一种供液系统的制作方法

本发明涉及液晶面板制作领域，特别是涉及一种供液系统。

背景技术：

在信息社会的当代，作为可视信息传输媒介的显示器的重要性在进一步加强，为了在未来占据主导地位，显示器正朝着更轻、更薄、更低能耗、更低成本以及更好图像质量的趋势发展。

液晶面板行业，显影液的显影温度对产品的特性规格至关重要，因此需要精确控制其制程温度。现有供液室中加热丝为横向排布，导致没有加热丝的供液室上部显影液的温度偏低。目前设计最主要的问题在于，设备在没有清洗玻璃基板状态下显影液的液位较高，当制程开始清洗玻璃基板时，供液室中显影液的液位会因显影液被打至清洗玻璃基板的清洗室内而下降，而加热丝的高度不能超过下降后的液位，否则会使加热丝干烧而损坏，从而导供液室内上下部药液存在温差。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种改进的供液系统。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种供液系统，包括：供液室、供液管、补液室以及回流管；

供液室，用于储存清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第一温度的第一温控组件；

供液管，用于连通供液室和清洗室，以使供液室通过该供液管向清洗室输送清洗液；

补液室，用于储存预加热的清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第二温度的第二温控组件；该补液室通过传输通道与供液室连通，所述传输通道内设置有第一开关，所述第一开关用于控制该补液室向供液室输送具有第二温度的清洗液，其中，第一温度与第二温度相当；

回流管，用于连通补液室和清洗室，以使清洗室通过该回流管向补液室回流清洗液。

在一些实施例中，所述供液系统包括一箱体，所述箱体内设置有一分隔板，以将所述箱体分隔成所述供液室和所述补液室，所述传输通道设置在所述分隔板上。

在一些实施例中，所述供液箱内设置有第一液位控制组件，以用于控制供液室内清洗液的液位高度。

在一些实施例中，第一液位控制组件包括第一控制器和第一液位检测器；

若第一液位检测器检测到供液室内当前液位低于第一液位，第一控制器则用于控制第一开关开启，以使补液室向供液室输送清洗液，直至第一液位检测器检测到当前液位达到第二液位时，第一控制器用于控制第一开关关闭，以使补液室停止向供液室输送清洗液；其中，第二液位高于第一液位，第一液位高于第一温控组件最高点所在液面的液位。

在一些实施例中，第一开关为单向电磁阀控制开关。

在一些实施例中，所述供液室具有一侧壁，所述侧壁上开设有具有位置高度差的第一开口和第二开口；所述侧壁上设置有循环管，所述循环管的一端通过第一开口与该供液室连通，所述循环管的另一端通过第二开口与该供液室连通；所述循环管内设置有第二开关，所述第二开关用于控制该供液室内的清洗液通过第一开口经循环管后从第二开口输送至供液室，或者控制该供液室内的清洗液通过第二开口经循环管后从第一开口输送至供液室。

在一些实施例中，所述第一温控组件包括加热丝，所述加热丝包括多个弯折单元，所述多个弯折单元沿着所述供液室的底壁横向分布且依次连接。

在一些实施例中，所述补液室内设置有第二液位控制组件，以用于控制当前补液室内清洗液的液位高度。

在一些实施例中，所述补液室上设置有与其腔室连通的排液管，所述排液管上设置有第三开关，第三开关用于控制所述补液室内的清洗液通过所述排液管排出至外界。

在一些实施例中，第二液位控制组件包括第二控制器和第二液位检测器；

若第二液位检测器检测到补液室内当前液位高于第三液位，第二控制器则用于控制第三开关开启，使所述补液室内的清洗液通过所述排液管排出至外界，以保持补液室内清洗液的液位不高于第三液位，直至第二液位检测器检测到当前液位降低到第四液位时，第二控制器用于控制第三开关关闭，以使补液室停止向外界排放清洗液；其中，第三液位高于第四液位，第四液位高于第二温控组件最高点所在液面的液位。

相较于现有的供液系统，本发明提供的供液系统包括：供液室、供液管、补液室以及回流管；供液室，用于储存清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第一温度的第一温控组件；供液管，用于连通供液室和清洗室，以使供液室通过该供液管向清洗室输送清洗液；补液室，用于储存预加热的清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第二温度的第二温控组件；该补液室通过传输通道与供液室连通，所述传输通道内设置有第一开关，所述第一开关用于控制该补液室向供液室输送具有第二温度的清洗液，其中，第一温度与第二温度相当；回流管，用于连通补液室和清洗室，以使清洗室通过该回流管向补液室回流清洗液。该方案保证供液室内清洗液的温度均匀，可精确控制液晶面板制程中清洗液的温度。

附图说明

图1为本发明优选实施例中供液系统的第一种平面结构示意图。

图2为本发明优选实施例中加热丝的结构示意图。

图3为本发明优选实施例中供液系统的第二种平面结构示意图。

图4为本发明优选实施例中供液系统的第三种平面结构示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。

在图中，组件相似的模块是以相同标号表示。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

参阅图1，图1为本发明优选实施例中供液系统的第一种立体组件示意图。如图1所示，本优选实施例的供液系统，用于对清洗室100提供冲洗玻璃基板的清洗液，包括供液室11、供液管12、补液室13以及回流管14，其中：

供液室11用于储存清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第一温度的第一温控组件111。

供液管12用于连通供液室11和清洗室100，以使供液室11通过该供液管12向清洗室100输送清洗液。

补液室13用于储存预加热的清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第二温度的第二温控组件131；该补液室13通过传输通道15与供液室11连通，传输通道15内设置有第一开关151，第一开关151用于控制该补液室13向供液室11输送具有第二温度的清洗液，其中，第一温度与第二温度相当。

实际应用中，该传输通道15的长度可设计为尽可能的短，以确保在补液室13向供液室11输送清洗液的过程中，清洗液的温度不会降低。

回流管14用于连通补液室13和清洗室100，以使清洗室100通过该回流管14向补液室13回流清洗液。

具体地，因回流的清洗液温度会有所下降，本实施例中，将温度下降的清洗液回流至补液室13内，可避免对供液给清洗室100的供液室11内的清洗液温度的影响。

继续参考图1，在一些实施例中，第一温控组件111包括加热丝111，加热丝111包括多个弯折单元1111，该多个弯折单元1111沿着供液室11的底壁112横向分布且依次连接。具体实施过程中，该加热丝111的整体的横向长度l1比纵向长度l2短，以使供液室11内清洗液受热更加均匀，减少上下部温差。

实际应用中，该加热丝111的形状可以有多种，可参考图2，该加热丝111可为图2所示任一结构或者其他未示出的结构。如图所示，该弯折单元1111可以呈倒“v”形、“m”形。此外，该弯折单元1111还可以呈正“v”形、“w”形、或者螺旋状等形状，对此不做具体限定。

此外，该第一温控组件111还可包括温度检测器、以及用于控制加热丝加热的控制器等。

同样地，第二温控组件131包括加热丝131，加热丝131包括多个弯折单元1311，该多个弯折单元1311沿着供液室13的底壁132横向分布且依次连接。

此外，该第一温控组件131还可包括温度检测器、以及用于控制加热丝加热的控制器。

在一些实施例中，为了减少供夜设备所占空间以及保持传输过程中清洗液温度不会降低，可将该传输通道15设计为尽可能短。参考图3，供液系统包括一箱体200，该箱体200内设置有一分隔板210，以将箱体200分隔成供液室11和补液室13，该传输通道15设置在该分隔板210上。

参考图4，以上述图3所示供夜系统为例，该供液箱11内设置有第一液位控制组件113，以用于控制供液室11内清洗液的液位高度。

在一些实施例中，第一液位控制组件113包括第一控制器和第一液位检测器。其中，第一控制器可为plc控制系统，第一液位检测器可为浮力式液位感应器。

继续参考图4，实际应用中，当第一液位检测器检测到供液室内当前液位低于第一液位p1时，第一控制器则控制第一开关151开启，以使补液室13向供液室11输送清洗液，直至第一液位检测器检测到当前液位达到第二液位p2时，第一控制器控制第一开关151关闭，以使补液室13停止向供液室11输送清洗液。其中，第二液位p2高于第一液位p1，第一液位p1高于第一温控组件111最高点q1所在液面的液位。

在一些实施例中，第一开关151为单向电磁阀控制开关。

继续参考图4，在一些实施例中，供液室11具有一侧壁114，该侧壁114上开设有具有位置高度差的第一开口1141和第二开口1142。该侧壁114上设置有循环管115，该循环管115的一端通过第一开口1141与该供液室11连通，该循环管115的另一端通过第二开口1142与该供液室11连通。循环管115内设置有第二开关1151，第二开关1151用于控制该供液室11内的清洗液通过第一开口1141经循环管115后从第二开口1152输送至供液室11，或者控制该供液室11内的清洗液通过第二开口1152经循环管115后从第一开口1151输送至供液室11。

实际应用中，该循环管115的设计可作为供液室11的内循环装置，以使供液室11内清洗液充分流动，避免供液室11内清洗液存有的局部温差。其中，该第二开关1151可以为抽水机(即泵)。

继续参考图4，在一些实施例中，该补液室13内设置有第二液位控制组件133，以用于控制当前补液室13内清洗液的液位高度。

具体地，补液室13上设置有与其腔室连通的排液管16，该排液管16上设置有第三开关161，第三开关161用于控制补液室13内的清洗液通过排液管16排出至外界。实际应用中，该第三开关161可以为电磁阀控制开关。

在一些实施例中，第二液位控制组件133包括第二控制器和第二液位检测器。同样地，第二控制器可为plc控制系统，第二液位检测器可为浮力式液位感应器。

如图4所示，实际应用中，当第二液位检测器检测到补液室11内当前液位高于第三液位p3时，第二控制器则控制第三开关161开启，使补液室13内的清洗液通过排液管16排出至外界，以保持补液室13内清洗液的液位不高于第三液位p3，直至第二液位检测器检测到当前液位降低到第四液位p4时，第二控制器则控制第三开关161关闭，以使补液室13停止向外界排放清洗液。其中，第三液位p3高于第四液位p4，第四液位p2高于第二温控组件131最高点q2所在液面的液位。

实际应用中，第三液位p3可为安全液位，当回流的清洗液过多而导致部液室13内清洗液的液位高于安全液位时，补液室13内的清洗液则会溢出。因此，当液位高于第三液位p3时，第二控制器可控制第三开关161开启，使补液室13内的清洗液通过排液管16排出至外界。

如图4所示，本发明实施例中，厂务供液管17设计为与补液室13连通，使厂务供液管17直接供液给补液室13，以避免直接影响供液室11内清洗液的温度，从而避免因清洗液温度变化影响清洗室100内正在清洗的玻璃基板的特性规格。

由上可知，本发明实施例提供的供液系统，包括供液室、供液管、补液室以及回流管；供液室，用于储存清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第一温度的第一温控组件；供液管，用于连通供液室和清洗室，以使供液室通过该供液管向清洗室输送清洗液；补液室，用于储存预加热的清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第二温度的第二温控组件；该补液室通过传输通道与供液室连通，所述传输通道内设置有第一开关，所述第一开关用于控制该补液室向供液室输送具有第二温度的清洗液，其中，第一温度与第二温度相当；回流管，用于连通补液室和清洗室，以使清洗室通过该回流管向补液室回流清洗液。该方案保证供液室内清洗液的温度均匀，可精确控制液晶面板制程中清洗液的温度，提升产品良率。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。