防静电装置和平板显示制造设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及平板显示制造领域,尤其涉及一种防静电装置和平板显示制造设备。
【背景技术】
[0002]在平板显示面板的生产过程中,显示面板需要被频繁的搬送、运输,自动化程度较高的生产线中使用对位机台来实现这些功能。对位机台上设置有真空吸盘,在搬运过程中真空吸盘和显示面板要频繁地进行接触、贴合及分离运动,对位机台与显示面板会因这些运动产生摩擦,从而导致静电积累。另外,对位机台自身高速运转也会产生静电积累,这些积累的静电在对位机台与显示面板间的接触面释放,极可能会造成显示面板静电损伤,影响广品品质,造成损失。
[0003]目前解决静电问题的方式是在基板上方进行X射线照射,X射线照射虽然能达到静电去除的目的,但X射线对人体(作业区内需要人来操作)危害比较大,而且X射线产生装置的安装、使用、维护成本都比较高。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的实施例提供一种防静电装置和平板显示制造设备,能够解决平板显示行业因静电积累、释放对显示面板造成静电损伤的问题,并且成本低,安装、使用、维护方便。
[0005]为达到上述目的,本实用新型的实施例采用如下技术方案:
[0006]本实用新型提供一种防静电装置,用于平板显示制造领域,包括:可调节供气系统,用于提供压缩气体;多个出风口,所述可调节供气系统提供的压缩气体通过所述出风口向基板吹气;放电针,设置于所述出风口中,用于通过放电使经过所述放电针针尖附近的空气电离,使所述出风口所吹气体含有离子。
[0007]可选地,所述出风口设置于所述制造设备上与基板相接触的表面上。
[0008]进一步地,所述防静电装置还包括:控制模块,用于通过控制所述放电针的放电电压、所述可调节供气系统的出气口的气体流量、和/或所述出风口距所述基板表面的距离,来调节到达所述基板表面的离子浓度。
[0009]进一步地,所述防静电装置还包括:可移动装置,以及驱动并控制所述可移动装置运动的驱动控制部分;所述多个出风口设置于所述可移动装置上,所述驱动控制部分与所述控制模块相连。
[0010]可选地,所述可调节供气系统包括用于控制出气流量的流量控制模块,所述流量控制模块与所述控制模块相连。
[0011]可选地,还包括所述放电针的电压提供电路,所述电压提供电路包括电压调节模块,所述电压调节模块与所述控制模块相连。
[0012]优选地,所述出风口内设置有气体喷射装置,或者所述出风口直接由所述气体喷射装置形成;所述气体喷射装置包括过滤器、气道和喷头;所述气体喷射装置的进气端通过管道与所述可调节供气系统的出气口相连,所述可调节供气系统提供的压缩气体自所述进气端进入,经所述过滤器、气道后从所述喷头喷出。
[0013]优选地,所述气体喷射装置的气体流道上还安装有:压控装置,用于测量及调节从所述喷头喷出气体的压强,与所述控制模块相连。
[0014]优选地,所述可调节供气系统到所述出风口的气路上还设置有:密闭空间形成的匀压仓;所述多个出风口设置于所述匀压仓上,为所述匀压仓的出气端口 ;所述匀压仓的进气端口与所述可调节供气系统的出气口通过管道相连通。
[0015]可选地,所述匀压仓的进气端口为一渐变变粗的管道。
[0016]可选地,所述可调节供气系统到所述出风口之间的气路上设置有电磁阀,所述电磁阀与所述控制模块相连。
[0017]可选地,所述可调节供气系统到所述出风口的气路上设置有:气体分路装置,其进气端与所述供气管道相连通,其出气端为多个,分别与所述多个出风口相连通或者直接形成所述多个出风口。
[0018]可选地,所述可调节供气系统为空气压缩机。
[0019]本实用新型还提供一种平板显示制造设备,包括任一项所述的防静电装置。
[0020]可选地,所述平板显示制造设备,还包括:距离传感器,用于感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离。
[0021]可选地,所述平板显示制造设备为热固化设备,或者需要加压的检测设备,或者对位/旋转机台。
[0022]可选地,所述平板显示制造设备为对位/旋转机台,所述对位/旋转机台的主体结构内设置有空腔,该空腔中设置所述防静电装置的可调节供气系统;所述主体结构还形成有与基板相接触的表面,该表面上设置有运动导向槽,所述防静电装置的可移动装置沿所述运动导向槽移动。
[0023]可选地,所述防静电装置的驱动控制部分包括驱动齿轮和带齿皮带;所述可移动装置的中轴固定在所述带齿皮带上,所述带齿皮带与所述驱动齿轮相啮合,使得所述驱动齿轮带动所述带齿皮带运动时,所述可移动装置沿所述运动导向槽移动。
[0024]本实用新型实施例提供的防静电装置和平板显示制造设备,通过放电针设置于出风口中,使吹向基板底面的压缩气体含有离子,气体中的离子中和基板因摩擦造成的静电,避免静电积累,从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤,并且该装置成本低,安装、使用、维护方便。
【附图说明】
[0025]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0026]图1为本实用新型实施例一提供的用于平板显示制造领域的防静电方法的原理示意图;
[0027]图2为本实用新型实施例二提供的防静电装置的部分结构示意图;
[0028]图3为本实用新型实施例二提供的防静电装置的控制系统示意图;
[0029]图4为本实用新型实施例二提供的防静电装置的出风口的示意图;
[0030]图5为本实用新型实施例二中气体喷射装置的结构示意图;
[0031]图6为本实用新型实施例二中防静电装置的结构示意图;
[0032]图7为本实用新型实施例二提供的热固化设备的原理示意图;
[0033]图8为本实用新型实施例二提供的热固化设备加热腔的结构示意图;
[0034]图9为本实用新型实施例二提供的检测设备检测腔的具体结构示意图;
[0035]图10为本实用新型实施例二中一种现有对位机台的俯视结构示意图;
[0036]图11为本实用新型实施例二提供的对位机台的俯视结构示意图;
[0037]图12为本实用新型实施例二中安装了防静电装置的对位机台的带屏俯视图;
[0038]图13为本实用新型实施例二中对位机台上防静电装置的驱动结构的俯视图;
[0039]图14为本实用新型实施例二中对位机台上除静电装置的气体管路图。
[0040]附图标记
[0041]7-正尚子,8-负尚子,9-显不面板,10-基板,101-底面,11-压缩气体,
[0042]20-机台的台面,21-出风口,22-放电针,23-控制模块,24-可移动装置,
[0043]241-驱动控制部分,25-可调节供气系统,251-流量控制模块,
[0044]26-电压提供电路,261-电压调节模块,27-匀压仓,271-匀压仓的出气端口,
[0045]272-匀压仓的进气端口,28-电磁阀,29-气体分路装置I,
[0046]291-气体分路装置II,292-气体分路装置III,30-气体喷射装置,31-过滤器,
[0047]32-气道,33-喷头,34-压控装置,40-加热腔,41-腔体,42-加热空腔,
[0048]43-加热板,44-红外测温器,45-热电偶,50-检测腔,
[0049]51-低辐射保护玻璃罩,52-检测空腔,53-偏光片,54-扩散板,
[0050]55-背光灯组,56-加热板,60-对位机台主体部分,61-距离传感器,
[0051]62-驱动控制部分,63-真空吸盘,64-驱动控制部分,65-运动导槽,66-中轴,
[0052]67-带齿皮带,68-驱动齿轮,69-带齿皮带的从动轮,70-中轴,
[0053]71-连接各出风口的供气管,72-总的供气管。
【具体实施方式】
[0054]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0055]实施例一
[0056]本实用新型实施例提供一种用于平板显示制造领域的防静电方法,如图1所示,该方法主要包括:向基板10的底面101吹含有离子的气体11,底面101为基板10与平板显不制造设备相接触的表面,如图1中所不基板10的下表面。
[0057]在平板显示制造过程中,平板显示制造设备如对位机台、机械手等要频繁地与基板(本实施例中的基板用来统称显示面板及其半成品)进行接触、贴合及分离运动,会因摩擦导致静电积累,为解决该问题,本实施例在需要去除静电或预防静电产生的情景下,向基板10的底面101吹拂含有离子的气体,一方面气体中的离子可以中和基板因摩擦造成的静电;另一方面还可以降低制造设备与基板10底面101的摩擦,从而避免静电积累,进而避免静电释放对显示面板造成静电损伤,并且该方法成本低,对应的去除静电装置安装、使用、维护方便。
[0058]具体而