一种半导体元器件金蚀刻装置的制作方法

文档序号:20306386发布日期:2020-04-07 21:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体元器件金蚀刻装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的前表面设有若干个双开门(11),所述双开门(11)与所述箱体(1)的连接处设有铰链(111),所述双开门(11)通过所述铰链(111)与所述箱体(1)铰接,所述箱体(1)的顶壁上设有输液管(12),所述输液管(12)上安装有若干个喷头(121),所述箱体(1)的底壁上紧密焊接有工作台(13),所述箱体(1)的两侧位于所述工作台(13)的上方均设有排液管(131),所述排液管(131)贯穿所述箱体(1),所述工作台(13)上设有若干个电机(2),所述电机(2)的底端紧密焊接有固定环(21),所述固定环(21)上设有第一螺栓(211),所述固定环(21)通过所述第一螺栓(211)与所述工作台(13)固定连接,所述电机(2)的输出端上紧密焊接有圆盘(22),所述圆盘(22)上设有若干个螺孔(221),所述螺孔(221)内设有第二螺栓(23),所述电机(2)的上方设有隔板(3),所述隔板(3)上设有若干个漏液孔(31),位于所述隔板(3)的中心位置处设有通孔(32),所述通孔(32)内设有转盘(33),所述转盘(33)上设有若干个凹槽(331),所述凹槽(331)的底壁上设有圆孔(332)。

2.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:所述第二螺栓(23)位于所述凹槽(331)内,所述第二螺栓(23)的底端穿过所述圆孔(332)与所述螺孔(221)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:所述箱体(1)的下表面四角均设置有支撑脚(14),所述支撑脚(14)的顶端与所述箱体(1)的下表面紧密焊接。

4.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:所述箱体(1)的两侧均设置有可视窗(15)。

5.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:相邻的两个所述隔板(3)之间设有挡板(34),所述挡板(34)与所述隔板(3)紧密焊接。

6.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:所述喷头(121)设有15-20个,呈线性等间距排列。

7.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:所述电机(2)设有2-4个,呈环形等间距排列。

8.根据权利要求1所述的半导体元器件金蚀刻装置,其特征在于:所述螺孔(221)和所述凹槽(331)设有相同的个数,均为3-4个,呈环形等间距排列。


技术总结
本实用新型涉及机械技术领域,具体为一种半导体元器件金蚀刻装置,包括箱体,箱体的顶壁上设有输液管,输液管上安装有若干个喷头,箱体的底壁上紧密焊接有工作台,工作台上设有若干个电机,电机的上方设有隔板,隔板的隔板上设有若干个漏液孔,位于隔板的中心位置处设有通孔,通孔内设有转盘。该半导体元器件金蚀刻装置,将待蚀刻的半导体材料放置在转盘上,蚀刻溶液通过喷头喷出,电机带动转盘在隔板上的通孔内转动,使得喷出的蚀刻溶液均匀洒在转盘上的半导体材料上,多余的蚀刻溶液通过隔板上的漏液孔流入工作台上,并通过排液管流出箱体进行回收,解决半导体蚀刻装置蚀刻溶液喷洒不均匀的问题。

技术研发人员:杜良辉;孙国标;凌永康
受保护的技术使用者:江苏壹度科技股份有限公司
技术研发日:2019.05.28
技术公布日:2020.04.07
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