一种PECVD镀膜承载器的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种PECVD镀膜承载器。

背景技术：

PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜工艺的简称，在太阳能电池的生产过程中，对硅片镀膜是提高太阳能电池吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原理，光线照射到硅片上会产生反射，硅片的光学损失会使太阳能电池的输出低于理想值，硅片镀膜技术是提高太阳能电池吸收效率的成熟技术，已在太阳能电池工业化生产中得到广泛应用，通过PECVD能在硅片表面形成一层减反射膜。

现有技术中，PECVD镀膜时，将待镀膜的硅片平放在硅片承载器上，并由四个托钩水平托起，其镀膜是在硅片的正面镀膜，若要进一步提升电池效率，可以减少电池片的透过光，增强钝化效果，需要在背面镀膜，背电极位置镀膜后会存在接触不良，即使激光打孔仍会有空洞，导致开压和效率较低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种PECVD镀膜承载器，其可保证背电极不被镀膜，使得银浆与硅片有良好的接触，提升了开压和效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种PECVD镀膜承载器，包括用于承载硅片的载框，载框设置有用于遮盖硅片的背电极的掩膜条，掩膜条的两端分别固定在载框的两侧，掩膜条为镂空结构，掩膜条在与背电极相对应的位置设置为实心部，掩膜条在其他位置设置为空心部。

其中，掩膜条通过螺钉与载框固定连接，载框设置有与螺钉相配合的安装孔。

其中，安装孔为腰型孔。

其中，掩膜条为石墨条。

其中，硅片设置有多条分段式的背电极，每条背电极均对应设置有一个掩膜条，与一个硅片相对应的多个掩膜条通过固定件与载框固定连接。

其中，固定件、掩膜条和载框一起通过螺钉固定连接。

其中，固定件为石墨片。

其中，载框的两侧均设置有用于承载硅片的挂钩。

本实用新型的有益效果：一种PECVD镀膜承载器，包括用于承载硅片的载框，载框设置有用于遮盖硅片的背电极的掩膜条，掩膜条的两端分别固定在载框的两侧，掩膜条为镂空结构，掩膜条在与背电极相对应的位置设置为实心部，掩膜条在其他位置设置为空心部。本实用新型的PECVD镀膜承载器，通过设置掩膜条，保证其他区域正常镀膜而背电极不被镀膜，使得银浆与硅片有良好的接触，提升了开压和效率。

附图说明

图1是本实用新型的硅片的结构示意图。

图2是本实用新型的硅片与掩膜条镀膜前的结构示意图。

图3是本实用新型的硅片与掩膜条镀膜后的结构示意图。

图4是本实用新型的载框上的一个硅片单元的结构示意图。

图5是本实用新型的PECVD镀膜承载器的结构示意图(5×10载框)。

附图标记如下：

1-载框；2-掩膜条；21-实心部；22-空心部；3-固定件；

10-硅片；101-背电极。

具体实施方式

下面结合图1至图5并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1至图5所示，一种PECVD镀膜承载器，包括用于承载硅片10的载框1，载框1设置有用于遮盖硅片10的背电极101的掩膜条2，掩膜条2的两端分别固定在载框1的两侧，掩膜条2为镂空结构，掩膜条2在与背电极101相对应的位置设置为实心部21，掩膜条2在其他位置设置为空心部22。本实用新型的PECVD镀膜承载器，通过设置掩膜条2，保证其他区域正常镀膜而背电极101不被镀膜，使得银浆与硅片10有良好的接触，提升了开压和效率。

本实施例中，掩膜条2通过螺钉与载框1固定连接，载框1设置有与螺钉相配合的安装孔(未图示)。优选地，安装孔为腰型孔，掩膜条2为石墨条。安装孔为腰型孔，使得掩膜条2可根据背电极101的位置，来相对载框1作相应调整。

本实施例中，硅片10设置有多条分段式的背电极101，每条背电极101均对应设置有一个掩膜条2，与一个硅片10相对应的多个掩膜条2通过固定件3与载框1固定连接。优选地，固定件3、掩膜条2和载框1一起通过螺钉固定连接，固定件3为石墨片。

本实施例中，载框1的两侧均设置有用于承载硅片10的挂钩(未图示)。

本实施例中，如图5所示，载框1上承载有5×10个硅片10，即载框1上设置有5行10列的硅片10，载框1在相邻的两个硅片10之间设置有用于隔开相邻的两个硅片10的框架，每行硅片10的同一行的背电极101通过一个掩膜条2固定，掩膜条2的两端分别固定在载框1的两侧，且与框架固定连接。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。