防静电装置和平板显示制造设备的制造方法_2

文档序号:8786793阅读:来源:国知局
言,可将出风口设置于平板显示制造设备上用于承接基板,与基板相接触、摩擦的表面上,当传感器检测到基板接近平板显示制造设备在一定范围内时,开始向基板10的底面101吹拂含有离子的气体。进一步优选地,对需要对基板10进行对位操作的制造设备如对位机台等,还可以利用向基板10底面101吹含有离子的压缩气体的方式,将基板10托起进行对位,避免因摩擦导致静电积累。
[0059]在上述防静电方法基础上,本实用新型提供一种用于平板显示制造领域的防静电装置,该装置可具体应用在各种平板显示制造设备上,降低摩擦,中和基板上的静电,从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤,成本低,易实现。
[0060]实施例二
[0061]本实用新型实施例提供一种防静电装置,用于平板显示制造领域,如图1和2所示,该防静电装置包括:可调节供气系统(图中未示出),用于提供压缩气体;多个出风口21,所述可调节供气系统提供的压缩气体通过出风口 21向基板10的底面101吹气,底面为基板10与平板显示制造设备相接触的表面;放电针22,设置于出风口 21中,用于通过放电使经过放电针22针尖附近的空气电离,使出风口 21所吹气体含有离子。
[0062]静电产生一般是由于基板与平板显示制造设备频繁接触、贴合、对位、分离等过程中相互摩擦时产生,本实用新型实施例提供的防静电装置为一种离子风气源,通过向平板显示制造设备与基板之间的接触面吹拂含有离子的气体,中和因摩擦等造成的静电,避免静电积累,从而消除静电损伤。其中,优选地,出风口 21向基板10的底面101 (与平板显示制造设备相接触的、容易产生静电积累的表面)吹气,可以如图1所示从基板10的下方直接自下而上向基板底面101吹气,也可以根据实际情况选择从基板10的侧面向基板底面101及二者接触面吹气。在第一种自下而上向基板底面101吹气的情况下时,可将出风口21形成于平板显示制造设备中用于承接基板,与基板相接触、摩擦的表面(机台的台面20)上,出风口 21可以是图2所示狭缝状,还可以是离散状分布的气孔。
[0063]其中,可调节供气系统用于提供压缩气体(如压缩空气),且所述压缩气体的流量及气压是可控的,可以根据实际进行调整。通常所需要压缩气体的气压为3-5个大气压,此气压值在压缩空气中属于较低压,采用普通的空气压缩机就能够达到,这样一方面可减少设备投入,另一方面还可降低能耗。
[0064]放电针22用于在接通放电高压后进行放电,将针尖附近的空气电离,一般为针状金属。具体而言,放电针22可以按照一定的几何规则或者密度进行排列,而所述放电高压通常可以达到5K到50KV。
[0065]出风口 21用于吹出所述压缩空气,以形成层流风,用于将在放电针22针尖附近区域的离子带到有静电积累的基板表面。出风口 2可以为狭缝状,或为长长的扁平状,类似一气源发生装置。当然,出风口 21形状可以根据实际情况进行设计,以便于消除基板表面的静电积累为宜,并不限于上面所述。另外,出风口 21处于放电针22的上风处,即远离基板表面的一端,这样形成的层流风可以将放电针22电离的离子吹至基板表面。
[0066]进一步地,所述防静电装置还包括:控制模块,用于通过控制放电针22的放电电压、可调节供气系统的出气口的气体流量、和/或出风口 21距基板10表面的距离,来调节到达基板10表面的离子浓度。该控制模块可以独立设置,也可以直接利用平板显示制造设备本身固有的控制模块,只要能实现上述控制即可。
[0067]具体而言,如图3所示,所述防静电装置还包括:可移动装置24以及驱动并控制该可移动装置运动的驱动控制部分241,所述的多个出风口 21设置于可移动装置24上,驱动控制部分241与控制模块23相连,可移动装置24与驱动控制部分241相互配合,使得出风口 21到基板10表面的距离可通过控制模块23调节。可调节供气系统25包括用于控制出气流量的流量控制模块251,该流量控制模块251与控制模块23相连。放电针21的电压提供电路26包括电压调节模块261,该电压调节模块261与控制模块23相连。控制模块23通过控制放电针22的放电电压、可调节供气系统25出气口的气体流量以及出风口 21距基板10表面的距离,来调节到达基板10表面的离子浓度。进一步地,还可设置静电测量模块,对静电去除结果进行测试,以控制是否继续向基板喷射离子气体进行静电去除。
[0068]下面针对本实施例提供的防静电装置,对其控制方法简单介绍如下:步骤一、将放电针22接通放电高压,使放电针22通过针尖放电将其附近的空气电离;步骤二、可调节供气系统向出风口 21输入压缩空气,且压缩空气的流量及气压是可控的,即可根据实际需求由控制模块23进行调整;步骤三、通过出风口 21吹出所述压缩空气,以形成层流风,用于将放电针22针尖附近区域的离子带到有静电积累的基板表面;步骤四、通过控制放电针22的放电电压、可调节供气系统25出气口的气体流量以及出风口 21距基板10表面的距离,来调节到达基板10表面的离子浓度,以达到良好的静电去除效果。需要说明的是:上述步骤并无先后顺序,可以在防静电装置的使用过程中,对离子浓度的实际需求,可以通过对上述放电高压、输入口的气体流量及出风口到基板表面的距离进行调节。
[0069]进一步可选地,在需要对基板进行对位操作的情景下,还可以利用防静电装置喷出的气体将基板托起进行对位,避免对位过程中因相互摩擦导致静电积累。如图4所示,为达到对托起基板气流的良好控制的目的,出风口 21内设置有气体喷射装置30,或者出风口21直接由气体喷射装置形成;气体喷射装置如图5所示包括过滤器31、气道32和喷头33 ;气体喷射装置的进气端通过管道与可调节供气系统的出气口 21相连,可调节供气系统提供的压缩气体自进气端进入,经过滤器31、气道32后从喷头33喷出。优选地,气体喷射装置的气道32为螺旋气道,可喷出螺旋气体形成气垫,产生更大的上托力,更易使基板浮起。
[0070]优选地,气体喷射装置的气体流道(此处的气体流道是气体喷射装置的进气端到出气端的统称,上文中的气道32仅指从喷头喷出前的一小段气体流道)上还安装有:压控装置34,用于测量及调节从喷头喷出气体的压强,与控制模块23相连。通过增设气体喷射装置30,采用下部吹气,利用螺旋气道形成气垫将基板托起,使之悬浮起来进行对位,降低摩擦,从根本上消除静电产生的根源,减少静电积累。气体喷射装置30再结合之前对输入口的气体流量及出风口到基板表面的距离的控制,可对防静电装置喷出的气流强度进行更精细控制,与对位控制相配合,可实现无摩擦对位。
[0071]如图6所示,一种优选的实施方式中,可调节供气系统到出风口的气路上还设置有:密闭空间形成的匀压仓27 ;匀压仓27的出气端口 271过管道与气体喷射装置30的进气端相连通,匀压仓27的进气端口 272与可调节供气系统25的出气口通过管道相连通;匀压仓27可以使多个出风口 21喷出的气体压强一致,避免基板倾斜或不平而影响制造工艺。可选地,匀压仓27的进气端口 272为一渐变变粗的管道或者设置有挡板等装置,避免从进气端口 272冲进来的气体对出气口的压强产生影响,从而使各出风口 21喷出的气体压强一致。另外,如果出风口 21内未设置气体喷射装置30,匀压仓27的出气端口 271还可直接与多个出风口 21相导通,或者多个出风口 21直接设置于匀压仓27上,匀压仓27的出气端口271直接形成出风口 21。
[0072]进一步优选地,可调节供气系统25到出风口 21之间的气路上,例如在压缩气体进入匀压仓27之前的气路上设置有电磁阀28,电磁阀28与控制模块23相连。具体而言,可通过气体分路装置129,将可调节供气系统25出来的气路分成多个支路,每一个支路上安装一个电磁阀28,然后再通过气体分路装置II 291将各支路合成一个气路。采用这样的方式安装电磁阀28,可增加对气体流量的可控性。
[0073]本实用新型实施例提供的防静电装置可具体应用在各种平板显示制造设备上,降低摩擦,中和基板上的静电,从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤,成本低,易实现。另一方面,通过防静电装置的可调节供气系统25、电磁阀28、气体喷射装置30对气体进行调控,再结合之前对出风口到基板表面的距离的控制,可对防静电装置喷出的气流强度进行更精细控制,与对位控制相配合,可实现无摩擦对位。
[0074]本实用新型实施例还提供一种平板显示制造设备,包括任一项所述的防静电装置。
[0075]所述防静电装置可具体安装在各种平板显示制造设备上,如静电纺丝设备、热固化设备、需要加压的检测设备以及对位/旋转机台等,用以降低基板与设备的相互摩擦,中和基板上的静电,从而避免静电释放对显示面板造成静电损伤,成本低,易实现。
[0076]可选地,上述平板显示制造设备,还包括:距离传感器,用于感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离。距离传感器用以感应基板与所述平板显示制造设备之间的距离,实现气体喷射与接、送基板之间的配合。
[0077]为了本领域技术人员更好的理解本实用新型实施例提供的技术方案,下面通过具体的实施例对本实用新型提供的防静电装置以及平板显示制造设备的结构进行详细说明。
[0078](一)、静电纺丝设备
[0079]静电纺丝是一种特殊的纤维制造工艺,聚合物溶液或熔体在强电场中进行喷射纺丝。在电场作用下,针头处的液滴会由球形变为圆锥形(即“泰勒锥”),并从圆锥尖端延展得到纤维细丝。这种方式可以生产出纳米级直径的聚合物细丝。
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