光控制设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种光控制设备。
【背景技术】
[0002]在下述专利文献I中记载有应用于光调制器等的光波导元件。该文献所记载的光波导元件具有:多个光波导部分，在基板上彼此靠近且平行地配置；以及多个调制用电极，用于对该光波导部分各自施加基于独立的调制信号(控制信号)的电场。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2009-53444号公报
[0006]专利文献2:日本特开2010-237593号公报
【发明内容】
[0007]发明所要解决的课题
[0008]在具有在基板上彼此靠近且平行地配置的多个光波导部分以及用于对该光波导部分各自施加独立的调制信号的多个调制用电极的光调制器等光控制设备中，由于多个光波导部分彼此靠近，因此多个调制用电极中的对该多个光波导部分施加电场的部分(作用电极部)间的分隔距离变短。因此，多个调制用电极中的各作用电极部间的串扰(在一个作用电极部内传递的调制信号的一部分转移到在另一个作用电极部内传递的调制信号的现象)成为问题。
[0009]在上述专利文献I所记载的光波导元件中，通过在基板的主面中的各作用电极部间的区域形成槽，从而抑制多个调制用电极中的各作用电极部间的串扰。
[0010]通常，在设置有多个调制用电极的光控制设备中，各调制用电极具有如上所述的作用电极部以及使从外部输入的调制信号传递到作用电极部的输入侧信号电极。并且，通常容易使多个调制用电极中的各输入侧信号电极间的距离比各作用电极部间的分隔距离大。因此，在本领域技术人员之间认识到各调制用电极间的串扰(在某调制用电极内传递的调制信号的一部分转移到在其他调制用电极内传递的调制信号的现象)是在分隔距离短的各作用电极部间产生的现象。并且，提出了例如上述专利文献I所记载的方法那样的抑制各作用电极部间的串扰的各种方法。
[0011]但是，本发明人发现，各调制用电极间的串扰有时在比各作用电极部间的分隔距离分隔得更大的各输入侧信号电极间中也可能成为问题。在上述专利文献I中，对于在各输入侧信号电极间产生串扰的情况(各输入侧信号电极间的串扰即在某输入侧信号电极内传递的调制信号的一部分转移到在其他输入侧信号电极内传递的调制信号的现象)以及抑制各输入侧信号电极间的串扰的方法没有任何记载。在上述专利文献2中虽然公开了抑制具有配线折回的弯曲部的输入侧信号电极间的串扰的方法，但是在该方法中，需要使在光调制器中使用的基板的厚度极薄到30 μπι?100 μπι。
[0012]另外，在具有多个控制信号电极的集成型光控制设备的情况下，通常在输入侧信号电极包括信号延迟电路或阻抗转换电路。在这种设备中，需要使各输入侧信号电极的长度变长，而且各输入侧信号电极包含弯曲部、曲折部、信号电极宽度的变更部、信号电极-接地电极间隔的变更部等结构变更部的情况较多。因此，本发明人发现，在这种设备中，由于控制信号(调制信号)的传播不稳定，因此特别容易引起各输入侧信号电极间的控制信号的串扰。
[0013]本发明鉴于这种课题而完成，其目的在于，提供一种具有多个调制用电极的光控制设备，不需要使基板的厚度变薄就能够抑制各调制用电极的各输入侧信号电极间的串扰。
[0014]用于解决课题的技术方案
[0015]为了解决上述课题，本发明的一方式的光控制设备，具有:基板；第一光波导及第二光波导，设置于基板并沿该基板的主面延伸；第一控制用信号电极，为了根据从外部供给的第一电信号使在第一光波导内传播的光的折射率变化而设置在基板的主面上，第一控制用信号电极具有第一作用电极部以及第一输入侧信号电极，第一作用电极部以能够对第一光波导施加电场的方式沿该第一光波导延伸，第一输入侧信号电极以将第一电信号传递到第一作用电极部的方式沿基板的主面延伸；第二控制用信号电极，为了根据从外部供给的第二电信号使在第二光波导内传播的光的折射率变化而设置在基板的主面上，第二控制用信号电极具有第二作用电极部以及第二输入侧信号电极，第二作用电极部以能够对第二光波导施加电场的方式沿该第二光波导延伸，第二输入侧信号电极以将第二电信号传递到第二作用电极部的方式沿基板的主面延伸；信号电极间接地电极，以在俯视视角中在第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极之间位于与第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在基板的主面上；第一接地电极，以在俯视视角中在隔着第一输入侧信号电极与信号电极间接地电极侧相反的一侧位于与该第一输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在基板的主面上；以及第二接地电极，以在俯视视角中在隔着第二输入侧信号电极与信号电极间接地电极侧相反的一侧位于与该第二输入侧信号电极分隔的位置的方式，设置在基板的所述主面上，基板具有在俯视视角中设置在第一输入侧信号电极与信号电极间接地电极之间的第一槽部、设置在第一输入侧信号电极与第一接地电极之间的第二槽部、设置在第二输入侧信号电极与信号电极间接地电极之间的第三槽部以及设置在第二输入侧信号电极与第二接地电极之间的第四槽部。
[0016]在本发明的一方式的光控制设备中，由于基板具有第一槽部和第二槽部，因此与基板不具有这些槽部的情况相比，能够缩小第一接地电极的一端与信号电极间接地电极的一端的沿着第一方向的分隔距离。在该分隔距离较小的情况下，还能够缩小第一输入侧信号电极与第一接地电极、信号电极间接地电极间的分隔距离。由此，由于能够减少第一输入侧信号电极与第一接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散，因此能够使从第一输入侧信号电极朝向第一接地电极和信号电极间接地电极的电力线更有效地终止。即，即使第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极间的分隔距离不大，由于基板具有第一槽部和第二槽部，从而也更有效地终止从第一输入侧信号电极产生的电力线，因此即使不使基板的厚度变薄，也能够减少在第一输入侧信号电极内传递的控制信号对在第二输入侧信号电极内传递的控制信号产生串扰的情况。
[0017]同样地，由于基板具有第三槽部和第四槽部，因此与基板不具有这些槽部的情况相比，能够缩小第二接地电极的一端与信号电极间接地电极的一端的沿着第一方向的分隔距离。在该分隔距离较小的情况下，还能够缩小第二输入侧信号电极与第二接地电极、信号电极间接地电极间的分隔距离。由此，由于能够减少第二输入侧信号电极与第二接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散，因此能够使从第二输入侧信号电极朝向第二接地电极和信号电极间接地电极的电力线更有效地终止。即，即使第一输入侧信号电极与第二输入侧信号电极间的分隔距离不大，由于基板具有第三槽部和第四槽部，从而也更有效地终止从第二输入侧信号电极产生的电力线，因此即使不使基板的厚度变薄，也能够减少在第二输入侧信号电极内传递的控制信号对在第一输入侧信号电极内传递的控制信号产生串扰的情况。其结果是，根据本发明的一方式的光控制设备，能够抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0018]进而，在本发明的一方式的光控制设备中，也可以是，所述第一槽部、所述第二槽部、所述第三槽部以及所述第四槽部的深度为2 μπι以上。由此，特别是能够抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0019]进而，在本发明的一方式的光控制设备中，可以是，信号电极间接地电极具有主体部、设置成比该主体部靠所述第一槽部侧且比该主体部薄的第一薄壁部和/或设置成比该主体部靠第三槽部侧且比该主体部薄的第二薄壁部，和/或，第一接地电极具有主体部以及设置成比该主体部靠所述第二槽部侧且比该主体部薄的薄壁部，和/或，第二接地电极具有主体部以及设置成比该主体部靠所述第四槽部侧且比该主体部薄的薄壁部。
[0020]此时，信号电极间接地电极在主体部与第一薄壁部之间具有台阶差，和/或，第一接地电极在主体部与薄壁部之间具有台阶差，因此信号电极间接地电极和/或第一接地电极的与第一输入侧信号电极相对的表面积增加。由此，从第一输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极和/或第一接地电极处终止，因此能够抑制该电力线到达第二输入侧信号电极的情况。同样地，信号电极间接地电极在主体部与第二薄壁部之间具有台阶差，和/或，第二接地电极在主体部与薄壁部之间具有台阶差，因此信号电极间接地电极和/或第二接地电极的与第二输入侧信号电极相对的表面积增加。由此，从第二输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极和/或第二接地电极处终止，因此抑制该电力线到达第一输入侧信号电极的情况。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0021]进而，在本发明的一方式的光控制设备中，可以是，第一控制用信号电极具有主体部、设置成比该主体部靠第一槽部侧且比该主体部薄的第一薄壁部和/或设置成比该主体部靠第二槽部侧且比该主体部薄的第二薄壁部，和/或，第二控制用信号电极具有主体部、设置成比该主体部靠第三槽部侧且比该主体部薄的第一薄壁部和/或设置成比该主体部靠第四槽部侧且比该主体部薄的第二薄壁部。
[0022]此时，在从外部对第一控制用信号电极的第一输入侧信号电极施加了第一电信号时，电场集中在厚度薄的第一薄壁部和/或第二薄壁部，因此电力线主要从该第一薄壁部和/或第二薄壁部放射。并且，第一输入侧信号电极的第一薄壁部和/或第二薄壁部从比主体部更靠近基板的较低的位置发出电力线，因此抑制从它们放射的电力线经由基板的主面的上方而到达第二输入侧信号电极的情况。同样地，在从外部对第二控制用信号电极的第二输入侧信号电极施加了第二电信号时，由于电场集中在厚度薄的第一薄壁部和/或第二薄壁部，因此电力线主要从该第一薄壁部和/或第二薄壁部放射。并且，第二输入侧信号电极的第一薄壁部和/或第二薄壁部从比主体部更靠近基板的较低的位置发出电力线，因此抑制从它们放射的电力线经由基板的主面的上方而到达第一输入侧信号电极的情况。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0023]进而，在本发明的一方式的光控制设备中，可以是，信号电极间接地电极、第一接地电极以及第二接地电极中的至少一个具有贯通孔。由此，信号电极间接地电极、第一接地电极以及第二接地电极的至少一个表面积增加，因此从第一输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极和第一接地电极处终止，从第二输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极和第二接地电极处终止。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0024]进而，本发明的一方式的光控制设备还能够包括设置在第一槽部内并与信号电极间接地电极电连接的第一槽部内接地电极；和/或设置在第二槽部内并与第一接地电极电连接的第二槽部内接地电极；和/或设置在第三槽部内并与信号电极间接地电极电连接的第三槽部内接地电极；和/或设置在第四槽部内并与第二接地电极电连接的第四槽部内接地电极。
[0025]此时，从第一输入侧信号电极放射的电力线的一部分在第一槽部内接地电极和/或第二槽部内接地电极处终止，和/或，从第二输入侧信号电极放射的电力线的一部分在第三槽部内接地电极和/或第四槽部内接地电极处终止。其结果是，从第一输入侧信号电极放射的电力线和从第二输入侧信号电极放射的电力线容易在更近的地方终止，因此能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0026]进而，在本发明的一方式的光控制设备中，可以是，第一槽部内接地电极、第二槽部内接地电极、第三槽部内接地电极以及第四槽部内接地电极中的至少一个具有贯通孔。由此，第一槽部内接地电极、第二槽部内接地电极、第三槽部内接地电极以及第四槽部内接地电极的表面积增加，因此从第一输入侧信号电极放射的电力线更容易在第一槽部内接地电极和第二槽部内接地电极处终止，并且从第二输入侧信号电极放射的电力线更容易在第三槽部内接地电极和第四槽部内接地电极处终止。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0027]另外，在本发明的一方式的光控制设备中，可以是，信号电极间接地电极、第一接地电极以及第二接地电极分别具有凹部。由此，信号电极间接地电极、第一接地电极以及第二接地电极的表面积增加，因此从第一输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极和第一接地电极处终止，从第二输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极和第二接地电极处终止。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0028]进而，在本发明的一方式的光控制设备中，可以是，第一接地电极的一端、第一输入侧信号电极的一端、信号电极间接地电极的一端、第二输入侧信号电极的一端以及所述第二接地电极的一端，按照该顺序沿第一方向排列配置，该第一方向沿着基板的主面，当将第一输入侧信号电极的所述一端与第二输入侧信号电极的所述一端的沿着第一方向的分隔距离设为D，将第一接地电极的所述一端与信号电极间接地电极的所述一端的沿着所述第一方向的分隔距离或第二接地电极的所述一端与信号电极间接地电极的所述一端的沿着所述第一方向的分隔距离设为K时，D/Κ的值为3.0以下。显然，D的值越大，则越有利于串扰的防止，但是本发明人发现如下情况:在K的值较大的情况下串扰特性容易恶化；以及，在D/Κ的值作为串扰特性的判别式有效而D/Κ的值满足该条件的以往的光控制设备中，特别容易产生与第一输入侧信号电极相当的要素和与第二输入侧信号电极相当的要素间的串扰。因此，通过在D/Κ的值满足该条件的光控制设备中应用本发明的一方式，从而能够特别有效地发挥本发明的一方式的上述效果。
[0029]发明效果
[0030]根据本发明，提供一种光控制设备，其具有多个调制用电极，且能够抑制各调制用电极的各输入侧信号电极间的串扰。
【附图说明】
[0031]图1是示出第一实施方式的光控制设备的结构的俯视图。
[0032]图2是示出图1所示的光控制设备的第一控制用信号电极的第一输入侧信号电极和第二控制用信号电极的第一输入侧信号电极的一端附近的结构的俯视图。
[0033]图3是沿着图2的II1-1II线的光控