一种用于移动终端的半导体材料热处理装置的制作方法

1.本发明属于烧结处理设备技术领域，更具体地说，特别涉及一种用于移动终端的半导体材料热处理装置。


背景技术：

2.随着社会的进步与发展，电子信息技术在逐渐的提高，使用的电子设备也在逐渐增加，手机电脑等智能设备均无法离开芯片，而芯片是使用光刻机在半导体硅片上使用紫外光进行雕刻，在将雕刻完成的半导体硅片上进行化学与镀银等处理，实现在半导体硅片形成微半导体电路，所使用的半导体为使用晶体硅制作，通常晶体硅在制作时需要进行烧结处理。
3.申请号：cn201810108129.2的专利中，本发明公开了一种电热烧结炉，包含一炉体、一循环桶、一废气抽送设备及一空气抽送设备，该炉体设置一内有一电热层的烧结腔室及一设在该炉体内底端且有多个通气孔及多条热气通道的置放层；利用该循环桶可使该炉体内电热烧结壳模残蜡所产生的废气，由该些热气通道从该炉体内送入连续循环燃烧废气，当该炉体内检测废气压力大时，利用该废气抽送设备将该炉体内的废气吸入，吸废气同时并藉该空气抽送设备供应空气予以帮助燃烧废气，当烧结程序完成开启该炉体的炉门，该废气抽送设备将废气压回该些热气通道及送至该炉体内燃烧，使废气燃烧完全，以达环保目的。
4.基于从上述已知的技术中发现，现有的对晶体硅进行烧结处理的设备，密封性能较差在加工处理过程中空气置换易发生泄漏，密封性能不够稳定，导致密封操作过于繁琐，而烧结处理后的晶体硅温度较高，卸料过程不便且较为危险。
5.于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种用于移动终端的半导体材料热处理装置，以期达到更具有实用价值性的目的。


技术实现要素：

6.为了解决上述技术问题，本发明提供一种用于移动终端的半导体材料热处理装置，以解决现有的对晶体硅进行烧结处理的设备，密封性能较差加工处理过程中空气置换易发生泄漏，密封性能不够稳定，导致密封操作过于繁琐，而烧结处理后的晶体硅温度较高，卸料过程不便且较为危险的问题。
7.本发明用于移动终端的半导体材料热处理装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
8.一种用于移动终端的半导体材料热处理装置，包括罐体装置；
9.密封结构，所述密封结构为竖盘结构，密封结构铰接安装在所述罐体装置的前端位置，密封结构与罐体装置接触位置设置有固定组件，固定组件设置为上下的两组，罐体装置的外壁上固定有辅助结构，辅助结构为横向固定，罐体装置的后端位置设有外接结构；
10.内箱结构，所述内箱结构为矩形结构，内箱结构嵌入安装在罐体装置内，内箱结构
内下端位置滑动安装有承载装置；
11.升降装置，所述升降装置为滑动结构，升降装置上承载安装有承载装置。
12.进一步的，所述罐体装置包括有：
13.安装罐，安装罐为桶状结构，内壁上固定有间隔板，间隔板呈圆周阵列方式排布，间隔板组成内壁呈方形结构的凹槽，每组间隔板末端均加装有加热结构；
14.承载柱，承载柱为立柱结构，承载柱固定在安装罐底部的两端。
15.进一步的，所述密封结构包括有：
16.密封板，密封板为盘状结构，密封板左端铰接安装在安装罐前端；
17.紧固板，紧固板为横向板结构，紧固板滑动安装在密封板内，紧固板共设置有两组，紧固板露出部分开有u形开口，紧固板的内嵌部分采用齿排机构；
18.传动齿，传动齿共设置有两组，两组传动齿为相互啮合设置，每组传动齿均与紧固板齿排相互啮合，每组传动齿外端设置有六角凹槽；
19.防护板，防护板为腰圆板结构，防护板与两组传动齿形状相同。
20.进一步的，所述固定组件包括有：
21.固定筒，固定筒为筒状结构，固定筒外壁开设有两组螺旋槽，固定筒共设置有两组，固定筒固定在安装罐的外壁上；
22.紧固杆，紧固杆为长杆结构，紧固杆套接安装在固定筒内，紧固杆外端固定有盘形块，紧固杆外壁上设置有凸出头，凸出头滑动在螺旋槽内，紧固杆末端铰接安装有摆动杆；
23.加固片，加固片为片状结构，加固片包裹在固定筒外壁上。
24.进一步的，所述辅助结构包括有：
25.外槽板，外槽板为横向凸板结构，外槽板上开设有横向结构的滑槽；
26.辅助杆，辅助杆为横向杆结构，辅助杆外端切割为阶梯结构，辅助杆外壁上固定有把手。
27.进一步的，所述外接结构包括有：
28.外接管，外接管为筒状结构，外接管与内箱结构相互接通，外接管直接穿过安装罐后壁，外接管外端加装有紧固螺母，外接管外端设有对称结构的切面；
29.内簧，内簧套接安装在外接管的外壁上，内簧处于内箱结构与安装罐的后壁之间的位置。
30.进一步的，所述内箱结构包括有：
31.内桶，内桶为矩形桶结构，内桶外壁上设置有外滑槽，内桶截面为方形结构；
32.外封口，外封口为方形结构，外封口外端面设置有密封条，外封口固定在内桶上。
33.进一步的，所述承载装置包括有：
34.承载板，承载板为水平长板结构，承载板上端面分隔为相同的两组承载面；
35.底板，底板固定在承载板的底面，底板底部设置有底凹槽。
36.进一步的，所述升降装置包括有：
37.安装板，安装板为矩形板结构，安装板上安装有车轮，安装板中间开设有安装凹槽；
38.支撑架，支撑架为c形架结构，支撑架设置有两种共六组，第一种的三组支撑架铰接安装在安装板上；
39.承载架，承载架为框架结构，第一种支撑架末端均连接在承载架上，承载架底部铰接安装有第二种支撑架；
40.底滑板，底滑板为长板结构，第二种支撑架末端均连接安装在底滑板上，底滑板、承载架与支撑架构成曲柄滑块机构；
41.传动轴，传动轴为长轴结构，传动轴共设置有两组，传动轴转动安装在安装凹槽位置，传动轴与底滑板相互拧接；
42.连接轴，连接轴安装在两组传动轴之间，连接轴通过斜齿轮与两组传动轴相互啮合传动；
43.固定杆，固定杆为长轴结构，固定杆上设置有凸出块，固定杆转动安装在承载架上，固定杆外端开设有六角凹槽，固定杆上设置有四组凸出块。
44.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
45.1.本发明的罐体装置中，通过间隔板所组成的方形凹槽，实现了内箱结构方便安装的效果，每组间隔板末端均加装有加热结构，通过将间隔板末端设置为加热结构，增加了间隔板对内箱结构的加热目的，方便后续对材料的烧结工序，通过固定在安装罐底部的承载柱，有利于承载柱对安装罐的稳定支撑效果，让安装罐更加稳定。
46.2.本发明的密封结构中，通过两组水平结构的紧固板，实现了密封结构与固定组件的卡接固定，紧固板露出部分开有u形开口，通过紧固板露出的u形口结构，增加了紧固板与固定组件的良好固定，通过两组相互啮合的传动齿，实现了传动齿的相互同步转动，通过传动齿与紧固板相互啮合，实现了转动传动齿时，同时控制两组紧固板的效果，每组传动齿外端设置有六角凹槽，通过将传动齿外端设置为内凹的六角凹槽，增加了更方便对传动齿的控制与调节，固定组件中，通过紧固杆上的盘形块，有利于使用紧固杆卡在紧固板的u形槽上，紧固杆外壁上设置有凸出头，凸出头滑动在螺旋槽内，通过滑动在螺旋槽内的凸出头，实现了转动固定筒时，达到让紧固杆向后对紧固板进行夹紧，完成固定组件对密封结构的紧固固定效果，紧固杆末端铰接安装有摆动杆，通过铰接安装在紧固杆末端的摆动杆，有利于实现对固定筒转动时施加更大扭力的效果，通过辅助杆外端切割的阶梯结构，增加了辅助杆对摆动杆辅助卡紧的效果，避免了摆动杆回弹复位的目的，辅助杆外壁上固定有把手，通过辅助杆外壁上固定的把手，增加了对辅助杆的稳定控制效果。
47.3.本发明的外接结构中，通过与内箱结构相互接通的外接管，有利于外接管对内箱结构内空气的置换，方便后续对材料的退火与烧结，通过外接管上的螺母，增加了对外接管的稳固固定，通过开设在外接管外壁上对称的切面，有利于辅助固定后拆卸螺母时，避免对外接管造成损伤的问题，通过加装在外接管上的内簧，实现了内箱结构与外接管的稳固效果，减少了外接管受力集中的问题，增加了外接管的使用寿命。
48.4.本发明的升降装置中，通过承载架所组成的曲柄滑块机构，实现了承载架的稳定升降效果，通过连接在承载架上的六组支撑架，实现了对承载架的稳定支撑目的，使承载架升降更加的平稳，通过与底滑板相互拧接的传动轴，实现了转动传动轴后对底滑板进行滑动控制，通过两组相同结构的传动轴，增加了对底滑板的控制，让底滑板滑动更加稳定，滑动到承载架的承载装置，能够通过转动固定杆，实现对承载装置的固定，让升降装置对承载装置运送过程更加安全稳定。
附图说明
49.图1是本发明的结构示意图。
50.图2是本发明的安装罐剖面结构示意图。
51.图3是本发明的密封板剖面结构示意图。
52.图4是本发明的安装罐内部结构示意图。
53.图5是本发明的承载装置与内箱结构示意图。
54.图6是本发明的承载装置与升降装置结构示意图。
55.图7是本发明的升降装置结构示意图。
56.图8是本发明的传动轴与连接轴结构示意图。
57.图9是本发明的图2中a处局部放大结构示意图。
58.图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
59.1、罐体装置；101、安装罐；102、承载柱；103、间隔板；2、密封结构；201、密封板；202、紧固板；203、传动齿；204、防护板；3、固定组件；301、固定筒；302、紧固杆；303、摆动杆；304、加固片；4、辅助结构；401、外槽板；402、辅助杆；5、外接结构；501、外接管；502、内簧；6、内箱结构；601、内桶；602、外封口；7、承载装置；701、承载板；702、底板；8、升降装置；801、安装板；802、支撑架；803、承载架；804、固定杆；805、传动轴；806、底滑板；807、连接轴。
具体实施方式
60.实施例：
61.如附图1至附图9所示：
62.本发明提供一种用于移动终端的半导体材料热处理装置，包括罐体装置1；
63.密封结构2，密封结构2为竖盘结构，密封结构2铰接安装在罐体装置1的前端位置，罐体装置1包括有：安装罐101，安装罐101为桶状结构，内壁上固定有间隔板103，间隔板103呈圆周阵列方式排布，间隔板103组成内壁呈方形结构的凹槽，通过间隔板103所组成的方形凹槽，实现了内箱结构6方便安装的效果，每组间隔板103末端均加装有加热结构，通过将间隔板103末端设置为加热结构，增加了间隔板103对内箱结构6的加热目的，方便后续对材料的烧结工序；承载柱102，承载柱102为立柱结构，承载柱102固定在安装罐101底部的两端，通过固定在安装罐101底部的承载柱102，有利于承载柱102对安装罐101的稳定支撑效果，让安装罐101更加稳定，密封结构2与罐体装置1接触位置设置有固定组件3，固定组件3设置为上下的两组，罐体装置1的外壁上固定有辅助结构4，辅助结构4为横向固定，罐体装置1的后端位置设有外接结构5；内箱结构6，内箱结构6为矩形结构，内箱结构6嵌入安装在罐体装置1内，内箱结构6内下端位置滑动有承载装置7；
64.其中，密封结构2包括有：
65.密封板201，密封板201为盘状结构，密封板201左端铰接安装在安装罐101前端；
66.紧固板202，紧固板202为横向板结构，紧固板202滑动安装在密封板201内，紧固板202共设置有两组，通过两组水平结构的紧固板202，实现了密封结构2与固定组件3的卡接固定，紧固板202露出部分开有u形开口，通过紧固板202露出的u形口结构，增加了紧固板202与固定组件3的良好固定，紧固板202的内嵌部分采用齿排机构；
67.传动齿203，传动齿203共设置有两组，两组传动齿203为相互啮合设置，每组传动
齿203均与紧固板202齿排相互啮合，通过两组相互啮合的传动齿203，实现了传动齿203的相互同步转动，通过传动齿203与紧固板202相互啮合，实现了转动传动齿203时，同时控制两组紧固板202的效果，每组传动齿203外端设置有六角凹槽，通过将传动齿203外端设置为内凹的六角凹槽，增加了更方便对传动齿203的控制与调节；
68.防护板204，防护板204为腰圆板结构，防护板204与两组传动齿203形状相同，通过与传动齿203形状吻合的防护板204，实现了防护板204对传动齿203的有效防护效果。
69.其中，固定组件3包括有：
70.固定筒301，固定筒301为筒状结构，固定筒301外壁开设有两组螺旋槽，固定筒301共设置有两组，固定筒301固定在安装罐101的外壁上，通过固定在安装罐101外壁的固定筒301，实现了固定筒301的周向与轴向的固定；
71.紧固杆302，紧固杆302为长杆结构，紧固杆302套接安装在固定筒301内，紧固杆302外端固定有盘形块，通过紧固杆302上得盘形块，有利于使用紧固杆302卡在紧固板202的u形槽上，紧固杆302外壁上设置有凸出头，凸出头滑动在螺旋槽内，通过滑动在螺旋槽内的凸出头，实现了转动固定筒301时，达到让紧固杆302向后对紧固板202进行夹紧，完成固定组件3对密封结构2的紧固固定效果，紧固杆302末端铰接安装有摆动杆303，通过铰接安装在紧固杆302末端的摆动杆303，有利于实现对固定筒301转动时施加更大扭力的效果；
72.加固片304，加固片304为片状结构，加固片304包裹在固定筒301外壁上，通过包裹在固定筒301外壁上的片状加固片304，增加了对固定筒301的防护作用。
73.其中，辅助结构4包括有：
74.外槽板401，外槽板401为横向凸板结构，外槽板401上开设有横向结构的滑槽；
75.辅助杆402，辅助杆402为横向杆结构，辅助杆402外端切割为阶梯结构，通过辅助杆402外端切割的阶梯结构，增加了辅助杆402对摆动杆303辅助卡紧的效果，避免了摆动杆303回弹复位的目的，辅助杆402外壁上固定有把手，通过辅助杆402外壁上固定的把手，增加了对辅助杆402的稳定控制效果。
76.其中，外接结构5包括有：
77.外接管501，外接管501为筒状结构，外接管501与内箱结构6相互接通，通过与内箱结构6相互接通的外接管501，有利于外接管501对内箱结构6内空气的置换，方便后续对材料的退火与烧结，外接管501直接穿过安装罐101后壁，外接管501外端加装有紧固螺母，外接管501外端设有对称结构的切面，通过外接管501上的螺母，增加了对外接管501的稳固固定，通过开设在外接管501外壁上对称的切面，有利于辅助固定后拆卸螺母时，避免对外接管501造成损伤的问题；
78.内簧502，内簧502套接安装在外接管501的外壁上，内簧502处于内箱结构6与安装罐101的后壁之间的位置，通过加装在外接管501上的内簧502，实现了内箱结构6与外接管501的稳固效果，较少了外接管501受力集中问题，增加了外接管501的使用寿命。
79.其中，内箱结构6包括有：
80.内桶601，内桶601为矩形桶结构，内桶601外壁上设置有外滑槽，通过内桶601外壁上的外滑槽，实现了内桶601稳定安装在安装罐101上，通过外滑槽滑动安装的内桶601，达到了内桶601方便拆卸的效果，内桶601截面为方形结构；
81.外封口602，外封口602为方形结构，外封口602外端面设置有密封条，外封口602固
定在内桶601上，通过加装有密封条的外封口602，有利于密封结构2闭合后与内桶601的良好接触，实现了对内箱结构6整体的稳定密封效果。
82.其中，承载装置7包括有：
83.承载板701，承载板701为水平长板结构，承载板701上端面分隔为相同的两组承载面，通过间隔为相同两组的承载板701，实现了增加承载装置7承载更多物料的作用，承载板701边沿均设置有阻挡条，通过加装在承载板701边沿的阻挡条，增加了承载板701的阻挡与防护目的；
84.底板702，底板702固定在承载板701的底面，底板702底部设置有底凹槽。
85.本实施例的具体使用方式与作用：
86.使用时，现有的半导体材料多为单晶与多晶硅，材料需要进行退火与烧结等处理，通常由于材料处理时需要较高的温度，因此需要设备具备一定的隔热性，在安装罐101内壁上设置间隔板103，即实现了对安装罐101与外部的隔热，又增加了方便对内箱结构6的安装，将加热设备设置在间隔板103末端，使加热设备更加靠近内箱结构6，起到更好对内箱结构6的加热目的，两组固定组件3的设置，实现了更好的对密封结构2进行紧固，辅助结构4具有辅助卡紧固定组件3的目的，通常半导体材料加工时，为了避免内部与氧气的接触，会将内箱结构6内的空气进行置换，外接结构5有助于与外部管道连接，实现对内箱结构6内空气的置换，带有外封口602的内箱结构6，更有助于对内箱结构6内空气的置换，让材料的退火与烧结过程更加稳定。
87.第二实施例：
88.升降装置8，升降装置8为滑动结构，升降装置8上承载有承载装置7。
89.其中，升降装置8包括有：
90.安装板801，安装板801为矩形板结构，安装板801上安装有车轮，通过带有车轮的凹槽，实现了升降装置8方便移动的效果，安装板801中间开设有安装凹槽；
91.支撑架802，支撑架802为c形架结构，支撑架802设置有两种共六组，第一种的三组支撑架802铰接安装在安装板801上；
92.承载架803，承载架803为框架结构，第一种支撑架802末端均连接在承载架803上，承载架803底部铰接安装有第二种支撑架802；
93.底滑板806，底滑板806为长板结构，第二种支撑架802末端均连接安装在底滑板806上，底滑板806、承载架803与支撑架802构成曲柄滑块机构，通过承载架803所组成的曲柄滑块机构，实现了承载架803的稳定升降效果，通过连接在承载架803上的六组支撑架802，实现了对承载架803的稳定支撑目的，使承载架803升降更加的平稳；
94.传动轴805，传动轴805为长轴结构，传动轴805共设置有两组，传动轴805转动安装在安装凹槽位置，传动轴805与底滑板806相互拧接，通过与底滑板806相互拧接的传动轴805，实现了转动传动轴805后对底滑板806进行滑动控制，通过两组相同结构的传动轴805，增加了对底滑板806的控制，让底滑板806滑动更加稳定；
95.连接轴807，连接轴807安装在两组传动轴805之间，连接轴807通过斜齿轮与两组传动轴805相互啮合传动；
96.固定杆804，固定杆804为长轴结构，固定杆804上设置有凸出块，，固定杆804转动安装在承载架803上，固定杆804外端开设有六角凹槽，固定杆804上设置有四组凸出块，通
过转动安装在承载架803上的固定杆804，实现了转动固定杆804对承载装置7的位置固定。
97.本实施例的具体使用方式与作用：
98.使用时，带有车轮的安装板801能够任意滑动，对应内箱结构6上承载装置7的下料位置，在电机的作用下，两组传动轴805会通过连接轴807进行同步的旋转，同步旋转的两组传动轴805会带动底滑板806进行滑动，承载架803、支撑架802与底滑板806组成曲柄滑块机构，滑动的底滑板806会带动承载架803进行升降，使承载架803到达指定位置，实现对承载装置7的接取，滑动到承载架803的承载装置7，能够通过转动固定杆804，实现对承载装置7的固定，让升降装置8对承载装置7运送过程更加安全稳定。
99.本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。