一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统及方法与流程

文档序号:19487629发布日期:2019-12-21 04:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统,其特征在于,包括:通过管道依次连通的硫酸镉反应釜(1)、过滤器(2)、静置桶(3)、硫酸镉加热器(4)和硫化镉反应釜(5);其中,所述硫化镉反应釜(5)的顶部开设有气孔,所述气孔内装配有硫化氢气体管(501),所述硫化氢气体管(501)通入所述述硫化镉反应釜(5)的底部。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统,其特征在于,还包括洗涤桶(6),所述硫化镉反应釜(5)的出料口与所述洗涤桶(6)的进料口相连通。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统,其特征在于,还包括脱水机(7),所述洗涤桶(6)的出料口与所述脱水机(7)的入料口相连通。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统,其特征在于,还包括干燥箱,所述干燥箱用于对所述脱水机(7)出来的物料进行干燥。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统,其特征在于,还包括泵(8),所述泵(8)设置于所述硫酸镉反应釜(1)和过滤器(2)之间的管道上,所述泵(8)用于将所述硫酸镉反应釜(1)内的物料输送至过滤器(2)内。

6.一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1,先向硫酸镉反应釜内加入水,再边搅拌边加入浓硫酸,对浓硫酸进行稀释,得稀硫酸;向所述稀硫酸中加入镉锭,再分批次加入硝酸溶液,调节ph,得硫酸镉溶液;

步骤2,采用过滤器对所述硫酸镉溶液进行过滤,再采用静置桶对过滤后的溶液进行静置,得纯化后的硫酸镉溶液;

步骤3,采用加热器对硫酸镉溶液进行加热,将加热后的硫酸镉溶液通入硫化镉反应釜,并向硫化镉反应釜内通入硫化氢气体,得硫化镉。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产方法,其特征在于,步骤1中,所述水、浓硫酸、镉锭、硝酸溶液的比例为(100-140)kg:(10-15)l:(80-120)kg:6.5l;所述浓硫酸的浓度不小于70%,所述硝酸溶液的浓度不小于20%。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产方法,其特征在于,步骤1中,所述分批次加入硝酸溶液为分9次加入,其中,第一次加入2.5l,1小时后第二次加入500ml,之后每隔30min中加入500ml。

9.根据权利要求6所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产方法,其特征在于,步骤3中,所述加热为加热至40-50℃;所述硫化氢气体的通入的速率为2.5-5.5l/min,当硫化镉反应釜内的镉离子浓度小于15-18g/l时,停止通入硫化氢。

10.根据权利要求6所述的真空镀膜靶材用的硫化镉的生产方法,其特征在于,还包括步骤4,采用70-90℃的温水对硫化镉洗涤6-8次,洗涤至ph为6-7;再采用脱水机进行脱水,接着在110-130℃条件下干燥46-50小时,冷却至室温,即得纯硫化镉。


技术总结
本发明公开了一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统及方法,该硫化镉生产系统,包括通过管道依次连通的硫酸镉反应釜、过滤器、静置桶、硫酸镉加热器和硫化镉反应釜;其中,所述硫化镉反应釜的顶部开设有气孔,所述气孔内装配有硫化氢气体管,所述硫化氢气体管通入所述述硫化镉反应釜的底部。该生产系统结构简单,生产成本低,效率高;其成产方法中直接采用镉锭,原料利用方便;且无需额外加热,耗能低,反应充分,生产方法简单,易操作实施,所得的硫化镉的纯度高(纯度可达99.99%),适用于企业工业化生产。

技术研发人员:李灿涛;王鹏年
受保护的技术使用者:陕西东惠光电材料科技有限公司
技术研发日:2019.09.27
技术公布日:2019.12.20
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