技术特征：
技术总结
本发明提供了一种供液系统。该供液系统包括：供液室，用于储存清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第一温度的第一温控组件；供液管，用于连通供液室和清洗室，以使供液室通过该供液管向清洗室输送清洗液；补液室，用于储存预加热的清洗液，其内设置有用于控制清洗液稳定在第二温度的第二温控组件；该补液室通过传输通道与供液室连通，所述传输通道内设置有第一开关，所述第一开关用于控制该补液室向供液室输送具有第二温度的清洗液，其中，第一温度与第二温度相当；回流管，用于连通补液室和清洗室，以使清洗室通过该回流管向补液室回流清洗液。该方案保证供液室内清洗液的温度均匀，可精确控制液晶面板制程中清洗液的温度。
技术研发人员：魏德萌;王浩
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.04.24
技术公布日：2017.07.14