器4-3为圆柱形结构，圆柱型结构中间设置有通孔，圆柱形结构设置有圆柱内螺纹4-3-1，圆柱型结构的一端设置有圆形平台B4-3-2，所述圆形平台B4-3-2中间设置有中心圆孔B4-3-3，所述中心圆孔B4-3-3的内径小于下调节器4_3的通孔的内径；所述上调节器4-1的圆柱外螺纹4-1-1与所述下调节器4-3的圆柱内螺纹4-3-1配合。压缩弹簧4_2在起吊和安放过程中起到缓解冲击振动的作用。同时由于物镜的质量分布在各个方向上基本对称，在吊起物镜时压缩弹簧4-2能够保证物镜平衡，有效地避免物镜产生较大倾斜，保护物镜内部结构。
[0041]所述圆形平台A4-1-2外表面上设置有对称平面A4-1-4，所述圆形平台B4_3_2外表面上设置有对称平面B4-3-4。对称平面A4-1-4和对称平面B4-3-4用于板手操作。
[0042]参见附图5所述上吊装杆2包括上吊装杆凸台2-1、上吊装杆主体2-2和上吊装杆安装螺纹；所述上吊装杆主体2-2的一端设置有所述上吊装杆凸台2-1，所述上吊装杆主体2-2的另一端设置有所述上吊装杆安装螺纹；所述上吊装杆安装螺纹穿过吊装板1安装孔与所述吊装杆螺母1-5螺纹连接，所述上吊装杆凸台2-1设置在所述上调节器4-1的通孔中，与所述上调节器4-1的圆形平台A4-1-2接触，所述压缩弹簧4-2设置在所述上吊装杆凸台2-1与所述圆形平台A4-1-2之间。
[0043]所述上吊装杆主体2_2上设置有对称平面C2-2-1，所述对称平面C2_2_l用于扳手操作时与扳手接触。
[0044]参见附图6，所述下吊装杆3包括下吊装杆凸台3-1、下吊装杆主体3-2和下吊装杆安装螺纹3-3 ;所述下吊装杆主体3-2的一端设置有所述下吊装杆凸台3-1，所述下吊装杆主体3-2的另一端设置有所述下吊装杆安装螺纹3-3，所述下吊装杆凸台3-1设置在所述下调节器4-3中，与所述下调节器4-3的圆形平台B4-3-2接触。
[0045]所述下吊装杆主体3-2上设置有对称平面D3-2-1，所述对称平面D3_2_l用于扳手操作时与扳手接触。
[0046]本发明的吊装装置的装配及工作过程如下:
[0047]将压缩弹簧4-2套在上吊装杆主体2-2上，将上吊装杆主体2_2穿过上调节器4_1的中心圆孔A4-1-3，保证压缩弹簧4-2的一端与上吊装杆凸台2-1接触，压缩弹簧4_2的另一端与上调节器4-1的圆形平台A4-1-2接触；将下吊装杆主体3-2穿过下调节器4_3的中心圆孔B4-3-3，保证下吊装杆凸台3-1与下调节器4-3的圆形平台B4-3-2接触；将上调节器4-1的圆柱外螺纹4-1-1拧入下调节器4-3的圆柱内螺纹4-3-1中，完成3个吊装杆中的自平衡调节器4处的装配。
[0048]将吊环螺钉1-2拧入吊装板1的吊环螺钉1-2安装孔，将锁紧螺母1-3安装到吊环螺钉1-2上，用于吊环螺钉1-2的防松。
[0049]将下吊装杆安装螺纹3-3与物镜连接，连接时可使用扳手夹住下吊装杆主体3-2的对称平面D3-2-1旋紧下吊装杆安装螺纹3-3，保证下吊装杆3与物镜可靠连接，完成三处下吊装杆3与物镜的安装；将上吊装杆安装螺纹穿过吊装板1的吊装杆安装孔1-7，依次使用垫片1-6和两个吊装杆螺母1-5将上吊装杆2与吊装板主体1-1连接，完成三处上吊装杆2与吊装板1的安装。
[0050] 吊装装置的工作过程是首先将吊装装置按照上述装配过程安装完成，通过旋转三处自平衡调节器4的上调节器4-1和下调节器4-3将吊装板1目测调平，使用天吊等起重机器提拉吊装板1的吊环螺钉1-2，压缩弹簧4-2逐渐被压缩，直至物镜被吊起，该过程能够实现平稳提升物镜。由于物镜的质量分布在各个方向上基本对称，在压缩弹簧4-2的弹性伸缩作用下，吊装装置的吊装杆能够根据物镜重量分布自行调节长度，减小物镜的倾斜量；在物镜下落安放过程中，压缩弹簧4-2逐渐恢复，可使物镜平稳安放，缓解了在物镜吊起和下落安放过程中对物镜的冲击振动。
【主权项】
1.一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，包括吊装板(1)和吊装杆；三个所述吊装杆的一端分别与所述吊装板(1)连接； 所述吊装杆包括上吊装杆(2)、下吊装杆(3)和自平衡调节器⑷；所述上吊装杆(2)一端与所述吊装板(1)固定连接，另一端与长度可调的自平衡调节器(4) 一端连接，所述自平衡调节器(4)另一端与所述下吊装杆(3) —端连接； 所述自平衡调节器(4)内部包括压缩弹簧(4-2)，所述压缩弹簧(4-2)设置在所述自平衡调节器(4)与所述上吊装杆(2)连接处。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述吊装板(1)整体为三角形结构，所述吊装板(1)包括吊装板主体(1-1)和吊环螺钉(1-2);所述吊装板主体(1-1)三个角处分别设置有吊装杆安装孔(1-7)，中间位置处设置有吊环螺钉安装螺纹孔(1-4); 所述上吊装杆(2)穿过所述吊装杆安装孔(1-7)与吊装杆螺母(1-5)螺纹连接，所述吊装杆螺母(1-5)与吊装板主体(1-1)之间设置有垫片(1-6); 所述吊环螺钉(1-2)与所述吊环螺钉安装螺纹孔(1-4)螺纹连接，所述吊环螺钉(1-2)穿过吊装板主体(1-1)部分与一个锁紧螺母(1-3)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述自平衡调节器(4)还包括上调节器(4-1)和下调节器(4-3);所述上调节器(4-1)为圆柱形结构，圆柱型结构设置有圆柱外螺纹(4-1-1)，中间设置有通孔，圆柱型结构的一端设置有圆形平台A(4-1-2)，所述圆形平台A(4-1-2)中间设置有中心圆孔A(4-1-3)，所述中心圆孔A(4-l-3)的内径小于上调节器(4-1)的通孔的内径；所述下调节器(4-3)为圆柱形结构，圆柱型结构中间设置有通孔，圆柱形结构设置有圆柱内螺纹(4-3-1)，圆柱型结构的一端设置有圆形平台B (4-3-2)，所述圆形平台B (4-3-2)中间设置有中心圆孔B (4-3-3)，所述中心圆孔B(4-3-3)的内径小于下调节器(4-3)的通孔的内径；所述上调节器(4-1)的圆柱外螺纹(4-1-1)与所述下调节器(4-3)的圆柱内螺纹(4-3-1)配合。4.根据权利要求3所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述圆形平台A(4-l-2)外表面上设置有对称平面A(4-l-4)，所述圆形平台B(4-3-2)外表面上设置有对称平面B (4-3-4)。5.根据权利要求3所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述上吊装杆(2)包括上吊装杆凸台(2-1)、上吊装杆主体(2-2)和上吊装杆安装螺纹(2-2-1);所述上吊装杆主体(2-2)的一端设置有所述上吊装杆凸台(2-1)，所述上吊装杆主体(2-2)的另一端设置有所述上吊装杆安装螺纹(2-2-1);所述上吊装杆安装螺纹(2-2-1)穿过吊装板(1)安装孔与所述吊装杆螺母(1-5)螺纹连接，所述上吊装杆凸台(2-1)设置在所述上调节器(4-1)的通孔中，与所述上调节器(4-1)的圆形平台A(4-l-2)接触，所述压缩弹簧(4-2)设置在所述上吊装杆凸台(2-1)与所述圆形平台A(4-l-2)之间。6.根据权利要求5所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述上吊装杆主体(2-2)上设置有对称平面C(2-2-1)。7.根据权利要求3所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述下吊装杆(3)包括下吊装杆凸台(3-1)、下吊装杆主体(3-2)和下吊装杆安装螺纹(3-3);所述下吊装杆主体(3-2)的一端设置有所述下吊装杆凸台(3-1)，所述下吊装杆主体(3-2)的另一端设置有所述下吊装杆安装螺纹(3-3)，所述下吊装杆凸台(3-1)设置在所述下调节器(4-3)中，与所述下调节器(4-3)的圆形平台B(4-3-2)接触。8.根据权利要求7所述的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，其特征在于，所述下吊装杆主体(3-2)上设置有对称平面D(3-2-1)。
【专利摘要】一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置属于光刻投影物镜中物镜的吊装和运输领域，目的在于提出一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置，解决现有技术在物镜起吊和运输过程中存在的物镜振动冲击和倾斜问题。本发明的一种用于光刻投影物镜中可自平衡的吊装装置包括吊装板和吊装杆；三个所述吊装杆的一端分别与所述吊装板连接；所述吊装杆包括上吊装杆、下吊装杆和自平衡调节器；所述上吊装杆一端与所述吊装板固定连接，另一端与长度可调的自平衡调节器一端连接，所述自平衡调节器另一端与所述下吊装杆一端连接；所述自平衡调节器内部包括压缩弹簧，所述压缩弹簧设置在所述自平衡调节器与所述上吊装杆连接处。
【IPC分类】B66C1/10
【公开号】CN105253766
【申请号】CN201510756931
【发明人】孙振, 赵磊, 倪明阳, 隋永新, 杨怀江, 张巍
【申请人】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年11月10日