一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于光刻投影物镜中物镜的吊装和运输领域，具体涉及一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置。
【背景技术】
[0002]光刻投影技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础，决定了集成电路的集成度。光刻投影物镜具有尺寸大、重量高、装配精度高、多镜组装配组合等特点，在物镜集成装配的过程中经常需要吊装镜组；同时物镜的测试和使用过程十分复杂，需要使用不同的设备对物镜进行测试，要求物镜在设备之间多次起吊和安放，而且物镜对于振动的要求十分严格，要求在起吊和安放以及运输过程中避免产生过大的冲击和倾斜。过大的冲击和较大的倾斜会导致物镜内部柔性机构的位置变化甚至损坏。
[0003]现有技术中物镜的吊装和运输过程中使用的吊装装置采用3个刚性杆连接物镜，在物镜起吊和安放过程中使物镜受到振动冲击，且当3个刚性杆的安装长度不同时，物镜发生倾斜，使物镜内的柔性机构存在损坏的风险。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提出一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，解决现有技术在物镜起吊和运输过程中存在的物镜振动冲击和倾斜问题。
[0005]为实现上述目的，本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置包括吊装板和吊装杆；三个所述吊装杆的一端分别与所述吊装板连接；
[0006]所述吊装杆包括上吊装杆、下吊装杆和自平衡调节器；所述上吊装杆一端与所述吊装板固定连接，另一端与长度可调的自平衡调节器一端连接，所述自平衡调节器另一端与所述下吊装杆一端连接；
[0007]所述自平衡调节器内部包括压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在所述自平衡调节器与所述上吊装杆连接处。
[0008]所述吊装板整体为三角形结构，所述吊装板包括吊装板主体和吊环螺钉；所述吊装板主体三个角处分别设置有吊装杆安装孔，中间位置处设置有吊环螺钉安装螺纹孔；
[0009]所述上吊装杆穿过所述吊装杆安装孔与吊装杆螺母螺纹连接，所述吊装杆螺母与吊装板主体之间设置有垫片；
[0010]所述吊环螺钉与所述吊环螺钉安装螺纹孔螺纹连接，所述吊环螺钉穿过吊装板主体部分与一个锁紧螺母螺纹连接。
[0011]所述自平衡调节器还包括上调节器和下调节器；所述上调节器为圆柱形结构，圆柱型结构设置有圆柱外螺纹，中间设置有通孔，圆柱型结构的一端设置有圆形平台A，所述圆形平台A中间设置有中心圆孔A，所述中心圆孔A的内径小于上调节器的通孔的内径；所述下调节器为圆柱形结构，圆柱型结构中间设置有通孔，圆柱形结构设置有圆柱内螺纹，圆柱型结构的一端设置有圆形平台B，所述圆形平台B中间设置有中心圆孔B，所述中心圆孔B的内径小于下调节器的通孔的内径；所述上调节器的圆柱外螺纹与所述下调节器的圆柱内螺纹配合。
[0012]所述圆形平台A外表面上设置有对称平面A，所述圆形平台B外表面上设置有对称平面B。
[0013]所述上吊装杆包括上吊装杆凸台、上吊装杆主体和上吊装杆安装螺纹；所述上吊装杆主体的一端设置有所述上吊装杆凸台，所述上吊装杆主体的另一端设置有所述上吊装杆安装螺纹；所述上吊装杆安装螺纹穿过吊装板安装孔与所述吊装杆螺母螺纹连接，所述上吊装杆凸台设置在所述上调节器的通孔中，与所述上调节器的圆形平台A接触，所述压缩弹簧设置在所述上吊装杆凸台与所述圆形平台A之间。
[0014]所述上吊装杆主体上设置有对称平面C。
[0015]所述下吊装杆包括下吊装杆凸台、下吊装杆主体和下吊装杆安装螺纹；所述下吊装杆主体的一端设置有所述下吊装杆凸台，所述下吊装杆主体的另一端设置有所述下吊装杆安装螺纹，所述下吊装杆凸台设置在所述下调节器中，与所述下调节器的圆形平台B接触。
[0016]所述下吊装杆主体上设置有对称平面D。
[0017]本发明的有益效果为:本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中上调节器的圆柱外螺纹与下调节器的圆柱内螺纹配合调节自平衡调节器的长度，上调节器的圆形平台A用于限制压缩弹簧的位置，上调节器的中心圆孔A用于上吊装杆的安装，上调节器的对称平面A用于扳手操作；下调节器的圆形平台B用于限制下吊装杆凸台的位置，下调节器的中心圆孔B用于下吊装杆的安装，下调节器的对称平面B用于扳手操作；其装配形式为上吊装杆通过螺母与吊装板连接，下吊装杆通过下吊装杆安装螺纹与物镜连接，上吊装杆和下吊装杆之间通过自平衡调节器相连接。压缩弹簧安装在上吊装杆凸台和上调节器圆形平台A之间，在物镜吊起时起到缓冲振动和自平衡的作用。
[0018]本发明的吊装装置能避免光刻投影物镜在起吊和安放过程中由于冲击导致物镜柔性组件损坏的问题。同时由于物镜的质量分布在各个方向上基本对称，该吊装装置能够在物镜吊起时有效地保证物镜平衡，避免物镜倾斜过大的问题，满足物镜吊装和运输需求，降低光刻投影物镜损坏的危险。
[0019]本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，可以避免光刻投影物镜在起吊和安放过程中由于冲击导致物镜柔性组件损坏的问题。该结构具有结构简单、便于操作、可靠性高和通用性好等突出优点，可以很好的适用于物镜吊装和搬运过程，实现可靠吊装。
【附图说明】
[0020]图1为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置的立体装配示意图；
[0021]图2为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置的主视剖视图；
[0022]图3为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中吊装板立体示意图；
[0023]图4为图3的仰视立体示意图；
[0024]图5为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中上吊装杆的立体结构示意图；
[0025]图6为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中下吊装杆的立体结构示意图；
[0026]图7为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中上调节器的立体结构示意图；
[0027]图8为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中上调节器的结构剖视图；
[0028]图9为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中下调节器的立体结构示意图；
[0029]图10为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中下调节器结构剖视图；
[0030]图11为本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置中吊装杆的立体装配示意图；
[0031]图12是图11的局部剖视图；
[0032]其中:1、吊装板，1-1、吊装板主体，1-2、吊环螺钉，1-3、锁紧螺母，1_4、吊环螺钉安装螺纹孔，1_5、吊装杆螺母，1-6、垫片，1_7、吊装杆安装孔，2、上吊装杆，2_1、上吊装杆凸台，2_2、上吊装杆主体，2_2_1、对称平面C，2_3、上吊装杆安装螺纹，3、下吊装杆，3_1、下吊装杆凸台，3-2、下吊装杆主体，3-2-1、对称平面D，3_3、下吊装杆安装螺纹，4、自平衡调节器，4-1、上调节器，4-1-1、圆柱外螺纹，4-1-2、圆形平台A，4+3、中心圆孔A，4+4、对称平面A，4_2、压缩弹黃，4_3、下调节器，4_3_1、圆柱内螺纹，4_3_2、圆形平台B，4_3_3、中心圆孔B，4-3-4、对称平面B。
【具体实施方式】
[0033]下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。
[0034]参见附图1和附图2，本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置包括吊装板1和吊装杆；三个所述吊装杆的一端分别与所述吊装板1连接；
[0035]所述吊装杆包括上吊装杆2、下吊装杆3和自平衡调节器4 ;所述上吊装杆2 —端与所述吊装板1固定连接，另一端与长度可调的自平衡调节器4 一端连接，所述自平衡调节器4另一端与所述下吊装杆3 —端连接；
[0036]所述自平衡调节器4内部包括压缩弹簧4-2，所述压缩弹簧4-2设置在所述自平衡调节器4与所述上吊装杆2连接处。
[0037]参见附图3和附图4，所述吊装板1整体为三角形结构，所述吊装板1包括吊装板主体1-1和吊环螺钉1-2 ;所述吊装板主体1-1三个角处分别设置有吊装杆安装孔1-7，中间位置处设置有吊环螺钉安装螺纹孔1-4 ;
[0038]所述上吊装杆2穿过所述吊装杆安装孔1-7与吊装杆螺母1-5螺纹连接，所述吊装杆螺母1-5与吊装板主体1-1之间设置有垫片1-6 ;
[0039]所述吊环螺钉1-2与所述吊环螺钉安装螺纹孔1-4螺纹连接，所述吊环螺钉1-2穿过吊装板主体1-1部分与一个锁紧螺母1-3螺纹连接，其中，所述锁紧螺母1-3用于吊环螺钉1-2的放松。
[0040]参见附图7、附图8、附图9和附图10，所述自平衡调节器4还包括上调节器4-1和下调节器4-3 ;所述上调节器4-1为圆柱形结构，圆柱型结构设置有圆柱外螺纹4-1-1，中间设置有通孔，圆柱型结构的一端设置有圆形平台A4-1-2，所述圆形平台A4-1-2中间设置有中心圆孔A4-1-3，所述中心圆孔A4-1-3的内径小于上调节器4_1的通孔的内径；所述下调节