丙 基、正己基、1-甲基-正戊基、2-甲基-正戊基、3-甲基-正戊基、4-甲基-正戊基、1，1-二 甲基-正下基、1，2-二甲基-正下基、1，3-二甲基-正下基、2, 2-二甲基-正下基、2, 3-二甲 基-正下基、3, 3-二甲基-正下基、1-乙基-正下基、2-乙基-正下基、1，1，2-S甲基-正 丙基、1，2,2-S甲基-正丙基、1-乙基-1-甲基-正丙基、1-乙基-2-甲基-正丙基、环己 基、1-甲基-环戊基、2-甲基-环戊基、3-甲基-环戊基、1-乙基-环下基、2-乙基-环下 基、3-乙基-环下基、1，2-二甲基-环下基、1，3-二甲基-环下基、2, 2-二甲基-环下基、 2, 3-二甲基-环下基、2, 4-二甲基-环下基、3, 3-二甲基-环下基、1-正丙基-环丙基、2-正 丙基-环丙基、1-异丙基-环丙基、2-异丙基-环丙基、1，2, 2-=甲基-环丙基、1，2, 3-= 甲基-环丙基、2, 2, 3-S甲基-环丙基、1-乙基-2-甲基-环丙基、2-乙基-1-甲基-环丙 基、2-乙基-2-甲基-环丙基和2-乙基-3-甲基-环丙基等。
[0042] 作为上述碳原子数2~10的締基，可举出乙締基、1-丙締基、2-丙締基、1-甲 基-1-乙締基、1-下締基、2-下締基、3-下締基、2-甲基-1-丙締基、2-甲基-2-丙締基、 1- 乙基乙締基、1-甲基-1-丙締基、1-甲基-2-丙締基、1-戊締基、2-戊締基、3-戊締基、 4-戊締基、1-正丙基乙締基、1-甲基-1-下締基、1-甲基-2-下締基、1-甲基-3-下締基、 2- 乙基-2-丙締基、2-甲基-1-下締基、2-甲基-2-下締基、2-甲基-3-下締基、3-甲 基-1-下締基、3-甲基-2-下締基、3-甲基-3-下締基、1，1-二甲基-2-丙締基、1-异丙基 乙締基、1，2-二甲基-1-丙締基、1，2-二甲基-2-丙締基、1-环戊締基、2-环戊締基、3-环 戊締基、1-己締基、2-己締基、3-己締基、4-己締基、5-己締基、1-甲基-1-戊締基、1-甲 基-2-戊締基、1-甲基-3-戊締基、1-甲基-4-戊締基、1-正下基乙締基、2-甲基-1-戊締 基、2-甲基-2-戊締基、2-甲基-3-戊締基、2-甲基-4-戊締基、2-正丙基-2-丙締基、3-甲 基-1-戊締基、3-甲基-2-戊締基、3-甲基-3-戊締基、3-甲基-4-戊締基、3-乙基-3-下締 基、4-甲基-1-戊締基、4-甲基-2-戊締基、4-甲基-3-戊締基、4-甲基-4-戊締基、1, 1-二 甲基-2-下締基、1, 1-二甲基-3-下締基、1,2-二甲基-1-下締基、1,2-二甲基-2-下 締基、1，2-二甲基-3-下締基、1-甲基-2-乙基-2-丙締基、1-仲下基乙締基、1，3-二甲 基-1-下締基、1, 3-二甲基-2-下締基、1, 3-二甲基-3-下締基、1-异下基乙締基、2, 2-二 甲基-3-下締基、2, 3-二甲基-1-下締基、2, 3-二甲基-2-下締基、2, 3-二甲基-3-下締 基、2-异丙基-2-丙締基、3, 3-二甲基-1-下締基、1-乙基-1-下締基、1-乙基-2-下締 基、1-乙基-3-下締基、1-正丙基-1-丙締基、1-正丙基-2-丙締基、2-乙基-1-下締基、 2-乙基-2-下締基、2-乙基-3-下締基、1, 1, 2-二甲基-2-丙締基、1-叔下基乙締基、1-甲 基-1-乙基-2-丙締基、1-乙基-2-甲基-1-丙締基、1-乙基-2-甲基-2-丙締基、1-异 丙基-1-丙締基、1-异丙基-2-丙締基、1-甲基-2-环戊締基、1-甲基-3-环戊締基、2-甲 基-1-环戊締基、2-甲基-2-环戊締基、2-甲基-3-环戊締基、2-甲基-4-环戊締基、2-甲 基-5-环戊締基、2-亚甲基-环戊基、3-甲基-1-环戊締基、3-甲基-2-环戊締基、3-甲 基-3-环戊締基、3-甲基-4-环戊締基、3-甲基-5-环戊締基、3-亚甲基-环戊基、1-环己 締基、2-环己締基和3-环己締基等。
[0043] 作为上述碳原子数6~40的芳基，可举出苯基、邻甲基苯基、间甲基苯基、对甲基 苯基、邻氯苯基、间氯苯基、对氯苯基、邻氣苯基、对氣苯基、邻甲氧基苯基、对甲氧基苯基、 对硝基苯基、对氯基苯基、a-糞基、0 -糞基、邻联苯基、间联苯基、对联苯基、1-蔥基、2-蔥 基、9-蔥基、1-菲基、2-菲基、3-菲基、4-菲基和9-菲基等。
[0044] 作为上述杂环基，优选为由包含氮、硫、氧的5~6元环的杂环形成的有机基团，可 举出例如化咯基、巧喃基、嚷吩基、咪挫基、巧恶挫基、嚷挫基、化挫基、异巧!、挫基、异嚷挫基、 化晚基等。 W45] 作为制造本发明的聚合物所使用的醒类，可举出甲醒、低聚甲醒、乙醒、丙醒、下 醒、异下醒、戊醒、己醒（力文口シ六瓜尹tK)、2-甲基下醒、己醒（~丰シ瓜六瓜尹t K)、十一醒、7-甲氧基-3, 7-二甲基辛醒、环己烧醒、3-甲基-2-下醒、乙二醒、丙二醒、下 二醒、戊二醒、己二醒等饱和脂肪族醒类、丙締醒、2-甲基丙締醒等不饱和脂肪族醒类、慷 醒、化晚醒等杂环式醒类、苯甲醒、糞甲醒、蔥甲醒、菲甲醒、水杨醒、苯基乙醒、3-苯基丙醒、 甲苯醒、（N，N-二甲基氨基）苯甲醒、乙酷氧基苯甲醒等芳香族醒类等。可W特别优选使用 芳香族醒。
[0046] 此外，作为本发明的聚合物的制造所使用的酬类，为二芳基酬类，可举出例如二苯 基酬、苯基糞基酬、二糞基酬、苯基甲苯基酬、二甲苯基酬、9-巧酬等。
[0047] 本发明所使用的聚合物为将化咯与醒类或酬类进行缩合而得的酪醒清漆树脂。在 该缩合反应中，可W相对于化咯1当量，W0. 1~10当量的比例使用醒类或酬类。
[0048] 作为上述缩合反应中使用的酸催化剂，可W使用例如硫酸、憐酸、高氯酸等无机酸 类、对甲苯横酸、对甲苯横酸一水合物等有机横酸类、甲酸、草酸等簇酸类。酸催化剂的使用 量根据所使用的酸类的种类进行各种选择。通常，相对于化咯100质量份为0.OOl~10000 质量份，优选为0.Ol~1000质量份，更优选为0. 1~100质量份。
[0049] 上述缩合反应在无溶剂的条件下也可W进行，但通常使用溶剂来进行。作为溶剂， 只要是不阻碍反应的溶剂，都可W使用。可举出例如四氨巧喃、二巧！烧等环状酸类。此外， 如果所使用的酸催化剂为例如甲酸那样的液状的酸催化剂，则也能够兼具作为溶剂的作 用。
[0050] 缩合时的反应溫度通常为40°C~200°C。反应时间根据反应溫度进行各种选择， 通常为30分钟~50小时左右。
[0051] 如上那样获得的聚合物的重均分子量Mw通常为400~1000000、400~200000、 400 ~50000 或 600 ~10000。 阳05引包含式（1)的单元结构的聚合物例如可W例示于W下。
[0053]
[0054] 上述聚合物可W在全部聚合物中W30质量％W内混合其它聚合物来使用。
[0055] 作为运些聚合物，可举出聚丙締酸醋化合物、聚甲基丙締酸醋化合物、聚丙締酷胺 化合物、聚甲基丙締酷胺化合物、聚乙締基化合物、聚苯乙締化合物、聚马来酷亚胺化合物、 聚马来酸酢和聚丙締腊化合物。
[0056] 作为聚丙締酸醋化合物的原料单体，可举出丙締酸甲醋、丙締酸乙醋、丙締酸异丙 醋、丙締酸节醋、丙締酸糞醋、丙締酸蔥醋、丙締酸蔥甲醋、丙締酸苯醋、丙締酸2-径基乙 醋、丙締酸2-径基丙醋、丙締酸2, 2, 2-S氣乙醋、丙締酸4-径基下醋、丙締酸异下醋、丙 締酸叔下醋、丙締酸环己醋、丙締酸异冰片醋、丙締酸2-甲氧基乙醋、甲氧基=甘醇丙締酸 醋、丙締酸2-乙氧基乙醋、丙締酸四氨慷醋、丙締酸3-甲氧基下醋、丙締酸2-甲基-2-金 刚烧醋、丙締酸2-乙基-2-金刚烧醋、丙締酸2-丙基-2-金刚烧醋、丙締酸2-甲氧基下 基-2-金刚烧醋、丙締酸8-甲基-8-S环癸醋、丙締酸8-乙基-8-S环癸醋和5-丙締酷 氧基-6-径基降冰片締-2-簇酸-6-内醋等。
[0057] 作为聚甲基丙締酸醋化合物的原料单体，可举出甲基丙締酸乙醋、甲基丙締酸正 丙醋、甲基丙締酸正戊醋、甲基丙締酸环己醋、甲基丙締酸节醋、甲基丙締酸糞醋、甲基丙締 酸蔥醋、甲基丙締酸蔥甲醋、甲基丙締酸苯醋、甲基丙締酸2-苯基乙醋、甲基丙締酸2-径基 乙醋、甲基丙締酸2-径基丙醋、甲基丙締酸2, 2, 2-S氣乙醋、甲基丙締酸2, 2, 2-S氯乙 醋、丙締酸甲醋（甲基丙締酸甲醋？）、甲基丙締酸异下醋、甲基丙締酸2-乙基己醋、甲基 丙締酸异癸醋、甲基丙締酸正月桂基醋、甲基丙締酸正硬脂基醋、甲氧基二甘醇甲基丙締酸 醋、甲氧基聚乙二醇甲基丙締酸醋、甲基丙締酸四氨慷醋、甲基丙締酸异冰片醋、甲基丙締 酸叔下醋、甲基丙締酸异硬脂基醋、甲基丙締酸正下氧基乙醋、甲基丙締酸3-氯-2-径基丙 醋、甲基丙締酸2-甲基-2-金刚烧醋、甲基丙締酸2-乙基-2-金刚烧醋、甲基丙締酸2-丙 基-2-金刚烧醋、甲基丙締酸2-甲氧基下基-2-金刚烧醋、甲基丙締酸8-甲基-8-S环癸 醋、甲基丙締酸8-乙基-8-S环癸醋、5-甲基丙締酷氧基-6-径基降冰片締-2-簇酸-6-内 醋和甲基丙締酸2, 2, 3, 3, 4, 4, 4-屯氣下醋等。
[0058] 作为聚丙締酷胺化合物的原料单体，可举出丙締酷胺、N-甲基丙締酷胺、N-乙基 丙締酷胺、N-苄基丙締酷胺、N-苯基丙締酷胺和N，N-二甲基丙締酷胺等。
[0059] 作为聚甲基丙締酷胺化合物的原料单体，可举出甲基丙締酷胺、N-甲基甲基丙締 酷胺、N-乙基甲基丙締酷胺、N-苄基甲基丙締酷胺、N-苯基甲基丙締酷胺和N，N-二甲基甲 基丙締酷胺等。
[0060] 作为聚乙締基化合物的原料单体，可举出乙締基酸、甲基乙締基酸、苄基乙締基 酸、2-径基乙基乙締基酸、苯基乙締基酸和丙基乙締基酸等。
[0061] 作为聚苯乙締化合物的原料单体，可举出苯乙締、甲基苯乙締、氯苯乙締、漠苯乙 締和径基苯乙締等。
[0062] 作为聚马来酷亚胺化合物的原料单体，可举出马来酷亚胺、N-甲基马来酷亚胺、 N-苯基马来酷亚胺和N-环己基马来酷亚胺等。
[0063] 运些聚合物的制造可W通过在有机溶剂中溶解加聚性单体和根据需要添加的链 转移剂（相对于单体的质量为10%w下）后，加入聚合引发剂进行聚合反应，然后，添加聚 合抑制剂从而制造。作为聚合引发剂的添加量，相对于单体的质量为1~10%，作为聚合 抑制剂的添加量，为0.Ol~0. 2质量％。作为所使用的有机溶剂，可举出丙二醇单甲基酸、 丙二醇单丙基酸、乳酸乙醋、环己酬、甲基乙基酬和二甲基甲酯胺等，作为链转移剂，可举出 十二烧硫醇和十二烷基硫醇等，作为聚合引发剂，可举出偶氮二异下腊和偶氮二环己烧甲 腊等，而且，作为聚合抑制剂，可举出4-甲氧基苯酪等。作为反应溫度，从30~100°C进行 适当选择，作为反应时间，从1~48小时进行适当选择。
[0064] 本发明的抗蚀剂下层膜形成用组合物可W包含交联剂成分。作为该交联剂，可举 出=聚氯胺系、取代脈系或它们的聚合物系等。优选为具有至少2个交联形成取代基的交 联剂，是甲氧基甲基化甘脈、下氧基甲基化甘脈、甲氧基甲基化=聚氯胺、下氧基甲基化= 聚氯胺、甲氧基甲基化苯脈胺、下氧基甲基化苯脈胺、甲氧基甲基化脈、下氧基甲基化脈、甲 氧基甲基化硫脈或甲氧基甲基化硫脈等化合物。此外，也可W使用运些化合物的缩合物。 阳〇化]而且，作为上述交联剂，可W使用耐热性高的交联剂。作为耐热性高的交联剂，可 W优选使用分子内具有芳香族环（例如，苯环、糞环）的包含交联形成取代基的化合物。
[0066] 该化合物可举出具有下述式（2)的部分结构的化合物、具有下述式（3)的重复单 元的聚合物或低聚物。
[0067] 式似中，Ri嘴Rii各自为氨原子、碳原子数1~10的烷基或碳原子数6~20的 芳基，nlO为1~4的整数，nil为1~巧-nlO)的整数，（nlO+nll)表示2~5的整数。 W側式做中，R12为氨原子或碳原子数1~10的烷基，R"为碳原子数1~10的烷基，nl2