一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置的制作方法

文档序号:20018705发布日期:2020-02-25 11:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置,包括导流筒(1)和稳定装置(2),其特征在于:所述稳定装置(2)内部两侧插接有锁块(21),所述稳定装置(2)内部中间位置安装有轴承(23),所述稳定装置(2)前后两侧外表面固定连接有稳定杆(24),所述稳定杆(24)另一端固定连接有滚轮(25),所述稳定装置(2)下方两侧均转动连接有贯穿稳定装置的连杆(3),所述连杆(3)的另一端固定连接有横向放置的压缩装置(4),所述连杆(3)和压缩装置(4)之间固定连接有固定块(7),所述压缩装置(4)底端固定连接有伸缩杆(5),所述左右两伸缩杆(5)之间固定连接有连接块(6),所述压缩装置(4)的另一端固定连接有承重杆(8),所述承重杆(8)顶端固定连接有滑轮(9),所述连杆(3)的顶端固定连接有滑板(10),所述滑板(10)两侧固定连接有连接板(11),所述滑板(10)内部的中间位置滑动连接有滑块(101),所述滑板(10)上方左右两侧分别转动连接有第一传动杆(12)和第二传动杆(121),所述第一传动杆(12)和第二传动杆(121)转动连接有转轴(13)。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置,其特征在于:所述锁块(21)侧表面上端开设有凹槽(211),所述锁块(21)侧面中间位置安装有保护垫(22),所述锁块底端两侧均安装有限位块(26)。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置,其特征在于:所述压缩装置(4)内部安装有压缩弹簧(41)。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置,其特征在于:所述转轴(13)表面安装有把手(14),所述把手(14)外表面安装有橡胶垫(15)。

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