1.一种光刻投影物镜控制装置，其特征在于，包括上位机、工控机箱、驱动控制箱、压电驱动器和电容传感器：
所述工控机箱包括主控单板计算机、多路光纤从板和VPX总线背板，主控单板计算机与多路光纤从板插在VPX总线背板上，所述主控单板计算机上设置有光刻投影物镜控制器；
所述驱动控制箱包括高压驱动板和信号采集板，所述高压驱动板与压电驱动器连接，所述信号采集板与电容传感器连接；
所述主控单板计算机与上位机连接；
所述多路光纤从板与所述信号采集板以及高压驱动板连接；
所述光刻投影物镜控制器在接收到物镜功能性调节控制指令后，对所述物镜功能性调节控制指令进行闭环运动控制运算处理并打包后将控制指令发送至多路光纤从板；
所述多路光纤从板将所述控制指令发送至高压驱动板，所述高压驱动板对所述控制指令做出数/模转换之后完成对压电驱动器的驱动控制。
2.根据权利要求1所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，所述光刻投影物镜控制器包括应用层部件、通用层部件、驱动层部件和系统层部件；所述应用层部件包括相互独立的主控单元、同步单元、运算单元、执行单元、调试单元和测试单元；
所述通用层部件包括相互独立的通信单元、存储操作单元和协议处理单元；所述驱动层部件包括相互独立的配置单元、中断控制单元和I/O传输单元；所述系统层部件包括相互独立的对操作系统OS配置单元、入口逻辑和硬件资源申请单元。
3.根据权利要求2所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，
所述光刻投影物镜控制器通过通用层部件的通信单元接收物镜功能性调节控制指令后，将其传递至应用层部件的主控单元；
所述主控单元根据同步单元对任务优先级的配置，将数据传递至运算单元进行闭环运动控制运算处理，运算处理后的数据经过执行单元调用协议处理单元打包后，通过驱动层部件的I/O传输单元发送至多路光纤从板；
所述多路光纤从板将控制指令发送至高压驱动板；
所述高压驱动板对控制指令做出数/模转换之后完成对压电驱动器的驱动控制。
4.根据权利要求2所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，
所述操作系统包括VxWorks或QNX或pSOS或RTLInux或WinCE实时操作系统。
5.如权利要求1所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，所述主控单板计算机和多路光纤从板与所述VPX总线背板之间通过VPX总线连接。
6.如权利要求5所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，所述主控单板计算机和多路光纤从板与所述VPX总线背板之间采用OpenVPX标准进行数据交换。
7.如权利要求1所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，
所述高压驱动板通过高压模拟信号传输链路与压电驱动器连接；
所述信号采集板通过低压模拟信号传输链路与电容传感器连接。
8.如权利要求1所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，
所述主控单板计算机通过工业以太网传输链路与上位机连接；
所述信号采集板通过第一光纤传输链路与多路光纤从板连接；
所述高压驱动板通过第二光纤传输链路与多路光纤从板连接。
9.根据权利要求1所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，所述上位机采用工作站或者PC机。
10.根据权利要求1所述的光刻投影物镜控制装置，其特征在于，所述主控单板计算机的核心芯片是PowerPC。