110的形状设置为方形或其他多边形时，开口1110的尺寸大小则指的是最长对角线的大小。当开口 1110的形状设置为三角形时，则开口1110的尺寸大小则指的是最长边长的大小。
[0044]更进一步的，参见图3，作为本发明的蒸镀设备100的实施例三，其在蒸镀工艺室110内设置的蒸镀腔111的个数也可为多个。并且，多个蒸镀腔111依次排列在蒸镀工艺室110内。其通过设置多个蒸镀腔111，同样能够实现对大尺寸的基板200进行有机发光层的多点同时打印式蒸镀。这也就更进一步的节省了有机发光层制备时间，提高了制备效率。其中，当在蒸镀工艺室110内设置多个蒸镀腔111时，蒸镀腔111的大小应相较于传统的蒸镀腔111的大小有所缩小，以减少其所占蒸镀工艺室110的体积，并进一步节省蒸镀设备100的生产成本。
[0045]另外，应当指出的是，当在蒸镀工艺室110内设置位置相对的蒸镀腔111和基台112时，可通过两种方式来实现。一种为，将基台112固定安装在蒸镀工艺室110的顶部，将蒸镀腔111安装在蒸镀工艺室110的底部，并设置蒸镀腔111能够沿蒸镀工艺室110的底部滑动(如:可在蒸镀工艺室110的底部设置相应的滑轨)，以实现蒸镀腔111与基台112的相对移动。另一种则为，将基台112安装在蒸镀工艺室110的顶部，并设置基台112能够沿蒸镀工艺室110的顶部滑动(如:在蒸镀工艺室110的顶部设置相应的滑轨)，同时将蒸镀腔111固定安装在蒸镀工艺室110的底部。其同样也能够实现蒸镀腔111与基台112的相对移动。其采用上述任一种方式均可，并且结构简单，易于实现。
[0046]进一步的，参见图4，作为本发明的蒸镀设备100的实施例四，其还包括有材料储备室120。材料储备室120用储备蒸镀材料300。其中，材料储备室120的一侧与蒸镀工艺室110的一侧连接并部分连通。同时，当设置蒸镀腔111可沿蒸镀工艺室110的底部滑动时，该蒸镀腔111还能够在材料储备室120与蒸镀工艺室110之间自由移动。具体的:其可通过分别在材料储备室120的底部和蒸镀工艺室110的底部设置相连接的滑轨，并通过步进电机控制蒸镀腔111在滑轨上滑动即可实现。
[0047]其通过在蒸镀设备100中增加设置材料储备室120，并将蒸镀腔111设置为能够在材料储备室120与蒸镀工艺室110之间自由移动，从而当蒸镀腔111中的蒸镀材料300用完后能够及时移动至材料储备室120中进行蒸镀材料300的添加，以避免由于蒸镀腔111中没有蒸镀材料300而中断有机发光层的蒸镀的现象，保证了有机发光层蒸镀过程的顺利进行。
[0048]相应的，基于同一发明构思，本发明还提供了一种OLED器件的有机发光层制备工艺。由于本发明的OLED器件的有机发光层制备工艺的原理与本发明提供的蒸镀设备100的工作原理相同或相似，因此重复之处不再赘述。
[0049]参见图5，作为本发明的OLED器件的有机发光层制备工艺的一具体实施例，其采用上述任一种蒸镀设备100进行制备，具体可包括如下步骤:
[0050]首先，通过步骤SlOO，将待蒸镀基板安装至蒸镀设备的基台上，并将蒸镀材料放置于蒸镀设备的蒸镀腔中，以实现对基板的固定以及蒸镀材料的添加。进而再通过步骤S200，对蒸镀腔进行加热至预设温度后，移动基台或蒸镀腔，将蒸镀腔的开口对准待蒸镀基板的蒸镀位置后进行蒸镀材料的蒸镀。其中，基台或蒸镀腔的移动可通过步进电机的控制来实现。
[0051]其只需通过移动基台或蒸镀腔即可进行蒸镀材料的蒸镀，不需要再在基板上固定掩模板，从而避免由于掩模板变形导致有机发光层发生混色的现象，同时还简化了制备工
-H-
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[0052]为了更清楚的说明本发明的OLED器件的有机发光层制备工艺的技术方案，以下以蒸镀设备的蒸镀工艺室的底部设置一个蒸镀腔，并且该蒸镀腔可沿蒸镀工艺室的底部滑动为例，对本发明的OLED器件的有机发光层制备工艺作进一步详细说明。
[0053]参见图6，首先通过步进电机将蒸镀腔111移动至蒸镀设备100的材料储备室120处，进行蒸镀材料300的添加。待添加完蒸镀材料300后，参见图7，再通过步进电机(图中未示出)将蒸镀腔111移动至蒸镀工艺室110内，并对蒸镀腔111进行加热，使得蒸镀腔111的温度达到预设温度。进而，参见图8，再通过步进电机控制蒸镀腔111在蒸镀工艺室110的底部进行滑动，使得蒸镀腔111的开口 1110对准基板200需要制备有机发光层的位置后，即可进行蒸镀材料300的蒸镀，从而实现基板200上有机发光层的制备。其中，基板200固定在基台112上。并且，在进行有机发光层的制备过程中，可随时通过步进电机控制蒸镀腔111的移动，使得蒸镀腔111的开口 1110对准基板200上的不同位置，以实现基板200不同位置处的有机发光层的制备。同时，经过一段时间的蒸镀后，当蒸镀腔111中的蒸镀材料300用完时，参见图6，可通过步进电机将蒸镀腔111再次移动至材料储备室120处，以便于进行蒸镀材料300的添加。
[0054]通过采用上述OLED器件的有机发光层的制备工艺进行有机发光层的制备时，其不仅避免了使用掩模板导致有机发光层发生混色的现象，同时还实现了蒸镀材料的及时添加，达到了蒸镀过程的持续进行的目的。
[0055]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀工艺室； 所述蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台； 所述蒸镀腔与所述基台相对设置，且能够相对移动； 所述基台，用于固定基板;所述蒸镀腔，用于放置蒸镀材料； 所述蒸镀腔朝向所述基板方向的侧壁设置有开口 ； 所述开口的尺寸为微米量级。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口的尺寸小于或等于120μπι。3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口的个数为多个。4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，多个所述开口呈行列式排布。5.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口的形状和大小完全相同。6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀腔的个数为多个;且多个所述蒸镀腔依次排列设置在所述蒸镀工艺室内。7.根据权利要求1至6任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述基台固定安装在所述蒸镀工艺室的顶端； 所述蒸镀腔安装在所述蒸镀工艺室的底部，并可沿所述蒸镀工艺室的底部滑动。8.根据权利要求1至6任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀腔固定安装在所述蒸镀工艺室的底部； 所述基台安装在所述蒸镀工艺室的顶部，并可沿所述蒸镀工艺室的顶部滑动。9.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括材料储备室； 所述材料储备室的一侧与所述蒸镀工艺室的一侧连接并连通;且 所述蒸镀腔能够在所述材料储备室与所述蒸镀工艺室之间自由移动； 所述材料储备室，用于储备所述蒸镀材料。10.—种OLED器件的有机发光层制备工艺，其特征在于，采用权利要求1至9任一项所述的蒸镀设备，其包括如下步骤: 将待蒸镀基板安装至所述蒸镀设备的基台上，并将蒸镀材料放置于所述蒸镀设备的蒸链月￡中； 对所述蒸镀腔进行加热至预设温度后，移动所述基台或所述蒸镀腔，将所述蒸镀腔的开口对准所述待蒸镀基板的蒸镀位置后进行所述蒸镀材料的蒸镀。
【专利摘要】本发明公开了一种蒸镀设备和OLED器件的有机发光层制备工艺，其蒸镀设备包括蒸镀工艺室；蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台；蒸镀腔与基台相对设置，且能够相对移动；基台，用于固定基板；蒸镀腔，用于放置蒸镀材料；蒸镀腔朝向基板方向的侧壁设置有开口；开口的尺寸为微米量级。其通过将蒸镀腔的开口的尺寸设计为微米量级，实现了有机发光材料的点打印式蒸镀，不需要再采用掩模板，因而也就避免了由于掩模板的变形导致所制备的有机发光层发生混色的现象，最终有效解决了采用传统的蒸镀工艺制备基板尺寸较大的OLED器件的有机发光层时，容易导致有机发光层发生混色从而影响OLED器件的性能的问题。
【IPC分类】H01L51/56, C23C14/24, C23C14/12
【公开号】CN105463378
【申请号】CN201510990336
【发明人】党鹏乐, 张秀玉, 丁立薇, 张小宝, 姜海斌, 朱晖
【申请人】昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年12月24日