一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件的制作方法

1.本实用新型属于电子技术领域，尤其涉及一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件。


背景技术：

2.所谓溅射是制备薄膜材料的主要技术，通过离子对目标物进行轰击，使靶材中的金属原子以一定能量溢出，从而在晶圆表面沉积，形成金属薄膜，其中被轰击的固体就是溅射靶材，是半导体制造中的关键材料。
3.芯片制造对溅射靶材金属纯度的要求非常非常高，一般都要达到99.999％以上纯度，在芯片生产过程中，通常对溅射靶材进行集装后运输，在对集装后的靶材组件进在运输过程时容易受到外力作用和颠簸，导致靶材组件产生变形，对靶材组件的使用造成影响，防护效果较差，且同时靶材组件在运输储存过程中，空气中的氧气容易对靶材的表面进行氧化，从而对靶材的使用精度造成影响，故需要一定的改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决传统靶材在对集装后的靶材组件进在运输过程时容易受到外力作用和颠簸，导致靶材组件产生变形，对靶材组件的使用造成影响，防护效果较差，且同时靶材组件在运输储存过程中，空气中的氧气容易对靶材的表面进行氧化，从而对靶材的使用精度造成影响的问题，而提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体、盖板、抽风组件和固定组件，所述盖板通过合页转动连接在箱体上，所述箱体一侧固定连通有抽风组件，所述箱体内部的底侧固定连接有放置板，放置板顶部两侧均固定连接有第一竖板，所述第一竖板相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧，第一弹簧另一端固定有第二竖板；
7.所述放置板的内部设置有固定组件，所述固定组件包括正反丝杆，所述正反丝杆转动连接在放置板内部，且所述正反丝杆一端依次穿过放置板和箱体并延伸至外侧固定连接有转柄，所述正反丝杆上固定套接有第一带轮，第一带轮上套接有传送带，所述正反丝杆上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套上端固定连接有第一夹紧块，所述第一夹紧块的顶部固定连接有第二夹紧块。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述抽风组件包括壳体，所述壳体的内部转动连接有连接轴，连接轴相对外侧的一端固定套接有第二带轮，所述第二带轮经过传送带与第一带轮传动连接，所述连接轴另一端固定套接有扇叶。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述第一夹紧块下端两侧均固定有滑块，所述滑块下端滑动连接有滑轨，所述滑
轨固定连接在放置板顶部的两侧。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述第一夹紧块内部的两侧均设置有梯形凹槽，梯形凹槽内滑动连接有滑轮，所述滑轮相背的一侧固定连接有导杆，且导杆滑动连接在第一夹紧块上，导杆相对滑轮的一侧固定套接有挡板，所述导杆另一端固定连接在第二竖板上。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述第二夹紧块设置成l型块，所述第二夹紧块相对一侧的底部开设有多个安装槽，安装槽内部固定连接有多个第二弹簧，第二弹簧的另一端固定连接有抵块，所述抵块的底部设置成半圆形，且抵块的底部设置成弹性件。
16.作为上述技术方案的进一步描述：
17.所述第二竖板和第一夹紧块相对的一侧均设置有保护垫。
18.作为上述技术方案的进一步描述：
19.所述箱体上开设有矩形凹槽，所述盖板上固定连接有矩形密封垫，矩形密封垫与矩形凹槽相配合。
20.综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
21.1、本实用新型中，通过将靶材放置到放置板上，合上盖板，对箱体进行密封，手摇转动转柄，带动正反丝杆转动，使螺纹套带动第一夹紧块相对移动，同时第二弹簧带动抵块向下移动，使抵块抵住靶材表面，对靶材的进行固定保护。
22.2、本实用新型中，通过第一夹紧块相对移动，带动滑轮和导杆在第一夹紧块内滑动，第一弹簧带动第二竖板相对移动，对靶材的纵向位置进行固定，从而对靶材进行全面固定，以防靶材在运输过程中遇到外力作用，产生变形，影响靶材的正常使用。
23.3、本实用新型中，在转柄带动正反丝杆转动的同时，带动第一带轮转动，再经过传送带将动力输送到第二带轮上，带动连接轴和扇叶转动，将箱体内部的空气抽出，以防靶材氧化，对靶材的精度造成影响。
附图说明
24.图1为本实用新型提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件的立体结构示意图；
25.图2为本实用新型提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件固定组件的立体结构示意图；
26.图3为本实用新型提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件放置板的俯视结构示意图；
27.图4为本实用新型提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件第二夹紧块的结构示意图；
28.图5为本实用新型提出的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件抽风组件的结构示意图。
29.图例说明：
30.1、箱体；2、盖板；3、抽风组件；301、连接轴；302、第二带轮；303、扇叶；4、放置板；5、第一竖板；6、第一弹簧；7、第二竖板；8、固定组件；801、正反丝杆；802、第一夹紧块；803、第
二夹紧块；804、第二弹簧；805、抵块；806、第一带轮；807、传送带；808、滑轮；809、导杆。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体1、盖板2、抽风组件3和固定组件8，盖板2通过合页转动连接在箱体1上，箱体1一侧固定连通有抽风组件3，箱体1内部的底侧固定连接有放置板4，放置板4顶部两侧均固定连接有第一竖板5，第一竖板5相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧6，第一弹簧6另一端固定有第二竖板7，放置板4的内部设置有固定组件8，固定组件8包括正反丝杆801，正反丝杆801转动连接在放置板4内部，且正反丝杆801一端依次穿过放置板4和箱体1并延伸至外侧固定连接有转柄，正反丝杆801上固定套接有第一带轮806，第一带轮806上套接有传送带807，正反丝杆801上螺纹连接有螺纹套，螺纹套上端固定连接有第一夹紧块802，第一夹紧块802的顶部固定连接有第二夹紧块803。
33.如图5所示，抽风组件3包括壳体，壳体的内部转动连接有连接轴301，连接轴301相对外侧的一端固定套接有第二带轮302，第二带轮302经过传送带807与第一带轮806传动连接，连接轴301另一端固定套接有扇叶303。
34.如图1-3所示，第一夹紧块802下端两侧均固定有滑块，滑块下端滑动连接有滑轨，滑轨固定连接在放置板4顶部的两侧。
35.如图1-3所示，第一夹紧块802内部的两侧均设置有梯形凹槽，梯形凹槽内滑动连接有滑轮808，滑轮808相背的一侧固定连接有导杆809，且导杆809滑动连接在第一夹紧块802上，导杆809相对滑轮808的一侧固定套接有挡板，导杆809另一端固定连接在第二竖板7上。
36.如图1-4所示，第二夹紧块803设置成l型块，第二夹紧块803相对一侧的底部开设有多个安装槽，安装槽内部固定连接有多个第二弹簧804，第二弹簧804的另一端固定连接有抵块805，抵块805的底部设置成半圆形，且抵块805的底部设置成弹性件。
37.如图1-3所示，第二竖板7和第一夹紧块802相对的一侧均设置有保护垫。
38.如图1所示，箱体1上开设有矩形凹槽，盖板2上固定连接有矩形密封垫，矩形密封垫与矩形凹槽相配合。
39.工作原理：使用时，将靶材放置到放置板4上，合上盖板2，对箱体1进行密封，手摇转动转柄，带动正反丝杆801转动，使螺纹套带动第一夹紧块802相对移动，对靶材的横向位置进行固定，同时第二弹簧804带动抵块805向下移动，使抵块805抵住靶材表面，对靶材的竖直位置进行固定，通过第一夹紧块802相对移动，带动滑轮808和导杆809在第一夹紧块802内滑动，第一弹簧6带动第二竖板7相对移动，对靶材的纵向位置进行固定，对靶材进行全面固定，以防靶材在运输过程中遇到外力作用和颠簸时，产生变形，影响靶材的正常使用，通过保护垫在第一夹紧块802、第二夹紧块803和第二竖板7在对靶材进行固定时，对靶材表面进行固定，以防对靶材表面造成损害，在转柄带动正反丝杆801转动的同时，带动第
一带轮806转动，再经过传送带807将动力输送到第二带轮302上，带动连接轴301和扇叶303转动，将箱体1内部的空气抽出，以防靶材氧化，对靶材的精度造成影响。
40.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。