一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置的制作方法

本发明涉及单晶硅生产安全技术领域，具体为一种一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置。

背景技术：

集成电路又被称为微电路、微芯片、芯片，其在电子学中是一种把电路(主要包括半导体装置，也包括被动元件等)小型化的集合电路板，并通常制造在半导体晶圆表面上，而单晶炉又是制备集成电路原材料单晶硅所必不可少的生产设备，其内部主要工作区域为热场，热场中装有导流筒，其内径上宽下窄，导流筒可减少炉体上部的稀有气体流动，防止氧化硅的沉积。

导流筒对晶体生长有着很大影响，在单晶拉直生产中，每一炉拉制完成后都需要进行拆炉，卸掉热场中的导流筒，在现如今的生产中，一般采用人力方式，由于导流筒为石墨结构，需等待导流筒降温至100摄氏度左右，然后从高约一米的炉筒中抬出放置在运输车内，这种办法无疑增加了人工劳动力的强度，且在搬运过程中因温度过高不仅容易烫伤工作人员，还会因工作人员在搬运过程中导流筒不小心触碰到皮肤，导致工作人员对过高温度的条件反射，撤掉搬运导流筒的双手，造成设备的损坏和工作人员的人身伤害。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置，具备减轻人工劳动强度，安全可靠等优点，解决了人工劳动强度高，安全性较差的问题。

(二)技术方案

为实现上述减轻人工劳动强度，安全可靠等目的，本发明提供如下技术方案：一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置，包括导流筒和稳定装置，所述稳定装置内部两侧插接有锁块，所述稳定装置内部中间位置安装有轴承，所述稳定装置前后两侧外表面固定连接有稳定杆，所述稳定杆另一端固定连接有滚轮，所述稳定装置下方两侧均转动连接有贯穿稳定装置的连杆，所述连杆的另一端固定连接有横向放置的压缩装置，所述连杆和压缩装置之间固定连接有固定块，所述压缩装置底端固定连接有伸缩杆，所述左右两伸缩杆之间固定连接有连接块，所述压缩装置的另一端固定连接有承重杆，所述承重杆顶端固定连接有滑轮，所述连杆的顶端固定连接有滑板，所述滑板两侧固定连接有连接板，所述滑板内部的中间位置滑动连接有滑块，所述滑板上方左右两侧分别转动连接有第一传动杆和第二传动杆，所述第一传动杆和第二传动杆转动连接有转轴。

优选的，所述锁块在连杆达到了一定角度时，将连杆锁住，防止转动，使导流筒脱落。

优选的，所述锁块侧表面上端开设有凹槽，方便使用者插拔锁块，所述锁块侧面中间位置安装有保护垫，所述锁块底端两侧均安装有限位块，防止锁块被拔出。

优选的，所述压缩装置内部安装有压缩弹簧。

优选的，所述转轴表面安装有把手，方便使用者抬升导流筒。

优选的，所述把手外表面安装有橡胶垫，起到了防滑的作用。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置，具备以下有益效果：

该集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置，通过设置压缩装置、连杆、承重杆和稳定装置，在工作人员需要吊起导流筒进行装运时，工作人员将装置慢慢放入导流筒内，最先与导流筒壁接触的滑轮和滑轮上方的滚轮在下落的过程中会受到横向的作用力，使其设置在滑轮和滚轮后面的压缩装置和稳定杆开始收缩，同时带动伸缩杆收缩，以适合口径不断减小的导流筒，当滑轮到达导流筒底端时，滑轮离开导流筒内壁，压缩装置内收缩的弹簧会发生回弹，带动滑轮伸长一端距离，使承重杆处于导流筒下方且长度大于导流筒底部口径，这时工作人员先通过稳定装置上的锁块将连杆固定，防止连杆转动带动伸缩杆收缩，使导流筒脱落，然后通过把手将装置抬起，承重杆就会将导流筒一起抬起，同时滚轮在导流筒内壁两侧的作用力卡住内壁，起到了稳定导流筒的作用，达到了减轻人工劳动强度，安全可靠的效果。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明结构a处放大示意图；

图3为本发明稳定装置结构右视剖视图；

图4为本发明转轴结构右视剖视图；

图5为本发明正面结构俯视图；

图6为本发明工作状态示意图。

图中：1导流筒、2稳定装置、21锁块、211凹槽、22保护垫、23轴承、24稳定杆、25滚轮、26限位块、3连杆、4压缩装置、41压缩弹簧、5伸缩杆、6连接块、7固定块、8承重杆、9滑轮、10滑板、101滑块、11连接板、12第一传动杆、121第二传动杆、13转轴、14把手、15橡胶垫。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3，一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置，包括导流筒1和稳定装置2，整个装置由耐高温材料制成，稳定装置2内部两侧插接有锁块21，锁块21在连杆3达到了一定角度时，将连杆3锁住，防止转动，使导流筒1脱落，锁块21侧表面上端开设有凹槽211，方便使用者插拔锁块21，锁块21侧面中间位置安装有保护垫22，锁块21底端两侧均安装有限位块26，防止锁块21被拔出，稳定装置2内部中间位置安装有轴承23，所述轴承23控制连杆3的转动，稳定装置2前后两侧外表面固定连接有稳定杆24，稳定杆24另一端固定连接有滚轮25，稳定杆24和滚轮25在抬升导流筒1时，防止导流筒1晃动。

请参阅图1-6，稳定装置2下方两侧均转动连接有贯穿稳定装置2的连杆3，连杆3的另一端固定连接有横向放置的压缩装置4，压缩装置4在导流筒1口径减少时逐渐压缩，压缩装置4内部安装有压缩弹簧41，连杆3和压缩装置4之间固定连接有固定块7，压缩装置4底端固定连接有伸缩杆5，左右两伸缩杆5之间固定连接有连接块6，压缩装置4的另一端固定连接有承重杆8，承重杆8起到了托起导流筒1重力的作用，承重杆8顶端固定连接有滑轮9，通过设置压缩装置4、连杆3、承重杆8和稳定装置2，在工作人员需要吊起导流筒1进行装运时，工作人员将装置慢慢放入导流筒1内，最先与导流筒1壁接触的滑轮9和滑轮9上方的滚轮25在下落的过程中会受到横向的作用力，使其设置在滑轮9和滚轮25后面的压缩装置4和稳定杆24开始收缩，同时带动伸缩杆5收缩，以适合口径不断减小的导流筒1，当滑轮9到达导流筒1底端时，滑轮9离开导流筒1内壁，压缩装置4内收缩的弹簧会发生回弹，带动滑轮9伸长一端距离，使承重杆8处于导流筒1下方且长度大于导流筒1底部口径，这时工作人员先通过稳定装置2上的锁块21将连杆3固定，防止连杆3转动带动伸缩杆5收缩，使导流筒1脱落，然后通过把手14将装置抬起，承重杆8就会将导流筒1一起抬起，同时滚轮25在导流筒内壁两侧的作用力卡住内壁，起到了稳定导流筒1的作用，达到了减轻人工劳动强度，安全可靠的效果。

请参阅图2-4，连杆3的顶端固定连接有滑板10，滑板10两侧固定连接有连接板11，滑板10内部的中间位置滑动连接有滑块101，滑板10上方左右两侧分别转动连接有第一传动杆12和第二传动杆121，第一传动杆12和第二传动杆121转动连接有转轴13，转轴13表面安装有把手14，方便使用者抬升导流筒1，把手14外表面安装有橡胶垫15，起到了防滑的作用。

工作原理：在工作人员需要吊起导流筒1进行装运时，工作人员将装置慢慢放入导流筒1内，最先与导流筒1壁接触的滑轮9和滑轮9上方的滚轮25在下落的过程中会受到横向的作用力，使其设置在滑轮9和滚轮25后面的压缩装置4和稳定杆24开始收缩，同时带动伸缩杆5收缩，以适合口径不断减小的导流筒1，当滑轮9到达导流筒1底端时，滑轮9离开导流筒1内壁，压缩装置4内收缩的弹簧会发生回弹，带动滑轮9伸长一端距离，使承重杆8处于导流筒1下方且长度大于导流筒1底部口径，这时工作人员先通过稳定装置2上的锁块21将连杆3固定，防止连杆3转动带动伸缩杆5收缩，使导流筒1脱落，然后通过把手14将装置抬起，承重杆8就会将导流筒1一起抬起，同时滚轮25在导流筒内壁两侧的作用力卡住内壁，起到了稳定导流筒1的作用。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素，在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。