热处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种对工件进行热处理的热处理装置，特别涉及在室内对工件进行加热而进行热处理的热处理装置。
【背景技术】
[0002]以往，如图6所示那样，已知一种加热装置300，设置有将包围工件200而气密地封闭的腔室310贯通的玻璃管301。在该装置中，通过密封部件304将腔室310与玻璃管301之间封闭，在与密封部件304对应的区域的玻璃管301的表面上形成有红外线反射膜301a。此外，在玻璃管301的内部流通冷却风330并且配置有白炽灯320 (参照专利文献1、例如权利要求I以及图2)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本专利申请公开第2011-190511号公报(例如，参照权利要求1、图2)
[0006]专利文献2:日本专利申请公开第2009-88105号公报
【发明内容】
[0007]发明要解决的课题
[0008]然而，在以往的加热装置300中，玻璃管301以及密封部件304的轴直角方向的投影面积较大，而腔室310的容积变得较大。因此，室内的气氛的调整所需要的时间变长，不能够成为生产率较高的优良的加热装置。本发明是鉴于这些课题而进行的，其目的在于提供一种热处理装置，使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]为了解决上述课题，本发明的第一方式的热处理装置例如是图1、图2A以及图2B所示的热处理装置100，具备:腔室10，对热处理对象的工件200进行收容，且具有将腔室的内部与外部分隔的隔壁1a ;以及热放射加热器20，贯通隔壁1a而设置；热放射加热器20具有:热放射部2，放射对工件200进行加热的热；以及圆筒形状的玻璃管1，对热放射部2进行覆盖，且具有使热放射部2向轴向的外侧越过而延长的延长部3 ;并且，热处理装置100具备:环状密封4，配置在延长部3的外周面3a，且内周面4a与延长部3的外周面3a接触而将腔室10的内部与外部气密地密封；以及热遮挡板5，在玻璃管I的轴向上配置在热放射部2与环状密封4之间，对环状密封4相对于热放射部2进行热遮挡，形成有沿着延长部3的内周面5d。
[0011]当如此构成时，与以往的热放射加热器的密封机构相比较，能够将使热放射加热器气密地密封(封闭)在室内的热放射加热器的密封机构(环状密封)的轴直角方向的投影面积设置得较小。因此，能够实现将相同输出的热放射加热器收容到更小地设置的室内、具有较高的气氛调整效率、生产率较高、优良的热处理装置。此外，即使在设置多个相邻接的热放射加热器的情况下，也能够将它们更密集地配置。因此，能够实现具有较高加热效率的优良的热处理装置。
[0012]此外，本发明的第二方式的热处理装置为，在本发明的第一方式的热处理装置100中，例如图1以及图2B所示那样，具备对热遮挡板5进行保持的冷却块30，且是覆盖延长部3、并沿玻璃管I的轴向延伸到腔室10的隔壁的外侧的冷却块30 ;环状密封4的外周面4b构成为，与冷却块30接触而气密地密封。
[0013]当如此构成时，能够通过冷却块对热遮挡板和环状密封进行高效的冷却。因此，能够将对热放射部和环状密封进行分离的间隔、以及将热放射部和热遮挡板进行分离的间隔设置得较小，因此能够将热放射加热器的密封机构沿轴向设置得较小。因此，能够实现腔室被设置得较小的、优良的热处理装置。
[0014]此外，本发明的第三方式的热处理装置为，在本发明的第二方式的热处理装置100中，例如图1所示那样，具备对冷却块30进行冷却的冷却介质循环装置40e。
[0015]当如此构成时，能够经由冷却块通过冷却介质(例如水、空气)对环状密封以及热遮挡板进行更高效的冷却，因此能够将对热放射部和环状密封进行分离的间隔、以及对热放射部和热遮挡板进行分离的间隔设定得更小。因此，能够将热放射加热器的密封机构在轴向上设置得更小，因此能够实现腔室被设置得更小的、优良的热处理装置。
[0016]此外，本发明的第四的方式的热处理装置为，在本发明的第二或者第三方式的热处理装置100中，例如图3A所示那样，还具备隔离块40，该隔离块40具有相对于工件200 (参照图1)将热放射加热器20定位于规定的位置的、供冷却块30贯通的贯通孔40a;隔离块40构成为，将具有比贯通孔40a大的开口面积的、设置在腔室10的隔壁1a上的贯通开口 1b气密地堵塞而安装；冷却块30和隔离块40构成为，气密地密封而安装。
[0017]当如此构成时，能够设置为，在适合于热放射加热器对工件进行加热的随意的位置，配置用于供对热放射加热器进行覆盖而支撑的冷却块贯通的隔离块的贯通孔，而高效地对工件进行加热。此外，在另一方面，能够设置为通过隔离块气密地堵塞设置在腔室的隔壁上的贯通开口。因此，不按照每个不同的热放射加热器的配置来设置专用的腔室，也能够在适合于对工件进行加热的随意的位置配置热放射加热器。此外，能够迅速、容易地变更热放射加热器的配置。因此，能够实现能够对更多样的工件进行高效的热处理的生产率较高、优良的热处理装置。
[0018]此外，本发明的第五方式的热处理装置为，在本发明的第一方式的热处理装置100中，例如图4所示那样，具备隔离块40，该隔离块40具有相对于工件200 (参照图1)将热放射加热器20定位于规定的位置而安装的贯通孔40a ;隔离块40构成为，将具有比贯通孔40a更大的开口面积的、设置在腔室10的隔壁1a上的贯通开口 1b气密地堵塞而安装；环状密封4(参照图2B)的外周面4b (参照图2B)构成为，与贯通孔40a的内周面40b抵接而气密地进行密封。
[0019]当如此构成时，即使在不具备冷却块的情况下，也能够与第四方式的热处理装置同样，在设置在隔离块的随意位置的贯通孔中配置热放射加热器而高效对工件进行热处理。因此，不按照每个不同的热放射加热器的配置来设置专用的腔室，就能够在适合于对工件进行加热的随意的位置配置热放射加热器。此外，能够迅速、容易地变更热放射加热器的配置。因此，能够实现能够对更多样的工件进行高效的热处理的生产率较高、优良的热处理
目.0
[0020]此外，本发明的第六方式的热处理装置为，在本发明的第一至第五方式的任一个方式的热处理装置100中，例如图2A所示那样，热遮挡板5形成为环状，并通过以径向的分割面5e将环分割为多个，由此分割设置为多个部件5a、5b。
[0021]当如此设置时，即使在端部被压扁为扁平而重叠、且成为宽度较大的热放射加热器上安装热遮挡板的情况下，也能够从热放射加热器的轴直角方向容易地组装被分割的热遮挡板。此时，不会使成为宽度较大的玻璃管的轴向的端部贯通到一体设置的热遮挡板所具有的贯通孔内而组装。此外，热遮挡板被分割设置为多个部件，因此能够将多个被分割的热遮挡板分别沿着内周面而组装到玻璃管的延长部的外周面。通过如此分割的热遮挡板，也能够沿轴向对环状密封进行热遮挡而防止环状密封的温度上升。
[0022]此外，本发明的第七方式的热处理装置为，在本发明的第二至第四方式的任一个方式的热处理装置100中，例如图5所示那样，热遮挡板5(例如，参照图1)以及冷却块30(例如，参照图1)设置为一体的部件30e。
[0023]当如此设置时，通过将热遮挡板和冷却块设置为一体，由此能够提高热传导而进行更高效的冷却，因此能够将对热放射部和环状密封进行分离的间隔、以及对热放射部和热遮挡板进行分离的间隔设置得更小。因此，能够将热放射加热器的密封机构在轴向上设置得更小，因此能够实现腔室被设置得更小的、优良的热处理装置。
[0024]发明的效果
[0025]根据本发明的热处理装置，能够提供一种热处理装置，能够使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。
【附图说明】
[0026]图1是表示本发明的第一实施方式的热处理装置的例的主视截面图。在图中将例示的热处理装置以及工件的长边方向的中间部分通过两条波线进行切断而省略地表示。此夕卜，将热放射加热器的玻璃管和白色陶瓷涂料局部切断地表示。
[0027]图2A至图2C是表示本发明的第一实施方式的热处理装置的例的放大说明图。图2A是从热放射加热器的轴向内侧观察热遮挡板的图。
[0028]图2B是调整侧冷却块的放大主视截面图。
[0029]图2C是从轴向外侧观察热放射加热器的图。
[0030]图3A以及图3B是表示本发明的第一实施方式的热处理装置的例的立体图。图3A是表示将热放射加热器、冷却块以及隔离块组装于腔室隔壁的状态的图。
[0031]图3B是表示将热放射加热器、冷却块以及隔离块从腔室隔壁拆卸的状态下的腔室隔壁的贯通开口的图。
[0032]图4是表示本发明其他实施方式的热处理装置的例的立体图。
[0033]图5是表示本发明的第二实施方式的热处理装置的例的主视截面图。在图中通过两根波线将例示的热处理装置以及工件的长边方向的中间部分切断而省略地表示。