技术特征：
技术总结
本申请公开了一种蒸镀装置和蒸镀方法，所述蒸镀装置包括镀膜室、设置于所述镀膜室底部，盛装且加热镀膜材料的坩埚以及设置于所述镀膜室顶部且与所述坩埚相对，夹持待镀膜产品的夹具。其中，所述镀膜室的底部设置有至少一个第一进气孔，所述镀膜室通过第一进气孔通入惰性气体，所述镀膜室设置有至少一个排气孔。蒸镀材料加热升华气化，从坩埚内扩散出来，然后被惰性气体带动快速的向待镀膜产品方向运动，镀膜的速度更快，生产效率高。在蒸镀材料气化运动过程中，惰性气体还可以将蒸镀材料混匀，使得蒸镀材料在镀在待镀膜产品前各区域的密度更一致，镀膜均一性好，成膜质量更好，精度更高。
技术研发人员：孙晓午
受保护的技术使用者：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
技术研发日：2019.06.11
技术公布日：2019.10.18