激光加工的方法与流程

技术总结
一种激光加工方法，该方法的核心是采用制冷装置使蒸气在被加工物表面冷凝形成冰霜层，激光烧蚀产生的碎屑溅落在冰霜层上，冰霜层融化或脱落时可以方便地将碎屑清除，降低了烧蚀碎屑附着于被加工物的风险；同时，在激光辐照区域的冰霜层被激光加热后融化，在激光刻槽区域形成液层，可以有效减轻碎屑在刻槽内壁的沉积。

技术研发人员：廖洋;岳研;王旋;陈俊驰;彭宇杰;冷雨欣;李儒新
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
技术研发日：2019.09.20
技术公布日：2020.01.17