技术特征：
1.一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，包括箱体(1)、盖板(2)、抽风组件(3)和固定组件(8)，其特征在于，所述盖板(2)通过合页转动连接在箱体(1)上，所述箱体(1)一侧固定连通有抽风组件(3)，所述箱体(1)内部的底侧固定连接有放置板(4)，放置板(4)顶部两侧均固定连接有第一竖板(5)，所述第一竖板(5)相对的一侧呈线性分布有多个第一弹簧(6)，第一弹簧(6)另一端固定有第二竖板(7)；所述放置板(4)的内部设置有固定组件(8)，所述固定组件(8)包括正反丝杆(801)，所述正反丝杆(801)转动连接在放置板(4)内部，且所述正反丝杆(801)一端依次穿过放置板(4)和箱体(1)并延伸至外侧固定连接有转柄，所述正反丝杆(801)上固定套接有第一带轮(806)，第一带轮(806)上套接有传送带(807)，所述正反丝杆(801)上螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套上端固定连接有第一夹紧块(802)，所述第一夹紧块(802)的顶部固定连接有第二夹紧块(803)。2.根据权利要求1所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述抽风组件(3)包括壳体，所述壳体的内部转动连接有连接轴(301)，连接轴(301)相对外侧的一端固定套接有第二带轮(302)，所述第二带轮(302)经过传送带(807)与第一带轮(806)传动连接，所述连接轴(301)另一端固定套接有扇叶(303)。3.根据权利要求1所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述第一夹紧块(802)下端两侧均固定有滑块，所述滑块下端滑动连接有滑轨，所述滑轨固定连接在放置板(4)顶部的两侧。4.根据权利要求3所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述第一夹紧块(802)内部的两侧均设置有梯形凹槽，梯形凹槽内滑动连接有滑轮(808)，所述滑轮(808)相背的一侧固定连接有导杆(809)，且导杆(809)滑动连接在第一夹紧块(802)上，导杆(809)相对滑轮(808)的一侧固定套接有挡板，所述导杆(809)另一端固定连接在第二竖板(7)上。5.根据权利要求1所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述第二夹紧块(803)设置成l型块，所述第二夹紧块(803)相对一侧的底部开设有多个安装槽，安装槽内部固定连接有多个第二弹簧(804)，第二弹簧(804)的另一端固定连接有抵块(805)，所述抵块(805)的底部设置成半圆形，且抵块(805)的底部设置成弹性件。6.根据权利要求1所述的一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，其特征在于，所述第二竖板(7)和第一夹紧块(802)相对的一侧均设置有保护垫，所述箱体(1)上开设有矩形凹槽，所述盖板(2)上固定连接有矩形密封垫，矩形密封垫与矩形凹槽相配合。
技术总结
本实用新型公开了一种防护效果好的高纯溅射靶材集装组件，属于电子技术领域，包括箱体、盖板、抽风组件和固定组件，所述箱体一侧固定连通有抽风组件，所述箱体内部的底侧固定连接有放置板，所述放置板的内部设置有固定组件。本实用新型中，使用时，手摇转动转柄，带动正反丝杆转动，使螺纹套带动第一夹紧块相对移动，同时带动滑轮和导杆在第一夹紧块内滑动，第一弹簧带动第二竖板相对移动，对靶材进行全面固定，以防靶材在运输过程中遇到颠簸，产生变形，在转柄带动正反丝杆转动的同时，带动第一带轮转动，再经过传送带将动力输送到第二带轮上，带动连接轴和扇叶转动，将箱体内部的空气抽出，以防靶材氧化，对靶材的精度造成影响。对靶材的精度造成影响。对靶材的精度造成影响。
技术研发人员：韦建敏 张晓蓓 赵兴文 刘正斌 张小波
受保护的技术使用者：仁寿华赐半导体材料有限公司
技术研发日：2021.11.18
技术公布日：2022/6/17