彼此相同，也可以彼此不同。贯通孔110?、120?、130?、130?可以离散地分布，也可以沿着第一输入侧信号电极53或第二输入侧信号电极73的延伸方向以预定的周期形成。相比于离散地配置贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP，或者设置俯视时的形状彼此不同的贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP，将俯视时彼此形状相同的贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP沿着第一输入侧信号电极355或第二输入侧信号电极375的延伸方向周期性地配置的话，可以减小第一控制用信号电极5和第二控制用信号电极7的特性仿真的规模，因此容易设计，并且容易防止由意料之外的阻抗的不连续而引起的传播信号的损失等。
[0123]另外，在贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP沿着第一输入侧信号电极355或第二输入侧信号电极375的延伸方向而周期性地配置时，其结构作为与特定的频率对应的带通滤波器电路来发挥作用。因此，存在如下可能性:特定的频率信号在该带通滤波器电路中结合，在第一控制用信号电极5和第二控制用信号电极7内传播的调制信号劣化。关于该调制信号的劣化，能够通过使设置贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP的周期成为调制信号的主要频率分量的波长(带通滤波器电路中的该频率分量的波长)的1/4以下来避免。
[0124]在本实施方式中，贯通孔IlCP和贯通孔13CP在俯视视角中相对于第一输入侧信号电极355的延伸方向呈大致对称地配置，但是它们也可以在俯视视角中相对于第一输入侧信号电极355的延伸方向呈非对称地配置。另外，贯通孔12CP和贯通孔13DP在俯视视角中相对于第二输入侧信号电极375的延伸方向呈大致对称地配置，但是它们也可以在俯视视角中相对于第二输入侧信号电极375的延伸方向呈非对称地配置。
[0125]在控制用信号电极为两个时，在与该两个控制用信号电极相比形成在靠信号电极间接地电极413侧的贯通孔13CP和13DP与形成在靠第一接地电极411和第二接地电极412侧的贯通孔IlCP和12CP中，针对串扰的抑制效果所起到的作用的比例不同。为了便于设计，贯通孔IlCP和贯通孔13CP能够在俯视视角中相对于第一输入侧信号电极355的延伸方向呈对称地配置，贯通孔12CP和贯通孔13DP能够在俯视视角中相对于第二输入侧信号电极375的延伸方向呈对称地配置，使得特性分析计算的规模较小即可实现。这种对称的配置在基板的应力/形变的分散的方面也是优选的。
[0126]另外，也可以代替薄壁部IlC而使主体部IlM具有与贯通孔IlCP同样的一个或多个贯通孔。也可以代替第一薄壁部13C而使主体部13M具有与贯通孔13CP相同的一个或多个贯通孔。也可以代替第二薄壁部13D而使主体部13M具有与贯通孔13DP相同的一个或多个贯通孔。也可以代替薄壁部12C而使主体部12M具有与贯通孔12CP相同的一个或多个贯通孔。
[0127]根据如上所述的本实施方式的光控制设备，与第一?第三实施方式的光控制设备100同样地，通过降低第一输入侧信号电极355与第一接地电极411之间、第一输入侧信号电极355与信号电极间接地电极413之间的电力线的扩散的效果以及降低第二输入侧信号电极375与第二接地电极412之间、第二输入侧信号电极375与信号电极间接地电极413之间的电力线的扩散的效果，能够抑制第一输入侧信号电极355和第二输入侧信号电极375间的串扰。
[0128]在如上所述的本实施方式的光控制设备中，信号电极间接地电极413、第一接地电极411以及第二接地电极412分别具有贯通孔。由此，信号电极间接地电极413、第一接地电极411以及第二接地电极412的表面积增加，因此从第一输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极413和第一接地电极411终止，从第二输入侧信号电极放射的电力线容易在信号电极间接地电极413和第二接地电极412终止。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极间的串扰。
[0129]在第四实施方式中与槽部的形成并用的、将第一输入侧信号电极和第二输入侧信号电极多层化的技术方案，即使单独使用也对串扰的减少有效。在第二实施方式和第三实施方式中，主要通过增加各电极的与相邻的电极相对的表面积而获得抑制第一输入侧信号电极与第一接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散以及第二输入侧信号电极与第二接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散的效果，与此相对地，在第四实施方式中，通过所谓的边缘效应，抑制第一输入侧信号电极与第一接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散以及第二输入侧信号电极与第二接地电极、信号电极间接地电极间的电力线的扩散的效果较大。
[0130]针对特性阻抗的影响，依赖于薄壁部11C、第一薄壁部13C、薄壁部12C、第二薄壁部13D的厚度以及贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP的大小和设置数量等。通过设计，还能够补偿由薄壁部11C、第一薄壁部13C、薄壁部12C、第二薄壁部13D的导入引起的特性阻抗的降低。根据并用这些方法的第四实施方式的光控制设备，能够同时进行串扰减少的改善和设计自由度的改善，因此能够发挥非常高的协合效果。另外，在本实施方式中，虽然在薄壁部中存在四种贯通孔(即，存在贯通孔11CP、贯通孔13CP、贯通孔13DP以及贯通孔12CP)，但是在本实施方式中，也可以存在这四种贯通孔中的至少一个，还可以选择性地存在多个。
[0131](第五实施方式)
[0132]接着，对本发明的第五实施方式进行说明。图11是示出第五实施方式的第一控制用信号电极的第一输入侧信号电极和第二控制用信号电极的第一输入侧信号电极的一端附近的结构的俯视图，图12是沿着图11的XI1-XII线的光控制设备的端面图。
[0133]第五实施方式的光控制设备与第一实施方式的光控制设备不同点在于，还具有设置在第一槽部Dl内的第一槽部内接地电极21、设置在第二槽部D2内的第二槽部内接地电极22、设置在第三槽部D3内的第三槽部内接地电极23以及设置在第四槽部D4内的第四槽部内接地电极24。
[0134]第一槽部内接地电极21经由第一槽部Dl的侧面与信号电极间接地电极13电连接，第二槽部内接地电极22经由第二槽部D2的侧面与第一接地电极11电连接，第三槽部内接地电极23经由第三槽部D3的侧面与信号电极间接地电极13电连接，第四槽部内接地电极24经由第四槽部D4的侧面与第二接地电极12电连接。
[0135]第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24能够分别具有比第一槽部D1、第二槽部D2、第三槽部D3以及第四槽部D4的深度小的厚度。
[0136]第一槽部内接地电极21和第二槽部内接地电极22分别与第一输入侧信号电极53分隔。第一槽部内接地电极21和第二槽部内接地电极22可以在俯视视角中沿着第一输入侧信号电极53的一部分在第一槽部Dl和第二槽部D2内延伸，也可以沿着第一输入侧信号电极53的整体在第一槽部Dl和第二槽部D2内延伸，还可以沿着第一控制用信号电极5的一部分或全部在第一槽部Dl和第二槽部D2内延伸。
[0137]同样地，第三槽部内接地电极23和第四槽部内接地电极24分别与第二输入侧信号电极73分隔。第三槽部内接地电极23和第四槽部内接地电极24可以在俯视视角中沿着第二输入侧信号电极73的一部分在第三槽部D3和第四槽部D4内延伸，也可以沿着第二输入侧信号电极73的整体在第三槽部D3和第四槽部D4内延伸，还可以沿着第二控制用信号电极7的一部分或全部在第三槽部D3和第四槽部D4内延伸。
[0138]另外，第一槽部内接地电极21具有多个贯通孔21P。第二槽部内接地电极22具有多个贯通孔22P。第三槽部内接地电极23具有多个贯通孔23P。第四槽部内接地电极24具有多个贯通孔24P。贯通孔21P、贯通孔22P、贯通孔23P以及贯通孔24P分别是在厚度方向上贯通第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24的孔。另外，第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24也可以各自仅具有一个贯通孔21P、贯通孔22P、贯通孔23P以及贯通孔24P，或者，也可以是，不是各自具有贯通孔。
[0139]贯通孔21P、贯通孔22P、贯通孔23P以及贯通孔24P的俯视时的形状例如是矩形形状，但是也可以是圆形状、楕圆形状等其他形状。关于这些贯通孔的形状、配置位置、周期性以及对称性等的设计上的注意点与实施方式4中的情况相同。
[0140]根据如上所述的本实施方式的光控制设备，与第一?第四实施方式的光控制设备100同样地，通过降低第一输入侧信号电极53与第一接地电极11之间、第一输入侧信号电极53与信号电极间接地电极13之间的电力线的扩散的效果以及降低第二输入侧信号电极73与第二接地电极12之间、第二输入侧信号电极73与信号电极间接地电极13之间的电力线的扩散的效果，能够抑制第一输入侧信号电极53和第二输入侧信号电极73间的串扰。
[0141]进而，根据如上所述的本实施方式的光控制设备，由于具有第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24，因此从第一输入侧信号电极53放射的电力线的一部分在第一槽部内接地电极21和第二槽部内接地电极22终止，并且从第二输入侧信号电极73放射的电力线的一部分在第三槽部内接地电极23和第四槽部内接地电极24终止。其结果是，容易使从第一输入侧信号电极53放射的电力线和从第二输入侧信号电极73放射的电力线在更近的地方终止，因此能够进一步抑制第一输入侧信号电极53和第二输入侧信号电极73间的串扰。
[0142]进而，根据如上所述的本实施方式的光控制设备，第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24分别具有贯通孔(贯通孔21?、22?、23?、24?)。由此，第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24处的边缘效应提高，因此从第一输入侧信号电极53放射的电力线更容易在第一槽部内接地电极21和第二槽部内接地电极22终止，并且从第二输入侧信号电极73放射的电力线更容易在第三槽部内接地电极23和第四槽部内接地电极24终止。其结果是，能够进一步抑制第一输入侧信号电极53和第二输入侧信号电极73间的串扰。功效和设计上的注意点与实施方式4中的情况相同。
[0143]另外，通过将第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23、第四槽部内接地电极24配置在第一槽部Dl、第二槽部D2、第三槽部D3、第四槽部D4内，稍微提高了制作上的难度，但是第一槽部D1、第二槽部D2、第三槽部D3、第四槽部D4的宽度从与上述分隔距离K1、K2之间的关系的制约中解放出来。因此，根据本实施方式，与实施方式4相比，在结构设计、特性设计的自由度上得到了显著改善。另外，在本实施方式中，在槽部内接地电极中存在四种的贯通孔(即，存在贯通孔22Ρ、贯通孔21Ρ、贯通孔23Ρ以及贯通孔24Ρ)，但是在本实施方式中，只要存在这四种的贯通孔中的至少一个即可，或者，也可以不存在这些贯通孔。另外，在本实施方式中，虽然存在四个槽部内接地电极即第一槽部内接地电极21、第二槽部内接地电极22、第三槽部内接地电极23以及第四槽部内接地电极24，但是在本实施方式中，也可以存在这四个槽部内接地电极中的至少一个，也可以选择性地存在多个。
[0144](第六实施方式)
[0145]接着，对本发明的第六实施方式进行说明。图13是示出第六实施方式的第一控制用信号电极的第一输入侧信号电极和第二控制用信号电极的第一输入侧信号电极的一端附近的结构的俯视图，图14是沿着图13的XIV-XIV线的光控制设备的端面图。
[0146]第六实施方式的光控制设备与第一实施方式的光控制设备的不同点在于第一接地电极、第二接地电极以及信号电极间接地电极的结构。
[0147]具体地讲，本实施方式的第一接地电极611与第一实施方式的第一接地电极
11(参照图2?图4)的不同点在于，具有多个凹部611D。本实施方式的第二接地电极612与第一实施方式的第二接地电极12 (参照图2?图4)的不同点在于，具有多个凹部612D。本实施方式的信号电极间接地电极613与第一实施方式的信号电极间接地电极13 (参照图
2?图4)的不同点在于，具有多个凹部613D1和多个凹部613D2。
[0148]各凹部611D在厚度方向上不贯通第一接地电极611，而在俯视视角中沿着第一接地电极611的第一输入侧信号电极53侧的侧面依次设置。各凹部612D在厚度方向上不贯通第二接地电极612，而在俯视视角中沿着第二接地电极612的第二输入侧信号电极73侧的侧面依次设置。各凹部613D1在厚度方向上不贯通信号电极间接地电极613，而在俯视视角中沿着信号电极间接地电极613的第一输入侧信号电极53侧的侧面依次设置。各凹部613D2在厚度方向上不贯通信号电极间接地电极613，而在俯视视角中沿着信号电极间接地电极613的信号传递部57侧的侧面依次设置。
[0149]另外，第一接地电极611也可以仅具有一个凹部611D。第二接地电极612也可以仅具有一个凹部612D。信号电极间接地电极613也可以仅具有一个凹部613D1。信号电极间接地电极613也可以仅具有一个凹部613D2。
[0150]各凹部611D、凹部612D、凹部613D1以及凹部613D2的俯视时的形状例如是矩形形状，但是也可以是圆形状、楕圆形状等其他形状。关于凹部611D、612D、613D1、613D2的形状、配置以及周期性的设计上的注意点，与第四实施方式的贯通孔11CP、12CP、13CP、13DP(参照图9和图10)的情况相同。
[0151]根据如上所述的本实施方式的光控制设备，与第一?第五实施方式的光控制设备100同样地，通过降低第一输入侧信号电极53与第一接地电极611、信号电极间接地电极61