积氮化娃。用于沉积含侣渗杂 的氮化娃的阻挡层的祀优选含有80重量％至95重量％娃和5重量％至20重量％侣W及 生产相关渗合料。用于沉积含棚渗杂的氮化娃的阻挡层的祀优选含有99. 9990重量％至 99. 9999重量％娃和0. 0001重量％至0. 001重量％棚W及生产相关渗合料。用于沉积含错 渗杂的氮化娃的阻挡层的祀优选含有60重量％至90重量％娃和10重量％至40重量％错 W及生产相关渗合料。优选在阴极瓣射过程中在添加氮气作为反应气体下进行氮化娃的沉 积。
[0061] 在施加本发明的涂层后的温度处理过程中，氮化娃可W部分氧化。作为SisN4沉积 的阻挡层随之在温度处理后含有SiyNyO,，其氧含量通常为0原子％至35原子％。
[006引但是，该阻挡层还可含有例如至少W03、佩205、Bi203、Ti02和/或A1N。
[0063] 在本发明的一个优选实施方案中，在上方介电层上布置介电减反射层。减反射层 降低本发明的窗玻璃上在可见光谱范围内的反射并造成反射和透射光的中性色印象。减反 射层还改进功能层的耐蚀性。减反射层的材料优选具有比功能层的材料的折光指数小的折 光指数。减反射层的材料的折光指数优选小于或等于1.8。
[0064] 减反射层优选含有至少一种氧化物。减反射层特别优选含有二氧化娃（Si化）。该 对窗玻璃的光学性质和功能层的耐蚀性特别有利。二氧化娃可具有渗杂剂，例如氣、碳、氮、 棚、磯和/或侣。氧化娃最特别优选用侣渗杂（Si〇2:Al)、用棚渗杂（Si〇2:B)或用错渗杂 (Si〇2:Zr)。
[006引但是，该减反射层还可含有其它材料，例如其它氧化物，如Al203。
[0066]该减反射层优选具有20纳米至150纳米，特别优选40纳米至100纳米的厚度。该 对低反射和高可见光透射率W及窗玻璃的所选色彩印象的设定和功能层的耐蚀性特别有 利。
[0067] 在一个特别有利的实施方案中，基板上的热福射反射涂层包含至少 -一个粘合层作为下方介电层， -在所述粘合层上，一个功能层， -在所述功能层上，一个用于调节氧扩散的阻挡层作为上方介电层，和 -在所述阻挡层上，一个减反射层。
[0068] 所述增暗层或所述多个增暗层优选布置在粘合层下方（即基板与粘合层之间)、粘 合层与功能层之间、功能层与阻挡层之间和/或阻挡层与减反射层之间。
[0069] 在上方介电层上方巧日任选在减反射层上方)，可W布置覆盖层。该覆盖层优选是 本发明的涂层的最上层。该覆盖层防止本发明的涂层受损，特别是防止划伤。该覆盖层优 选含有至少一种氧化物，特别优选至少氧化铁（Ti〇2)、氧化错（Zr〇2)、氧化給（Hf〇2)、氧化 魄（佩2〇5)、氧化粗（Ta2〇5)、氧化铭（&2〇3)、氧化鹤（W〇3)和/或氧化锦（Ce〇2)。该覆盖层的 厚度优选为2纳米至50纳米，特别优选5纳米至20纳米。因此，在抗划伤性方面获得特别 好的结果。增暗层也可W布置在上方介电层与覆盖层之间或减反射层与覆盖层之间。
[0070] 在下方介电层下方还可W布置附加介电增粘层，优选具有2纳米至15纳米的厚 度。例如，粘合层可含有Si〇2,附加增粘层可含有至少一种氧化物，如Ti〇2、Al2〇3、Ta2〇5、Y2〇3、 ZnO和/或化SnO,，或氮化物，如SisN4或A1N。有利地，该增粘层可进一步改进本发明的涂 层的粘合性。此外，该增粘层能够改进色值和透射或反射的调节。
[0071]该基板优选含有玻璃，特别优选平板玻璃、浮法玻璃、石英玻璃、棚娃玻璃、钢巧玻 璃或塑料，优选硬质塑料，特别是聚己締、聚丙締、聚碳酸醋、聚甲基丙締酸甲醋、聚苯己締、 聚酷胺、聚醋、聚氯己締和/或它们的混合物。
[0072] 在本发明的一个有利的实施方案中，该基板是染色和/或着色的。通过染色或着 色基板与本发明的涂层的组合，特别可W实现具有降低的在可见光谱范围内的透射率的改 进的热福射反射窗玻璃。此类窗玻璃可W例如在汽车行业中用作侧窗、后窗或车顶盖并由 于美观或热原因而是合意的。与具有减透射的热福射反射涂层(例如基于铭)的透明基板相 比，在本发明的窗玻璃中较难干扰性地注意到可能存在的层缺陷。此外，本发明的涂层进一 步降低透过有色基板的透射率，W致可获得具有极低透光率的窗玻璃。该基板优选具有小 于40%，特别优选小于20%，最特别优选小于15%，例如大约10%的在可见光谱范围内的透射 率。但是，该基板原则上也可具有例如大于或等于70%的更高透射率。因此，可借助本发明 的涂层获得轻微着色。
[0073] 在一个特别有利的实施方案中，基板具有小于15%的在可见光谱范围内的透射 率，且具有热福射反射涂层的窗玻璃具有小于10%的透射率。在一个最特别有利的实施方 案中，基板具有小于10%的在可见光谱范围内的透射率，且具有热福射反射涂层的窗玻璃 具有小于7%，特别是小于6%的透射率。因此，可W实现特别深色的窗玻璃。
[0074] 基板的厚度可W广为不同，因此可W理想地适应个例的要求。优选使用具有1. 0 毫米至25毫米，更优选1. 4毫米至4. 9毫米的标准厚度的窗玻璃。基板的尺寸可W广为不 同，并取决于本发明的用途。基板例如在汽车工程中和在建筑行业中具有200平方厘米至 20平方米的常规面积。
[0075] 该基板可W是平面的或在一个或多个空间方向上轻微或极大弯曲。平面窗玻璃例 如用于建筑行业中的装配玻璃或公共汽车、火车或拖拉机的大面积装配玻璃。曲面窗玻璃 例如用于汽车行业中的装配玻璃，典型曲率半径为大约10厘米至大约40米。曲率半径不必 在整个窗玻璃上恒定；在一个窗玻璃中可存在极大弯曲和较低弯曲的区域。本发明的一个 特定优点在于，可W为平面基板提供本发明的涂层且该涂层在通常在例如50(TC至70(TC 的升高的温度下进行的下游弯曲工艺的过程中不受损。原则上，该涂层当然也可W施加到 曲面基板上。基板的=维形状优选没有阴影区，W使该基板可例如通过阴极瓣射涂布。
[0076] 本发明的涂层可施加在基板表面上的整个面积上。但是，基板表面也可具有无涂 层区域。基板表面可例如具有外周无涂层边缘区域和/或充当数据传输窗或通信窗的无涂 层区域。
[0077] 该基板也可W在两个表面上都带有在每种情况下根据本发明的热福射反射涂层。
[0078] 在本发明的一个有利的实施方案中，基板经由至少一个热塑性中间层粘合到覆盖 板上W形成复合窗玻璃。在该复合窗玻璃的安装好的状态下，该覆盖板优选要面向外部环 境，而该基板面向内部。本发明的涂层优选布置在背向覆盖板的基板表面上。
[0079] 覆盖板优选含有玻璃，特别优选平板玻璃、浮法玻璃、石英玻璃、棚娃玻璃、钢巧玻 璃或塑料，优选硬质塑料，特别是聚己締、聚丙締、聚碳酸醋、聚甲基丙締酸甲醋、聚苯己締、 聚酷胺、聚醋、聚氯己締和/或它们的混合物。覆盖板优选具有1. 0毫米至25毫米，特别优 选1.4毫米至4. 9毫米的厚度。
[0080] 该热塑性中间层优选含有热塑性塑料，例如聚己締醇缩了醒（PVB)、己締己酸己締 醋（EVA)、聚氨醋（PU)、聚对苯二甲酸己二醇醋（PET)或它们的多个层，优选具有0. 3毫米至 0.9毫米的厚度。
[0081] 该复合窗玻璃在一个有利的实施方案中具有小于25%，优选小于15%，特别优选小 于10%，最特别优选小于8%，特别小于6%的在可见光谱范围内的透射率。基板、覆盖板和/ 或热塑性中间层优选是染色和/或着色的。覆盖板优选具有小于40%的在可见光谱范围内 的透射率；热塑性中间层优选具有20%至70%的透射率。
[0082] 在一个特别有利的实施方案中，在面向内部的基板表面上施加本发明的涂层，而 基板构成复合窗玻璃的面向内部的玻璃板。在面向覆盖板的基板表面上、在面向基板的覆 盖板表面上或在热塑性中间层的载体膜上进一步施加防晒涂层。有利地保护该防晒涂层免 受腐蚀和机械损伤。该防晒涂层优选包含至少一个基于银或含银合金的金属层，厚度为5 纳米至25纳米。借助被厚度为10纳米至100纳米的介电层彼此隔开的两个或=个功能层 获得特别好的结果。该防晒涂层反射在可见光谱范围外，特别是在红外光谱范围内的入射 太阳光部分。借助该防晒涂层，降低直射阳光对内部的加热。此外，该防晒涂层降低该复合 窗玻璃的在阳光入射方向上布置在该防晒涂层后的元件的变热，并因此降低该复合窗玻璃 散发的热福射。通过防晒涂层与本发明的用于反射热福射的涂层的组合，有利地进一步改 进内部的热舒适性。
[0083] 该基板也可W例如经由间隔条粘合到另一个板上W形成隔热玻璃窗 (Isolierverglassung)。该基板也可W经由热塑性中间层和/或间隔条粘合到多于一个其 它板上。
[0084] 本发明还包括制造具有热福射反射涂层的窗玻璃的方法，其中在基板上至少相继 施加 (a) -个下方介电层， 化）一个含有至少一种透明导电氧化物（TC0)的功能层，和(C)一个上方介电层 且其中，此外，在工艺步骤（a)之前、在工艺步骤（a)和化）之间、在工艺步骤化）和(C)之间和/或在工艺步骤（C)之后，施加至少一个含有具有大于1900°C的烙点和小于500 yohm*cm的比