加率Rpl 14a。
[0120] 接着，在压力增加率比较部33中算出存储于增加率存储部31的所述实测压力增 加率R P114、和同样存储于存储部31的标准压力增加率Rpll4a，基于该算出值，利用判断部 25判断是否实测压力增加率RplH <标准压力增加率RplHa(步骤#36)。如上所述，标准 压力增加率RplHa相当于在灭菌处理对象物2中残留水为"无"时的从第1压力PlOl开 始的增压工序中的压力增加率，因此，通过将实测压力增加率RplH与该标准压力增加率 RplHa进行比较，能够判断灭菌处理对象物2中的残留水的有无。
[0121] 而且，当实测压力增加率RplH <标准压力增加率Rpll4a、即判断灭菌处理对象 物2中的残留水为"无"时（步骤#36 :YES)，在步骤#37中，控制排气泵20和排气电磁阀21 而容器11内的压力减压，而且，若容器11内减压到低于水的三相点的第3压力P103(步骤 #38 :YES)，则按照将容器11内的压力持续一定时间保持在第3压力的方式进行控制（步骤 #39)。待经过该规定时间，向容器11内注入灭菌剂（步骤#40)。将容器11内在该状态下 保持一定时间后，在容器11内等离子体被点灯（步骤#41)。然后，将容器11内的压力返回 减压前的第2压力P102 (步骤#42)，从容器11内取出灭菌处理对象物2 (步骤#43)，从而 灭菌处理结束。
[0122] 另一方面，步骤#36中的判断结果为实测压力增加率RplH >准压力增加率 Rpll4a、即判断灭菌处理对象物2中的残留水为"有"时（步骤#36 :NO)，在步骤#44中，容 器11内的压力回到减压前的第2压力P102,在步骤#45中，容器11内的压力保持在该第2 压力一定时间。然后，重复相当于上述的步骤#32~步骤#36的步骤#46~步骤#50的工 序。
[0123] 然后，在步骤#50中，当实测压力增加率RplH <标准压力增加率Rpll4a、即判断 灭菌处理对象物2中的残留水为"无"时（步骤#50 :YES)，判断上述的工序（步骤#46~步 骤#50)的重复次数是否为规定的限制次数以下（步骤#51)，为限制次数以下时（步骤#51 : YES)，实行上述的步骤#37~步骤#43的工序，结束灭菌处理。另一方面，在步骤#51中，判 断重复次数超过规定的限制次数时（步骤#51 :NO)，在步骤#52中，在装置1的显示部（未 图示）实行错误显示，而系统结束。
[0124] 接着，关于上述的第1实施例（参照图3A~3C)，对于在