技术总结
本发明公开了一种光刻投影物镜控制装置。所述光刻投影物镜控制装置包括上位机、工控机箱、驱动控制箱、压电驱动器和电容传感器：所述工控机箱包括主控单板计算机、多路光纤从板和VPX总线背板，所述主控单板计算机上设置有光刻投影物镜控制器；所述驱动控制箱包括高压驱动板和信号采集板；所述光刻投影物镜控制器在接收到物镜功能性调节控制指令后，对所述物镜功能性调节控制指令进行闭环运动控制运算处理并打包后将控制指令发送至多路光纤从板；所述多路光纤从板将所述控制指令发送至高压驱动板，所述高压驱动板对所述控制指令做出数/模转换之后完成对压电驱动器的驱动控制。本发明提供的光刻投影物镜控制装置能对个功能性调节机构进行集中控制。
技术研发人员：郭嘉亮;李佩玥;葛川;李朋志;隋永新;杨怀江;
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
技术研发日：2016.12.10
技术公布日：2018.06.29